“叉指电极”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果798494个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构-CN202310467010.5在审
发明人：谭品恒;贺海平;胡晓东;方仲祺;彭凯;周仁桥;彭芹;彭仁沿;张慧 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明属于半球谐振陀螺技术领域，具体涉及一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构；包括：球环基座和叉指电极金属层；叉指电极金属层包裹在球环基座的外球面上；球环基座的底部开设有槽型缺口，槽型缺口表面镀有金属膜层，且槽型缺口平面与侧面的金属膜层断开；叉指电极金属层上刻蚀有正叉指电极对和反叉指电极对，正叉指电极对与反叉指电极对的结构相同，均为两个相同的叉指电极图案；叉指电极图案包括叉指部分和两个条带，每个条带均与槽型缺口连接；叉指电极图案的条带与槽型缺口连接处设置有一通孔，通孔中灌注有银浆；当外球面因为某种原因刻蚀而断开叉指电极对与槽型缺口的连接时，还可以通过通孔经内部圆柱面连接，起到防刻蚀的效果。
一种刻蚀半球谐振子球面电极结构

[发明专利]一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列装置及检测方法-CN202110675040.6有效
发明人：刘莉;刘帅;顾汉洋;张琦;应秉斌 -专利权人：上海交通大学;上海核工程研究设计院有限公司
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列检测装置，所述装置包括：薄膜式电路基板；所述薄膜式电路基板的前表面设置有N行感应叉指电极，N为不小于2的整数；所述薄膜式电路基板的前表面设置有M列激励叉指电极，所述M列激励叉指电极与所述N行感应叉指电极交叉设置，M为不小于2的整数；每两行相邻所述感应叉指电极设置有屏蔽叉指电极；其中，每两列所述激励叉指电极，以及每两行所述感应叉指电极之间并联设置。
一种用于测量壁面液膜厚度阵列装置检测方法

[发明专利]用于制作声表面波滤波器的方法、声表面波滤波器-CN202310101495.6有效
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：深圳新声半导体有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本申请涉及谐振器技术领域，公开一种用于制作声表面波滤波器的方法、声表面波滤波器，其中方法包括：在预设的衬底上淀积第一温度补偿层；形成位于第一温度补偿层内的叉指电极结构；叉指电极结构包括若干个第一电极指和若干个第二电极指；在叉指电极结构的电极指末端区域设置光刻胶；刻蚀未被光刻胶覆盖的叉指电极结构和第一温度补偿层；使叉指电极结构的电极指末端区域形成金属凸起。这样，通过刻蚀叉指电极结构的方式，金属凸起与叉指电极结构是一体的材料。使得金属凸起与叉指电极结构的第一电极指的末端边缘和第二电极指的末端边缘直接就能垂直对齐，从而能够提高声表面波滤波器对杂波的抑制效果。
用于制作表面波滤波器方法

[发明专利]一种湿度传感器及其制备方法-CN201410849515.9有效
发明人：左青云;康晓旭;李铭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种湿度传感器及其制备方法，包括表面绝缘的衬底，位于绝缘表面的湿敏材料和叉指电极薄膜层，湿敏材料分布于叉指电极之间，且与叉指电极相键联；湿敏材料为叉指电极材料的氧化态。还提供了湿度传感器的制备方法，包括提供一表面绝缘的衬底；在绝缘表面形成一层氧化态湿敏材料；在湿敏材料表面形成叉指电极图案掩膜；在叉指电极图案掩膜的保护下，对湿敏材料进行还原工艺，在湿敏材料间形成叉指电极；叉指电极图案掩膜遮挡住的湿敏材料部分未被还原，叉指电极图案掩膜暴露的湿敏材料部分被还原成叉指电极材料；去除叉指电极图案掩膜。
一种湿度传感器及其制备方法

[发明专利]一种叉指换能器阵列及制作方法-CN201910789049.2有效
发明人：王自平;钱磊;徐晨光;费跃;陈良彬 -专利权人：江苏大学
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本发明公开了一种叉指换能器阵列及制作方法，叉指换能器阵列包括聚偏氟乙烯基底和N个梯形叉指电极阵元；聚偏氟乙烯基底为圆盘形，多个梯形叉指电极阵元以聚偏氟乙烯基底的圆心为中心沿圆周方向均匀分布在聚偏氟乙烯基底的表面；梯形叉指电极阵元的正极叉指电极包括正极外接端和多个相互间隔的正电极，梯形叉指电极阵元的负极叉指电极包括负极外接端和多个相互间隔的负电极；各梯形叉指电极阵元中的多个正电极和多个负电极交替间隔排列；各相邻的两个梯形叉指电极阵元共用一个正极外接端，各相邻的两个梯形叉指电极阵元共用一个负极外接端。
一种叉指换能器阵列制作方法

