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[发明专利]一种单晶薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器-CN202210027314.5有效
发明人：邹杨;蔡耀;林炳辉;罗天成;高超;詹道栋;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请提供一种单晶薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及滤波器技术领域，方法包括：在临时衬底上依次形成层叠的缓冲层、压电层和第一电极；在第一电极上形成第一键合层；提供基底；刻蚀基底以在基底表面形成多个第一凸块；在基底表面形成覆盖多个第一凸块顶面的第二键合层；将位于多个第一凸块顶面的第二键合层与第一键合层键合；在键合时，由于可以通过刻蚀槽控制第一凸块顶面的面积大小，便可以控制位于第一凸块顶面的第二键合层的面积，从而实现对键合面积的控制。通过对键合面积进行控制，实现了键合要求与键合可靠性之间的平衡。
一种薄膜声波谐振器及其制备方法滤波器

[发明专利]基于SAW谐振器的无线无源阵列式传感器及测量方法-CN202310148562.X在审
发明人：孙成亮;魏民;刘炎;曲远航;蔡耀;刘文娟;罗天成;谢英 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01D5/48 文献下载
摘要：本发明涉及微电子技术，具体涉及基于SAW谐振器的无线无源阵列式传感器及测量方法，该传感器包括包括无线无源传感器阵列、信号收发与处理系统。无线无源传感器阵列接收信号收发与处理系统的无线激励信号并针对外界多个传感量作出响应，并将响应信号发送回信号收发与处理系统，通过信号收发与处理系统将无线无源传感器阵列的响应信号分离解耦，最终获得所需的传感量。该传感器解决了现有技术中，只能测量单一传感量，无法对耦合参数进行测量的缺点。通过上位机软件进行信号处理，外部电路简单，稳定性好，可靠性高。
基于 saw 谐振器无线无源阵列传感器测量方法

[发明专利]一种高精度的GNSS模拟器时间同步方法-CN201911308856.4有效
发明人：丁颖浩;洪锐;周姝春;罗天成;张瑾;梁琨 -专利权人：中国航空工业集团公司成都飞机设计研究所
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01S19/25 文献下载
摘要：GNSS模拟器常用于飞控系统半实物仿真中，它能模拟飞机所在位置天空卫星星座辐射的导航信号，辅助仿真系统完成含有卫星定位接收机的飞控半实物仿真。由于GNSS模拟器和仿真计算机各自时钟精度不同，使得两者在长时间仿真过程中累积的时差持续增大，最终会在数小时内因时差超限而出现接收机无法定位的问题。本发明提出一种高精度的GNSS模拟器时间同步方法，成本低廉效果好，不改变仿真计算机硬件，而是采用一套外置的嵌入式定时设备，根据GNSS模拟器输出的“秒脉冲”信号对设备内部的定时周期进行持续调节，使累计时间对“秒脉冲”保持精确跟踪，并按修正过后的周期节拍，将触发信号传输至仿真计算机，从而彻底消除仿真计算机与GNSS模拟器之间的累计时间误差。
一种高精度 gnss 模拟器时间同步方法

[发明专利]一种兰姆波谐振器-CN202210459949.2有效
发明人：温志伟;刘文娟;刘婕妤;罗天成;蔡耀;孙成亮;孙博文 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种兰姆波谐振器，涉及半导体技术领域，本发明的兰姆波谐振器，包括压电层和设置在压电层上表面的第一叉指电极，第一叉指电极包括间隔交替分布的第一正叉指电极和第一负叉指电极，相邻的第一正叉指电极和第一负叉指电极之间设有与压电层连接的凸起结构，凸起结构用于改变压电层的厚度。本发明提供的兰姆波谐振器，通过在相邻的第一正叉指电极和第一负叉指电极之间设置与压电层连接的凸起结构，以使压电层具有不同的厚度，一种厚度对应一个谐振峰，以此实现双谐振峰或多谐振峰响应，解决无线通信的多频段难以高度集成的技术问题。
一种兰姆波谐振器

[发明专利]谐振器及其制备方法、滤波器-CN202210067464.9有效
发明人： 罗天成;蔡耀;高超;邹杨;林炳辉;龙开祥;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：一种谐振器及其制备方法、滤波器，涉及谐振器技术领域。该制备方法包括：在第一衬底上形成压电层、第一电极层和第一键合层；对第一键合层进行图案化以形成第一键合环、第二键合环和第三键合环；并刻蚀露出的第一电极层以形成第一窗口；在第二衬底上形成第一支撑层和第二键合层；对第二键合层进行图案化以形成第四键合环和第五键合环；并刻蚀露出的第一支撑层以形成第二窗口和第三窗口，得到位于第三窗口和第二窗口之间的边界环；将第三键合环和第五键合环键合、第二键合环和第四键合环键合得到谐振器的空腔结构；去除第一衬底，并在压电层上形成第二电极层。该制备方法通过封装键合工艺实现边界环的制备，其制备工艺简单。
谐振器及其制备方法滤波器

