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- [发明专利]一种压力传感器及其制备方法-CN201811366144.3有效
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黄晓东;曹远志;黄见秋;黄庆安
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东南大学
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2018-11-16
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2020-12-29
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G01L1/16
- 本发明提供了一种半导体压力传感器，半导体压力传感器呈顶栅型场效应晶体管结构，半导体压力传感器包括设置在第二衬底上表面的顶栅型场效应晶体管，顶栅型场效应晶体管包括设置在第二衬底上表面的源极/漏极、覆盖源极/漏极的半导体层、覆盖半导体层的栅极绝缘层，形成在栅极绝缘层上的栅极，栅极为压电层；正对顶栅型场效应晶体管设置在所述第二衬底下表面的凹槽，源极/漏极对称设置在所述凹槽的两侧，栅极的外侧端部边缘覆盖源极/漏极的内侧的端部边缘或者与源极/漏极的内侧的端部边缘相对齐。本发明的半导体压力传感器通过压电效应产生的压电电荷为晶体管的栅极提供偏置，无需外加栅压就能工作，具有低功耗、高灵敏度的优点。
- 一种压力传感器及其制备方法
- [发明专利]电磁式振动能量收集器及其制备方法-CN201711292703.6有效
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黄晓东;黄见秋;黄庆安
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东南大学
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2017-12-08
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2020-06-12
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B81B7/02
- 本发明提供了一种电磁式振动能量收集器及其制备方法，该振动能量收集器包括：相互堆叠的第一衬底、第二衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一电磁拾振结构，所述第二悬臂梁结构的外侧表面设置有第二电磁拾振结构。使用本发明的制备方法制备的电磁式振动能量收集器具有结构紧凑、输出功率密度高、精度高、一致性好、易于批量制造、制造成本低及易于小型化的优点。
- 电磁式振动能量收集及其制备方法
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