“叉指电极”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果798494个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种光镊测试介电泳力芯片及其制造方法、以及测试方法-CN202210672269.9在审
发明人：程鑫;吴春卉;徐俊彦;陶超然;黄凯程;朴英哲;陈日飞;刘羽 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C12M1/42 文献下载
摘要：本发明提供一种光镊测试介电泳力芯片及其制造方法、以及测试方法，一种光镊测试介电泳力芯片包括底部基板、位于所述底部基板上的电极层、位于电极层上的微孔阵列层和阵列设置的测试定位层；所述电极层包括相对设置的多对第一叉指电极和第二叉指电极，每对第一叉指电极和第二叉指电极之间具有间隙；所述微孔阵列层包括阵列设置的多个微孔；所述微孔位于所述第一叉指电极和第二叉指电极之间，每行第一叉指电极和第二叉指电极之间具有多个微孔；每行的微孔位于该行两个测试定位层之间
一种测试电泳芯片及其制造方法以及

[发明专利]平面叉指电极结构的电化学惯性传感器-CN201610422127.1在审
发明人：杨大鹏;徐慧仪;周晓华 -专利权人：吉林大学
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2016-09-21 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种平面叉指电极结构的电化学惯性传感器，属于惯性传感技术领域。包括叉指电极板、敏感液体、U型壳体、弹性橡胶膜及检测电路。所述叉指电极板为表面对称排列有两对叉指电极的绝缘平板，叉指电极作为电化学反应的两对阴/阳电极；所述敏感液体为溶液离子在阴/阳电极间发生可逆氧化/还原反应的电解液。所述U型壳体与叉指电极板共同组成敏感液体的流道，流道两端被弹性橡胶膜密封，敏感液体在外部惯性力作用下相对叉指电极表面流动。优点在于：结构简单、制作方便、成本低廉、可批量生产，应用范围广，实用性强。
平面电极结构电化学惯性传感器

[实用新型]平面叉指电极结构的电化学惯性传感器-CN201620579338.1有效
发明人：杨大鹏;徐慧仪;周晓华 -专利权人：吉林大学
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种平面叉指电极结构的电化学惯性传感器，属于惯性传感技术领域。包括叉指电极板、敏感液体、U型壳体、弹性橡胶膜及检测电路。所述叉指电极板为表面对称排列有两对叉指电极的绝缘平板，叉指电极作为电化学反应的两对阴/阳电极；所述敏感液体为溶液离子在阴/阳电极间发生可逆氧化/还原反应的电解液。所述U型壳体与叉指电极板共同组成敏感液体的流道，流道两端被弹性橡胶膜密封，敏感液体在外部惯性力作用下相对叉指电极表面流动。优点在于：结构简单、制作方便、成本低廉、可批量生产，应用范围广，实用性强。
平面电极结构电化学惯性传感器

[发明专利]叉指换能器及谐振器-CN202310120451.8在审
发明人：高安明;姜伟 -专利权人：浙江星曜半导体有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本申请提供叉指换能器及谐振器，叉指换能器包括压电基板，以及设置于压电基板表面的功能层；功能层包括第一叉指电极和第二叉指电极，第一叉指电极包括第一汇流条，以及多个第一电极指；第二叉指电极包括第二汇流条，以及多个第二电极指；第一汇流条和第二汇流条沿第一方向间隔设置；第一电极指设置于第一汇流条靠近第二汇流条的一侧，相邻的两个第一电极指之间容置一个第二电极指；第一汇流条设置有第一凹槽，在第一方向上，各第二电极指均对应设置于第一凹槽；第二汇流条设置有第二凹槽，在第一方向上，各第一电极指均对应设置于第二凹槽。本申请能够减小叉指换能器内的声表面波出现散射现象以及杂散模态的可能性，提高声表面波的品质因数。
叉指换能器谐振器

[发明专利]一种兰姆波器件及其制备方法-CN202110987508.5在审
发明人：欧欣;房晓丽;郑鹏程;张师斌;张丽萍 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：该兰姆波器件包括由下至上依次设置的支撑衬底、布拉格反射层、压电薄膜和叉指电极结构；该布拉格反射层包括交替层叠的低声阻抗层和高声阻抗层；该叉指电极结构包括第一总线、第二总线、第一叉指电极和第二叉指电极；该第一总线的第一端与该第二总线的第一端相对，且存在预设距离；该第一叉指电极设于该第一总线上；该第二叉指电极设于该第二总线上；该第一叉指电极的形状和该第二叉指电极的形状为弧形。
一种兰姆波器件及其制备方法

