[发明专利]基板搬送装置、系统及方法有效
| 申请号： | 201810200982.7 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108428656B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 藤野诚治;朱晓庆;高峰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板搬送装置、系统及方法，基板搬送装置包括搬送单元、承载单元及摄像单元。所述控制单元分别与所述搬送单元、所述承载单元、所述摄像单元电连接；所述承载单元用于接收由所述搬送单元搬送的来自第一个工艺腔室的基板；所述摄像单元用于对位于所述承载单元上的基板进行拍摄，并将拍摄的图像发送至所述控制单元；所述控制单元用于根据所述图像控制所述承载单元对所述基板进行定位调整，并控制所述搬送单元将定位完成后的所述基板搬送至第二个工艺腔室。该基板搬送装置、系统及方法在对基板进行定位调整时，基板的边缘不会接触到定位机构，从而可以避免传统定位方式中因基板边缘会接触到定位销等定位机构而发生破碎的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 基板搬送 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板搬送装置，其特征在于，受控制单元控制；所述基板搬送装置包括搬送单元、承载单元及摄像单元；所述控制单元分别与所述搬送单元、所述承载单元、所述摄像单元电连接；所述承载单元用于接收由所述搬送单元搬送的来自第一个工艺腔室的基板；所述摄像单元用于对位于所述承载单元上的基板进行拍摄，并将拍摄的图像发送至所述控制单元；所述控制单元用于根据所述图像控制所述承载单元对所述基板进行定位调整，并控制所述搬送单元将定位完成后的所述基板搬送至第二个工艺腔室。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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