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[发明专利]一种键合结构的缺陷扫描方法及设备-CN201910409848.2有效
发明人：王琼 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请实施例提供的一种键合结构的缺陷扫描方法及设备，键合结构可以包括至少三个晶圆，这至少三个晶圆被垂直键合形成多个键合界面，通过对键合结构进行平面超声波扫描，可以得到所有键合界面的气泡缺陷的平面分布信息，通过对气泡缺陷进行剖面扫描，可以得到气泡缺陷的剖面分布信息，通过剖面分布信息，可以确定气泡缺陷所在的键合界面。这样，通过平面扫描和剖面扫描，可以准确获取气泡缺陷所在的平面位置以及垂直位置，从而实现各个键合界面的分层监控，及时发现各键合界面处的气泡缺陷。
一种结构缺陷扫描方法设备

[发明专利]一种混凝土收缩变形测试装置及方法-CN202110618958.7在审
发明人：龙广成;李良;曾晓辉;谢友均;马昆林;王继林;上官明辉 -专利权人：中南大学
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G01N33/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种混凝土收缩变形测试装置及方法，包括“L”型测试台、激光三维扫描仪和便携式工作站；所述“L”型测试台包括扫描基准平面和扫描标记平面，所述扫描标记平面划分为扫描标记区和测试试件布置区，所述扫描标记区分布有若干数量的扫描标记点，用于激光三维扫描仪的标定校准；所述测试试件布置区用于限定混凝土试件的放置位置；所述激光三维扫描仪用于对测试试件布置区的混凝土试件进行三维扫描，并将数据传输至便携式工作站。
一种混凝土收缩变形测试装置方法

[发明专利]三维中超声引导的活检-CN201380034284.X有效
发明人： G·L·安德鲁斯;V·帕塔萨拉蒂;G·C-H·吴;D·A·斯坦顿;A·L·鲁滨逊;J·克吕克尔;C·S·霍尔;J·R·杰戈;V·沙姆达莎尼 -专利权人：皇家飞利浦有限公司
申请日： 2013-06-28 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： A61B8/08 文献下载
摘要：一种超声系统包括3D成像探头和附着到所述探头的针引导，所述针引导用于对到能够由所述3D成像探头扫描的体积区域中的针插入的引导。所述针引导通过识别用于由所述探头扫描的平面，响应于针通过所述引导的所述插入，所述平面为所述针在插入期间将穿过的插入平面。所述插入平面的取向被传达到所述探头，以令所述探头扫描识别的平面，并且随着所述针行进通过所述插入平面而产生所述针的图像。
三维超声引导活检

[实用新型]一种激光扫描装置及其激光雷达、无人机或智能车-CN202120410061.0有效
发明人：张珂殊;亓晓;吴禹 -专利权人：北京北科天绘科技有限公司;北科天绘（苏州）激光技术有限公司
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本实用新型公开一种激光扫描装置及其激光雷达、无人机或智能车。该激光扫描装置包括：扫描镜组件，围绕一旋转轴旋转，该扫描镜组件具有四个扫描镜面，每个扫描镜面相对该旋转轴的夹角角度不完全相同，在垂直于该旋转轴的剖面上，该四个扫描镜面中相邻的扫描镜面的剖面线彼此垂直；线形激光光源，经由该四个扫描镜面中的第一扫描镜面出射线形激光信号；多个激光接收单元，该多个激光接收单元经由该四个扫描镜面中的第二扫描镜面接收该线形激光信号的回波信号，使发射光路与接收光路相互隔离，避免线形激光信号与回波信号相关干扰；该线形激光光源发出的线形激光信号所在平面与该多个激光接收单元接收的回波信号所组成的平面相互平行或为同一平面。
一种激光扫描装置及其激光雷达无人机智能

[实用新型]光学照相扫描检测用异型木制参考点贴块-CN200920093233.5有效
发明人：姚胜;董智超;张冰;苏超 -专利权人：中国第一汽车集团公司
申请日： 2009-03-20 - 公布日： 2010-01-27 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光学照相扫描检测用异型木制参考点贴块，其特征在于：在不规则平面的木制块底面安装磁性贴片；其他平面处粘贴参考点不规则平面上的参考点构建了多维立体空间。异形木制块很好的解决了测定面分布零散且距离较远时的扫描连接问题；增大扫描范围；提高扫描精度；异形木制块的各个异形面构建出大量的立体空间；有效的提高了相片的质量，保证了软件的计算精度和型面扫描的精度。
光学照相扫描检测异型木制参考点贴块

