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- [发明专利]一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法-CN202310638708.9在审
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郑希
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浙江大学
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2023-06-01
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2023-09-29
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G01N23/2251
- 本发明提供了一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法,包括如下步骤:将塑料培养皿裁剪出一块干净平整的平面;将平面用导电胶粘到在扫描电镜样品台上;平面的一侧边粘上导电胶,导电胶同时也粘到样品台上;将待观察样品粘到塑料平面上方的导电胶上,准备观察上下表面的部位挂出悬空在塑料平面上方;扫描电镜中,先聚焦在样品下方的塑料平面;当电压束流下降后,能量较弱的入射电子束,被塑料平面的静电场反弹,照射到样品下表面,下表面产生二次电子,被仪器探头捕获本发明将扫描电镜镜面效应应用在径迹蚀刻膜表征上,利用扫描电镜的“电子镜面效应”,摸索双面同时进行观察径迹蚀刻膜的方法。
- 一种扫描电子显微镜同时观察双面方法
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