[发明专利]一种声波谐振器及其制备方法-CN202111218430.7在审
发明人：欧欣;郑鹏程;张师斌;吴进波;张丽萍 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请实施例所公开的一种声波谐振器及其制备方法，声波谐振器包括衬底、压电膜和多个叉指电极，其中，衬底具有空气腔，压电膜设置在衬底的上表面，多个叉指电极设置在压电膜的上表面，多个叉指电极包括第一叉指电极集合，第一叉指电极集合中每个第一叉指电极上开设有刻蚀通孔，刻蚀通孔贯穿第一叉指电极和压电膜，刻蚀通孔与空气腔连通。基于本申请实施例通过在第一叉指电极上开设刻蚀通孔，利用各向同性的刻蚀和释放工艺，可以控制多余的悬空区域的大小，在不影响器件性能的前提下，可以提高器件的功率容量，并且通过减小悬空区域可以提升器件机械稳定性
一种声波谐振器及其制备方法

[发明专利]声波设备-CN202180084809.5在审
发明人：木村哲也;文西斯拉夫·扬切夫;帕特里克·特纳;罗伯特·B·哈蒙德;维克多·普莱斯基;苏米亚·亚德拉帕利;布赖恩特·加西亚;杰森·约翰 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：一种声波设备包括：空腔，在基板中；重叠区域，其中，相邻的第一叉指电极和第二叉指电极的部分彼此相对；第一间隙区域，在第一母线和重叠区域之间，并且包括第一叉指电极，但不包括第二叉指电极；以及第二间隙区域，在第二母线和重叠区域之间，并且包括第二叉指电极，但不包括第一叉指电极。比率d/p为约0.5或更小，其中，d是压电层的厚度，并且p是相邻的第一叉指电极和第二叉指电极的中心之间的距离。
声波设备

[发明专利]一种基于叉指电极拓展栅结构的晶体管接近传感器-CN202310867855.3在审
发明人：朱国栋;许珈玮 -专利权人：复旦大学
申请日： 2023-07-16 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01V3/08 文献下载
摘要：本发明属于仪器仪表技术领域，具体为一种基于叉指电极拓展栅结构的晶体管接近传感器。本发明的接近传感器由电压源、电流表、晶体管、叉指电极等部分组成。电压源用于给晶体管漏极和叉指电极远栅端供电，叉指电极近栅端经由导电引线与晶体管栅极电连接。本发明的接近传感器的工作机制依赖于目标物与叉指电极间的静电感应、目标物对叉指电极电容的调控作用以及目标物对叉指电极近栅端分压的调制作用三者间的协同增强作用。带电目标物或是不带电目标物靠近叉指电极拓展栅端时，均可导致晶体管源漏电流改变，从而实现接近传感功能。
一种基于电极拓展结构晶体管接近传感器

[发明专利]一种兰姆波谐振器-CN202210459949.2有效
发明人：温志伟;刘文娟;刘婕妤;罗天成;蔡耀;孙成亮;孙博文 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种兰姆波谐振器，涉及半导体技术领域，本发明的兰姆波谐振器，包括压电层和设置在压电层上表面的第一叉指电极，第一叉指电极包括间隔交替分布的第一正叉指电极和第一负叉指电极，相邻的第一正叉指电极和第一负叉指电极之间设有与压电层连接的凸起结构本发明提供的兰姆波谐振器，通过在相邻的第一正叉指电极和第一负叉指电极之间设置与压电层连接的凸起结构，以使压电层具有不同的厚度，一种厚度对应一个谐振峰，以此实现双谐振峰或多谐振峰响应，解决无线通信的多频段难以高度集成的技术问题
一种兰姆波谐振器

[发明专利]一种声表面波滤波器-CN201711334862.8在审
发明人：罗艳 -专利权人：四川九鼎智远知识产权运营有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：其包括压电基片以及设置在压电基片上的第一叉指换能器组、第二叉指换能器组和多个反射栅，第一叉指换能器组和第二叉指换能器组连接成凸字形结构，第一叉指换能器组包括四个串联的叉指换能器，第二叉指换能器组包括两个并联的叉指换能器，每一叉指换能器的两侧设置有反射栅，第一叉指换能器组中的叉指换能器的厚度大于第二叉指换能器组的叉指换能器的厚度，叉指换能器包括两个汇流排和多根电极条，多根电极条互相间隔交错设置并与两侧的汇流排电连接，反射栅的一端与相邻的叉指换能器的汇流排电连接，第一叉指换能器组两端的叉指换能器的汇流排分别连接有输入电极和输出电极。
一种表面波滤波器

