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[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN202210080392.1在审
发明人：鬼头义昭;加藤正纪;奈良圭;堀正和;木内徹 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： B65H26/04 文献下载
摘要：一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。
处理装置方法

[发明专利]基板处理装置-CN201780048591.1有效
发明人：鬼头义昭;加藤正纪;奈良圭;堀正和;木内徹 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： B65H26/00 文献下载
摘要：一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。
处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN202010235350.1有效
发明人：鬼头义昭;加藤正纪;奈良圭;堀正和;木内徹 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： B65H23/188 文献下载
摘要：一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。
处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN202210005576.1有效
发明人：鬼头义昭;加藤正纪;奈良圭;堀正和;木内徹 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。
处理装置

[发明专利]基板处理系统、基板搬送方法以及存储介质-CN201910598586.9有效
发明人：松桥孝文;鹰野国夫;平田俊治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理系统、基板搬送方法以及存储介质，在向多个处理模块依次搬送基板并对基板进行一系列的处理时，能够抑制生产率的下降并且抑制因基板引起的处理结果的不均匀。基板处理系统具备：具有分别进行规定的处理的多个处理模块的处理部；保持多个基板并针对处理部搬出搬入基板的搬出搬入部；搬送基板的搬送部；对处理部、搬出搬入部及搬送部进行控制的控制部，其中，控制部进行控制，使得多个基板依次从搬出搬入部搬送到处理部，并且所搬送的基板依次顺序地搬送到多个处理模块，且进行控制，使得设定从自搬出搬入部的规定的模块搬出基板之后起直至搬出下一个基板为止的间隔，并按该间隔的设定值将多个基板依次从规定的模块搬出。
处理系统基板搬送方法以及存储介质

[发明专利]基板搬送装置-CN200910171530.1无效
发明人：相马康孝;八寻俊一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-08-28 - 公布日： 2010-03-03 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板搬送装置，搬送涂敷有处理液、被实施热处理的被处理基板，抑制在热处理后的处理膜上产生转印斑。该基板搬送装置(5)对涂敷有处理液、被实施热处理的被处理基板(G)进行搬送，其具有：搬送滚子(50)，在上述被处理基板(G)的宽度方向延伸，并且被轴支承而能够在基板搬送方向旋转，在基板搬送方向隔开规定间隔铺设；旋转轴(51)，对上述搬送滚子(50)进行轴支承；和驱动单元，对上述旋转轴(51)进行旋转驱动。上述搬送滚子(50)的外周面形成为在轴方向相连续的凹凸形状，该外周面的轴方向的凸部顶端做成曲率半径为3mm以下的尖顶。
基板搬送装置

[发明专利]基板处理装置和基板运送方法-CN201710832688.3有效
发明人：佐佐木勇治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-09-15 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置和基板运送方法。其中，基板搬送区域以基板露出的方式进行搬送；基板保管器搬送区域将基板保持在基板保管器内进行搬送；基板保管器保管架在基板保管器搬送区域内保管基板保管器；第一吹扫气体供给单元能够向被保管于基板保管器保管架的基板保管器供给吹扫气体；累计流量获取单元获取供给到基板保管器的吹扫气体的累计流量；运送载置部；第二吹扫气体供给单元向被载置于运送载置部的基板保管器供给吹扫气体；基板运送单元打开基板保管器，将基板运送到基板搬送区域内；以及控制单元基于吹扫气体的累计流量计算基板保管器内部的氧浓度，在氧浓度变为阈值以下时，使基板运送单元将基板运送到基板搬送区域。
处理装置运送方法

[发明专利]基板搬送装置和成膜装置-CN202211257892.4在审
发明人：谷和宪;神田宽 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供在基板搬送装置中高精度地取得基板的边缘图像的基板搬送装置和成膜装置。基板搬送装置具备：搬送部件，搬送基板；拍摄部件，在将基板对准搬送部件时，使用来自光源的照明光进行基板的边缘图像的拍摄；调整部件，在基板的边缘图像的拍摄中产生不良状况的情况下，进行摄像部件的快门速度、摄像部件的增益以及照明光的光量中的至少一个的调整；以及对准部件，基于通过进行了调整的拍摄而拍摄到的基板的边缘图像进行对准。
基板搬送装置

[发明专利]基板搬送模块以及基板处理系统-CN200810144356.7有效
发明人：山涌纯;守屋刚 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-07-28 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板搬送模块和基板处理系统，装载模块(14)通过负载锁定模块(12)与对晶片W实施蚀刻处理的处理模块(11)连接并且具有搬送晶片W的基板搬送装置(16)和收容该基板搬送装置(16)的搬送室(15)，该搬送室(15)内与外部氛围气体隔绝，搬送室(15)内的压力为大气压，基板搬送装置(16)具有保持晶片W的拾取器(19)和使该拾取器(19)移动的臂部(20)，装载模块(14)具有隔绝装置(18)，其收容拾取器(19)和该拾取器(19)所保持的晶片W，使得与搬送室(15)的内部氛围气体相隔绝。由此能够防止构成部件发生腐蚀、颗粒向基板的附着、基板搬送模块成本的提高和大型化。
基板搬送模块以及处理系统