[实用新型]一种大视场成像镜头-CN201921248382.4有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：苏州溢博伦光电仪器有限公司
申请日： 2019-08-02 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：本实用新型属于光学显微成像技术领域，具体公开了一种大视场成像镜头，包括物镜，物镜包括若干镜片，物镜根据激发光波长计算的后焦平面外置。由于本实用新型中物镜的后焦平面外置，物镜后焦平面远离物镜镜体(通常为数毫米远)，因此有足够的空间安装扫描器，而无需传统激光扫描显微镜中扫描器和物镜之间的必须的扫描透镜和套筒透镜(tube lens)，显微镜扫描和成像光路的长度被大大缩短
一种视场成像镜头

[发明专利]具有简化的光学器件、尤其是具有可变的光瞳位置的光扫描显微镜-CN201580031361.5有效
发明人： M.瓦尔德;B.贝姆;D.施韦特;T.安哈特 -专利权人：卡尔蔡司股份公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2015-04-16 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：光扫描显微镜通常包括用于产生与显微镜物镜的光瞳平面共轭的光瞳平面(PE‘)的扫描光学器件(35)和共轭的光瞳平面中的能够可变调节的光束偏转单元(30)，其中，在显微镜物镜与扫描光学器件之间具有中间图像(Zb1)并且光束在共轭的光瞳平面中准直。这些扫描光学器件是耗费且并不光学高效的，因为它们必须补偿不同的成像误差，如场曲和横向色差。此外，由于共轭的光瞳平面与扫描光学器件的距离较小，可供偏转单元使用的结构空间较小。本发明应能够使用更简单的扫描光学器件并且提供更大的结构空间。这通过以下方式实现，即扫描光学器件通过光束偏转单元将第二中间图像(Zb2)成像到第一中间图像中，其中，第二中间图像在空间上是弯曲的。扫描光学器件的光学性能和质量只需要与作为传统扫描物镜的目镜一致。非线性显微镜。
具有简化光学器件尤其是可变位置扫描显微镜

[发明专利]一种MEMS扫描激光雷达系统的时间误差自标定方法-CN202011277992.4有效
发明人：王春晖;张雨;李青岩;张斌;闫诗雨;李赟玺;遆晓光;杨国辉 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：一种MEMS扫描激光雷达系统的时间误差自标定方法。本发明为解决现有基于ToF法的MEMS扫描激光雷达中存在时间误差导致的成像畸变及测距误差问题。本发明首先运行待标定MEMS扫描激光雷达，扫描任意非平面非空场景，采集扫描数据，并标定MEMS微镜与激光器之间的同步时间误差；然后运行已标定同步时间误差后的MEMS扫描激光雷达，扫描相应平面并采集N帧扫描数据可利用任意非平面目标来标定MEMS微镜与激光器之间的同步时间误差，可以利用任意平面来标定出射脉冲和接收回波信号之间的系统延迟时间误差。用于扫描激光雷达系统的时间误差的标定。
一种 mems 扫描激光雷达系统时间误差标定方法

[发明专利]一种移动柔性扫描机器人系统-CN202110580052.0在审
发明人：王鸿鹏;范崇山;韩霄;陈新伟 -专利权人：南开大学
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种移动柔性扫描机器人系统，包括移动平台模块、柔性机械臂模块、多模态扫描仪模块，所述移动平台模块为整个系统提供平面移动能力，且所述移动平台模块可在平面内任意移动，所述柔性机械臂模块安装在移动平台模块上，且所述柔性机械臂模块有多个运动自由度，为多模态扫描仪提供三维空间移动能力，所述多模态扫描仪模块安装在柔性机械臂末端，可获取空间的多个模态信息。本发明使用移动平台模块负载柔性机械臂模块和多模态扫描仪模块进行平面空间移动，使用柔性机械臂模块负载多模态扫描仪模块进行三维空间移动，能够实现多模态扫描仪模块的自主移动，使得扫描方式更加灵活。
一种移动柔性扫描机器人系统

[发明专利]一种直角坐标扫描架系统和拼接测量方法-CN201910803700.7有效
发明人：吴翔 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G01R29/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种直角坐标扫描架系统和拼接测量方法，所述直角坐标扫描架系统包括扫描架竖直运动模块、扫描架竖直固定模块、扫描架水平运动模块、扫描架直线平移模块、调整垫铁、平面度测量设备、水平仪和吸波材料；能够解决现有技术的检测用扫描架系统属于测量设备，在对静区性能检测后需要拆除，导致存在兼容性和可扩展性较差，不便于重复利用的问题，解决平面扫描架系统在大型、超大型紧缩场静区性能检测的通用性问题，其通过无限制拼接的模式，能够适应更大行程的需求，且其在拼接的过程中，始终有原位置的水平模块保持不动，因而能够使得整个拼接过程延续原有位置的平面度。
一种直角坐标扫描系统拼接测量方法