[发明专利]多功能细胞传感器系统及其测量方法-CN201910585810.0有效
发明人：刘利彪;邓坤学;袁玉宇 -专利权人：广州迈普再生医学科技股份有限公司
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：该系统包括：第一电极、第二电极以及切换部件，所述第一电极包括第一叉指电极组件和第二叉指电极组件，第一叉指电极组件和第二叉指电极组件构成叉指电极；所述切换部件与所述第一叉指电极组件以及第二叉指电极组件连接，或者与所述第二电极以及第一叉指电极组件和第二叉指电极组件其中之一连接。通过切换部件实现电极间连接的切换，使得所述功能细胞传感器系统可以既用于细胞阻抗值的测量，又可以用于细胞跨膜电阻值的测量，对于细胞的粘附、迁徙和连接，可进行实时、定量、无损、快速、方便的检测。
多功能细胞传感器系统及其测量方法

[发明专利]一种光伏电站电弧监测系统及其制备方法-CN202110692251.0在审
发明人：王顺利;张东宁 -专利权人：杭州哲合科技有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H02J13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种光伏电站电弧监测系统及其制备方法，监测系统包含电弧监测芯片、放大电路、物联网通信模块和智能开关切断装置，其中，电弧监测芯片由石英玻璃、非晶氧化镓薄膜层和金属叉指电极组成，金属叉指电极包括第一金属叉指电极和第二金属叉指电极，第一金属叉电极包括第一叉指部和第一触点部，第二金属叉电极包括第二叉指部和第二触点部，第一叉指部和第二叉指部交叉设置，且第一叉指部和第二叉指部不直接接触；金属叉指电极位于石英玻璃一侧，非晶氧化镓薄膜层位于金属叉指电极背离石英玻璃一侧，非晶氧化镓薄膜层覆盖第一叉指部和第二叉指部。
一种电站电弧监测系统及其制备方法

[发明专利]一种摩擦电式直线轴承运行状态监测传感器及其测试方法-CN202310413241.8在审
发明人：解志杰;秦振峰;张博;吕景亮;于迪 -专利权人：东北林业大学
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01M13/04 文献下载
摘要：它包括安装在直线轴承的转子单元和轴承座单元之间的负摩擦单元，所述负摩擦单元包括负摩擦层、叉指电极A和叉指电极B，所述叉指电极A和叉指电极B交错布置，所述负摩擦层覆盖在叉指电极A和叉指电极B上，所述负摩擦层与转子单元接触，所述叉指电极A和叉指电极B均在聚酰亚胺薄膜上通过蚀刻工艺完成，所述轴承座单元内设置有EVA海绵，所述EVA海绵上安装叉指电极A和叉指电极B。
一种摩擦直线轴承运行状态监测传感器及其测试方法

[发明专利]单基片多参量声表面波传感器及其地址识别、校验方法-CN202310105264.2在审
发明人：张建;毛兴;史俊;黄中宁;高兴琼;张方荣;尹娟 -专利权人：成都高斯电子技术有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种单基片多参量声表面波传感器，包括基片，所述基片上设置有主叉指电极，所述主叉指电极的第一侧设置有阻抗测试叉指电极和/或温度测试反射珊，所述主叉指电极的第二侧设置有多个气体组分测试子叉指电极和气体组分参考校准叉指电极，所述主叉指电极的第二侧还设置有多个地址反射珊和多个地址校验珊。本发明将阻抗测试叉指电极、温度测试反射珊与气体组分测试子叉指电极分别设置到主叉指电极的两侧，且在两侧呈非对称结构，在声表面波时域反射上属于不交叉无混叠的结构，因此可以高精度的区分出多参数测量问题。
单基片多参量表面波传感器及其地址识别校验方法

[发明专利]一种电容式温度传感器-CN201310462930.4有效
发明人：任青颖;王立峰;黄见秋;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G01K7/34 文献下载
摘要：一种电容式温度传感器，该传感器包括衬底（1）、感温介质（2）、钝化层（3）、中间叉指电极（1-3）、边叉指电极（1-2）构成的检测电容；所述的检测电容具有高深宽比的叉指结构，其中，衬底（1）位于检测电容的底部，起基座作用，中间叉指电极（1-3）与衬底之间设有感温介质（2），边叉指电极（1-2）处于所述检测电容的外部的四周，在中间叉指电极（1-3）的周边、边叉指电极（1-2）的内表面上表面设有钝化层（3）；感温介质（2）处于中间叉指电极（1-3）之间、边叉指电极（1-2）与中间叉指电极（1-3）之间、以及中间叉指电极（1-3）与衬底（1）之间的空腔（4）之中。
一种电容温度传感器