[发明专利]基板搬送装置、系统及方法-CN201810200982.7有效
发明人：藤野诚治;朱晓庆;高峰 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板搬送装置、系统及方法，基板搬送装置包括搬送单元、承载单元及摄像单元。所述控制单元分别与所述搬送单元、所述承载单元、所述摄像单元电连接；所述承载单元用于接收由所述搬送单元搬送的来自第一个工艺腔室的基板；所述摄像单元用于对位于所述承载单元上的基板进行拍摄，并将拍摄的图像发送至所述控制单元；所述控制单元用于根据所述图像控制所述承载单元对所述基板进行定位调整，并控制所述搬送单元将定位完成后的所述基板搬送至第二个工艺腔室。该基板搬送装置、系统及方法在对基板进行定位调整时，基板的边缘不会接触到定位机构，从而可以避免传统定位方式中因基板边缘会接触到定位销等定位机构而发生破碎的现象。
基板搬送装置系统方法

[实用新型]玻璃基板供给装置-CN201420252768.3有效
发明人：由良友和;小盐智;大泽曜彰;川合涉史 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2014-05-16 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：一种玻璃基板供给装置，包括收纳箱、收纳箱升降机构、引出单元移动机构、玻璃基板吸附搬送机构、搬送方向移动机构，所述玻璃基板吸附搬送机构包括搬送机构主体、玻璃基板升降单元、玻璃基板吸附单元。玻璃基板引出单元根据玻璃基板的尺寸利用第二检测部使玻璃基板中央部引出到规定位置，搬送方向移动机构从收纳箱中的第一检测部接收信号，使玻璃基板吸附搬送机构吸附保持玻璃基板引出单元上的位于规定位置的玻璃基板。根据本实用新型，能够以较小的动作使玻璃基板旋转，节省旋转用作业空间，提高生产速度。
玻璃供给装置

[发明专利]基板处理装置-CN202010124216.4在审
发明人：伊东哲生;菊本宪幸;井上一树;山田邦夫 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。在基板处理装置(100)中，在基板搬送部(120)，设置在索引部(110)与基板处理部(130)之间搬送基板(W)的搬送机器人(122)。搬送风扇过滤单元(126)设置在基板搬送部(120)的上部。排气口(124p)设置在基板搬送部(120)。循环配管(142)将基板搬送部(120)的排气口(124p)与搬送风扇过滤单元(126)连结。
处理装置

[发明专利]搬送装置和基板的搬送方法-CN202210204706.4在审
发明人：前田夕斗;只见侃朗 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供搬送装置和基板的搬送方法，能够提高保持力，并且能够不与实施了处理的区域直接接触地对基板进行搬送。该搬送装置具有对基板的被保持面进行保持并搬送的保持面，该搬送装置具有：保持垫，其与基板的被保持面的外周部或基板的侧面接触，在基板的被保持面与保持面之间形成填充水的空间；移动单元，其使保持垫在相对于被保持面接近或远离的方向上移动；水提供单元，其向空间提供水；以及吸引单元，其对填充到空间的水进行吸引而提高对基板进行保持的力，该搬送装置借助水而利用保持垫对基板进行保持并搬送。
装置方法

[发明专利]基板冷却装置-CN200710004353.9无效
发明人：相马康孝;坂井光广;和田宪雄;八寻俊一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-01-24 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种即使针对大型的基板也具有优异的安全性并同时提高生产率的基板冷却装置。基板冷却装置(25)具有：滚动搬送机构(5)，作为向一个方向搬送基板(G)的搬送路径；和冷却机构(7)，在壳体(6)内使由滚动搬送机构(5)搬送的基板(G)与冷却介质接触、进行冷却。
冷却装置

[发明专利]基板搬送装置-CN200610079865.7无效
发明人：松本隆雄;山本悟史 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2006-05-15 - 公布日： 2006-11-22 - 主分类号： B65G13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板搬送装置，其能够不减低基板处理的生产量，在基板搬送路径上笔直的搬送基板的同时，将基板变更为倾斜姿势。辊支承机构(22)对搬送辊(21)在围绕向着与其旋转轴(211)的纵向方向中央部垂直的方向延伸的驱动轴(23)旋转而倾斜的状态下来进行支承，从而赋予为了变更基板的倾斜姿势而各搬送辊(21)必须具有的倾斜由多个搬送辊(21)构成的基板搬送路径并不上下动作，通过各辊支承机构(22)对各搬送辊(21)赋予的倾斜，从而能够改变搬送中的基板的倾斜姿势。
基板搬送装置