[发明专利]心脏成像系统和方法-CN202011347028.4在审
发明人：陈潇;孙善辉;陈章;陈德仁 -专利权人：上海联影智能医疗科技有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： A61B5/055 文献下载
摘要：一种方法包括：采集患者心脏的初始定位像；使用神经网络来建立患者特定心脏模型并自动规划患者特定心脏模型的成像平面；执行患者心脏的加速扫描；使用神经网络来从加速扫描确定患者心脏的当前位置和姿态并重新定位成像平面以对应于患者心脏的当前位置和姿态；以及使用重新定位的成像平面来执行采集扫描并根据选定的成像协议从采集扫描生成患者心脏的图像。
心脏成像系统方法

[发明专利]一种平面相控阵超大角度扫描增益平坦化方法及系统-CN202211010256.1在审
发明人：王任;吴鸥零;董明华;梁木生;王秉中 -专利权人：电子科技大学长三角研究院（湖州）
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01Q3/26 文献下载
摘要：本发明属于平面相控阵领域，公开了一种平面相控阵超大角度扫描增益平坦化方法及系统，该方法利用阵因子的严格公式对阵列单元进行预设相位和幅度加权，并使用算法对预设相位值和激励幅度进行优化，使阵列方向性系数在0到90°的超大角度扫描过程中的平坦变化。本发明从平面相控阵阵因子的角度出发，对相控阵单元进行预设相位和激励幅度加权，实现平面相控阵超大角度扫描增益平坦化的同时具有较低的副瓣。该方法为实现平面相控阵的超大角度扫描提供了新的思路和方向，具有重要的研究意义。
一种平面相控阵超大角度扫描增益平坦方法系统

[发明专利]用于在增材制造操作期间测量辐射热能的系统和方法-CN201980027181.8有效
发明人：达伦·贝克特;斯科特·贝茨;马丁·皮尔奇;R·布鲁斯·马迪根;拉尔斯·雅克麦登;格伦·维克勒;马克·J·科拉;维韦克·R·达弗;阿尔贝托·M·卡斯特罗;罗杰·弗莱伊 -专利权人：西格马实验室公司
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： B29C64/153 文献下载
摘要：一种用于表征增材制造过程的方法可以包括：生成能量源的跨越构建平面的扫描；使用光学感测系统测量每次扫描期间从构建平面辐射的能量的量，其中该光学感测系统监测与粉末层的黑体辐射曲线相关联的两个离散波长；基于以两个离散波长获取的传感器读数的比率，确定扫描所遍历的构建平面区域的温度的改变；确定温度的改变超出阈值范围之外；并且之后，调整能量源的跨越构建平面的区域或在构建平面的区域的附近的后续扫描。
用于制造操作期间测量辐射热能系统方法

[发明专利]3D打印装置及其振镜扫描控制方法-CN201410180517.3在审
发明人：阮开明;杨健;刘华刚;张志;全战;黄见洪;陈金明;史斐;李锦辉;郑晖;戴殊韬;翁文;吴鸿春;葛燕;邓晶;吴丽霞;林文雄 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2014-04-29 - 公布日： 2015-11-04 - 主分类号： B29C67/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种3D打印装置，其包括3D打印装置台、激光器和振镜，3D打印装置台的工作台面处于振镜的焦平面，激光器的光纤头安装在振镜的通光口，还包括：X/Y轴运动平台，振镜安装在X/Y轴运动平台上，振镜的扫描范围小于3D打印装置台的打印平面，X/Y轴运动平台的XY平面平行且覆盖3D打印装置台的打印平面，X/Y轴运动平台用于带动振镜在XY平面内移动。本发明还提供了上述3D打印装置的振镜扫描方法，包括以下步骤：确定要扫描的位置是否处于振镜的扫描范围内；根据确定结果控制振镜的扫描。本发明既能缩小扫描范围以保持较高的打印精度，又能通过移动来打印较大的尺寸。
打印装置及其扫描控制方法

[发明专利]一种激光雷达-CN201910204546.1在审
发明人：胡小波;鲁曼;沈俭;刘颖 -专利权人：深圳市镭神智能系统有限公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：该激光雷达包括：光线发射单元、光线接收单元和控制处理单元；光线发射单元包括沿光的传播方向依次排列的光源子单元、光学相控阵子单元和MEMS扫描镜子单元，光源子单元、光学相控阵子单元和MEMS扫描镜子单元分别与控制处理单元电连接；光源子单元发出入射光束；光学相控阵子单元将入射光束在第一平面内偏转，以形成在第一平面上具有一预设扫描角度的一维光束，一维光束照射至MEMS扫描镜子单元的反射面上；MEMS扫描镜子单元在驱动力作用下转动，以将照射至反射面上的一维光束在第二平面(与第一平面相交)内偏转，实现一维光束在第二平面上扫描，形成探测光束。
子单元激光雷达扫描镜子光学相控阵光源光线发射单元控制处理单元偏转入射光束反射扫描光线接收单元驱动力作用传播方向光束照射机械损耗平面相交探测光束依次排列电连接预设转动照射