[发明专利]多量程叉指电容式湿度传感器-CN201310633521.6在审
发明人：薛惠琼;王玮冰;田龙坤 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2013-11-30 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种多量程叉指电容式湿度传感器，其特征是：包括多个连接在一起的传感器单元，所述传感器单元包括一对叉指状的上电极和下电极，下电极和上电极穿过SiO2氧化层设置在硅基底的同一表面上，上电极的叉指和下电极的叉指呈叉指状交错排列，在上电极和下电极的叉指之间填充湿度敏感介质；在所述上电极和下电极的上方设置铝条，铝条位于上电极和下电极的叉指之间，在铝条和上电极之间填充湿度敏感介质；在所述上电极和下电极正下方的硅基底上形成空腔，使下电极、上电极以及下电极和上电极叉指间的湿度敏感介质直接与空气接触；所述传感器单元由铝条串联在一起。
多量程叉指电容湿度传感器

[发明专利]CMOS MEMS电容式湿度传感器-CN201310633540.9有效
发明人：薛惠琼;王玮冰;田龙坤 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2013-11-30 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种CMOS MEMS电容式湿度传感器，其特征是：包括叉指状的上电极和叉指状的下电极，下电极穿过SiO₂氧化层设置在硅基底的同一表面上，上电极位于下电极的上方，在上电极和下电极之间、上电极的叉指之间、下电极的叉指之间填充湿度敏感介质；在所述上电极的上方设置铝条，铝条位于上电极、下电极的叉指之间，在铝条和上电极之间填充湿度敏感介质；在所述上电极和下电极正下方的硅基底上形成空腔，使下电极以及下电极叉指间的湿度敏感介质直接与空气接触所述上电极的叉指与下电极的叉指在高度方向上重合。所述湿度敏感介质为聚酰亚胺。本发明响应迅速，灵敏度高，输出范围宽，耐高温，湿滞误差小，温度特性和长期稳定性好。
cmos mems 电容湿度传感器

[发明专利]叉指型体声波谐振器及滤波器-CN202111115882.2在审
发明人：罗天成;蔡耀;周杰;孙成亮;孙博文 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种叉指型体声波谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该叉指型体声波谐振器包括衬底和位于衬底上的压电叠层，压电叠层包括位于衬底上的压电层以及位于压电层上的第一组叉指电极和第二组叉指电极，衬底靠近压电叠层的一侧设有空腔；其中，第一组叉指电极和第二组叉指电极均包括多个第一电极，且至少两个第一电极在压电层上的高度不同。该叉指型体声波谐振器能够通过设置多个不同高度的叉指阵列，实现多模态谐振器的各模态独立调谐。
叉指型体声波谐振器滤波器

[实用新型]多参量声表面波传感器-CN202320196029.6有效
发明人：张建;毛兴;高兴琼;张方荣;尹娟 -专利权人：成都高斯电子技术有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多参量声表面波传感器，包括主基板，主基板上设置有通信接口、声表面波谐振器和单基片多参量声表面波传感器，通信接口、声表面波谐振器、单基片多参量声表面波传感器并联，单基片多参量声表面波传感器包括基片，基片上设置有主叉指电极，主叉指电极的第一侧设置有阻抗测试叉指电极和/或温度测试反射珊，主叉指电极的第二侧设置有多个气体组分测试子叉指电极和气体组分参考校准叉指电极。本实用新型将阻抗测试叉指电极、温度测试反射珊与气体组分测试子叉指电极分别设置到主叉指电极的两侧，且在两侧呈非对称结构，在声表面波时域反射上属于不交叉无混叠的结构，因此可以高精度的区分出多参数测量问题。
参量表面波传感器

[发明专利]叉指型微电极阵列电化学传感器及制备方法与应用、专用测试盒-CN202011508466.4在审
发明人：李明吉;张天润;李红姬;刘丹丹;李翠平;李爱学;王桂莲;龙拥兵;杨保和 -专利权人：天津理工大学;北京农业信息技术研究中心;华南农业大学
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G01N27/327 文献下载
摘要：本发明提供了一种叉指型微电极阵列电化学传感器及制备方法与应用、专用测试盒，涉及传感器技术领域。本发明提供的叉指型微电极阵列电化学传感器，包括叉指型铝微电极阵列，所述叉指型铝微电极阵列由三组铝微电极阵列以叉指方式组合而成，每组铝微电极阵列为一个电极，三组铝微电极阵列构成三电极体系。本发明提供的电化学传感器以叉指型铝微电极阵列为芯片，由于叉指型铝微电极阵列具有高的三电极交错密度和平面结构适合常规的离体检测；叉指型铝微电极阵列可以为薄片状，便于携带。
叉指型微电极阵列电化学传感器制备方法应用专用测试