[发明专利]多相单向叉指换能器的制作方法-CN201610865587.1有效
发明人：赵成;陈磊;郭鹏飞;胡经国 -专利权人：扬州大学
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种多相单向叉指换能器的制作方法，属于微电子器件工艺技术领域，通过本发明，在压电基片表面制作若干组相互交错的叉状指电极，组成多相单向叉指换能器的若干个叉指电极周期，各个叉指电极周期中相同位置的指电极连接到同一汇流电极组成同组叉状指电极，每个叉指电极周期中不同位置的指电极连接到不同的汇流电极组成不同组叉状指电极，与非同组汇流电极交叠的指电极相对于汇流电极隔断，隔断区覆盖绝缘隔离层，绝缘隔离层上制作重新连接被隔断指电极的跨接电极，绝缘隔离层和跨接电极的制作采用介质和金属剥离的方法，避免常规的蚀刻工艺对敏感的压电基片表面和金属电极的损伤及由此带来的对声表面波器件性能的影响。
多相单向叉指换能器制作方法

[发明专利]表面声波器件-CN03808856.8有效
发明人：川内治;田岛基行;阿部卓也 -专利权人：富士通媒体部品株式会社
申请日： 2003-04-03 - 公布日： 2005-07-27 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：在该表面声波器件中，当输入叉指式换能器或输出叉指式换能器的电极指的孔径长度被定义为X时，输入叉指式换能器或输出叉指式换能器包括两个分瓣叉指式换能器，这两个分瓣叉指式换能器分别包括孔径长度大约为X/2的多个电极指，并且将该第一和第二分瓣叉指式换能器中的各个电极指的电极从这两个分瓣叉指式换能器中引出，并以在连接到一平衡端子对的两个输出或输入中的信号具有180°相差的方式进行设置，并且这两个分瓣叉指式换能器通过实心形状的公共电极串联，该公共电极的电极宽度大于这两个分瓣叉指式换能器中的电极指间距的两倍，并且该公共电极连接到地电位。
表面声波器件

[发明专利]谐振器、谐振器制备方法以及滤波器-CN202310094992.8在审
发明人：罗天成;刘文娟;童欣;谢英;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H03H9/13 文献下载
摘要：本申请提供了一种谐振器、谐振器制备方法以及滤波器，该谐振器包括压电层、第一电极结构和第二电极结构，其中，第一电极结构与第二电极结构设置在压电层上，第一电极结构包括多个间隔设置的第一叉指电极，第二电极结构包括多个间隔设置的第二叉指电极，第一叉指电极上设有第一电极孔和/或第二叉指电极上设有第二电极孔，其中，第一电极孔未贯穿第一叉指电极的轮廓线，且第一电极孔与第一叉指电极端部的距离大于预设值；第二电极孔未贯穿第二叉指电极的轮廓线，且第二电极孔与第二叉指电极端部的距离大于预设值通过电极孔抑制第一叉指电极与第二叉指电极的平行边激发产生的杂波，并在抑制杂波的同时提升主模态的能量，保证了谐振器的性能较好。
谐振器制备方法以及滤波器

[发明专利]射频谐振器结构-CN201810319927.X在审
发明人：周杰;孙成亮;邹杨;蔡耀;唐楚滢 -专利权人：武汉大学
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明公开的射频谐振器结构，包括压电层、以及压电层上下表面分别配置的一定数量的顶部叉指电极和底部叉指电极；压电层上表面位于相邻顶部叉指电极之间的位置均设有沿顶部叉指电极长度方向的沟槽；同时，压电层下表面位于相邻底部叉指电极之间的位置均设有沿底部叉指电极长度方向的沟槽本发明通过在相邻叉指电极之间的压电层设置沿着叉指电极长度方向的沟槽，来显著消除谐振器的寄生模式，并提升谐振器的机电耦合系数；且易实施，实施成本低。
叉指电极压电层射频谐振器谐振器机电耦合系数相邻叉指电极寄生模式上下表面配置的上表面下表面

[发明专利]一种基于叉指电极结构的锂电池-CN201911119911.5在审
发明人：唐秀凤;区芷君;李泳贤;李智信;罗坚义 -专利权人：五邑大学
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： H01M10/0525 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于叉指电极结构的电池，包括绝缘基底、叉指电极、电极材料层、绝缘隔层、电解质层和封装层；所述叉指电极设于所述绝缘基底上，包括多个电极对，每个电极对由间隔设置的第一叉指和第二叉指组成；所述电极材料层包括正极材料层和负极材料层，所述正极材料层设于所述第一叉指上，所述负极材料层设于所述第二叉指上；所述绝缘隔层设于所述绝缘基底上，并在水平方向上将相邻两个电极对上的电极材料层隔离；所述电解质层设于所述电极材料层之上，并设于每个电极对中的第一叉指与第二叉指之间本发明所述的基于叉指电极结构的电池中无需设置传统锂电池中的隔膜，并且结构平面化，电池内阻低。
一种基于电极结构锂电池