[发明专利]谐振器、谐振器制备方法以及滤波器-CN202310094992.8在审
发明人： 罗天成;刘文娟;童欣;谢英;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H03H9/13 文献下载
摘要：本申请提供了一种谐振器、谐振器制备方法以及滤波器，该谐振器包括压电层、第一电极结构和第二电极结构，其中，第一电极结构与第二电极结构设置在压电层上，第一电极结构包括多个间隔设置的第一叉指电极，第二电极结构包括多个间隔设置的第二叉指电极，第一叉指电极上设有第一电极孔和/或第二叉指电极上设有第二电极孔，其中，第一电极孔未贯穿第一叉指电极的轮廓线，且第一电极孔与第一叉指电极端部的距离大于预设值；第二电极孔未贯穿第二叉指电极的轮廓线，且第二电极孔与第二叉指电极端部的距离大于预设值。通过电极孔抑制第一叉指电极与第二叉指电极的平行边激发产生的杂波，并在抑制杂波的同时提升主模态的能量，保证了谐振器的性能较好。
谐振器制备方法以及滤波器

[发明专利]谐振器以及谐振器的制作方法-CN202310090204.8在审
发明人： 罗天成;刘文娟;刘婕妤;温志伟;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H03H9/13 文献下载
摘要：本申请提供了一种谐振器以及谐振器的制作方法，该谐振器包括相对设置的两个叉指电极结构，叉指电极结构包括电极母线及叉指电极，叉指电极设有第一异形结构，电极母线设有第二异形结构，第一异形结构和/或第二异形结构在谐振器工作时产生不同方向的声波。由于叉指电极设有第一异形结构，电极母线设有第二异形结构，且第一异形结构和/或第二异形结构在谐振器工作时产生不同方向的声波，避免了现有技术中声波通过叠加形成稳定且能量强的驻波，保证了谐振器不会产生能量较强的杂波，解决了现有中的由于矩形叉指形成的杂波导致谐振器性能较差的问题，保证了谐振器的性能较好。
谐振器以及制作方法

[发明专利]带有沟槽结构的体声波谐振器-CN202110160231.9有效
发明人：孙成亮;罗天成;刘炎;邹杨;周杰;谢英;徐沁文;高超 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有沟槽结构的体声波谐振器，具体指一种带有阵列式沟槽结构，高谐振频率的体声波谐振器结构。该谐振器结构包括底电极、压电层、压电层中的沟槽结构和顶电极。该结构能够减小谐振器中压电层的等效厚度，有效地提高谐振器的谐振频率，能满足5G/6G通讯的实际需求。
带有沟槽结构声波谐振器

[发明专利]体声波谐振器及其制备方法、滤波器-CN202111116757.3有效
发明人： 罗天成;蔡耀;赵坤丽;邹杨;曲远航;刘炎;孙成亮;孙博文 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及滤波器技术领域。该体声波谐振器包括具有空腔的衬底、设于衬底上的底电极、设于底电极上的压电层和设于压电层上的顶电极；空腔、底电极、压电层和顶电极在层叠方向上的交叠区域形成有效谐振区域；体声波谐振器还包括位于有效谐振区域之外且贯通压电层并延伸至衬底内的至少一个声波隔离孔，声波隔离孔与空腔连通。该体声波谐振器能够有效改善声波能量自有效谐振区域向非有效谐振区域泄漏，从而提高体声波谐振器的品质因数。
声波谐振器及其制备方法滤波器

[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器-CN202111175347.6有效
发明人：赵坤丽;刘炎;罗天成;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-10-09 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：衬底，在衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极，上电极在衬底的正投影的轮廓由四条曲线首尾相接而成，相邻两条曲线的连接处设置有弧形过渡，间隔设置的两条曲线不平行。如此，能够有效提高器件的可靠性，同时，还能够有效抑制寄生谐振幅值，提高Q值，从而提高器件性能。
一种声波谐振器滤波器

[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制备方法-CN202211062809.8在审
发明人：曲远航;孙成亮;孙博文;蔡耀;邹杨;高超;罗天成;王雅馨 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，包括衬底上形成单晶压电薄膜层,单晶压电薄膜层刻蚀贯通至衬底的第一沟槽,第一沟槽内沉积第一牺牲层；单晶压电薄膜层沉积第二牺牲层和底电极,第二牺牲层用于形成底电极和单晶压电薄膜层之间的底电极空气桥；底电极依次形成第三牺牲层和支撑层,第三牺牲层形成支撑层和底电极之间的空腔；支撑层上形成键合层；键合层上通过晶圆键合层键合晶圆；去除衬底；单晶压电薄膜层上依次形成第四牺牲层和顶电极,第四牺牲层用于形成顶电极和单晶压电薄膜层之间的顶电极空气桥,顶电极空气桥通过第一沟槽和空腔连通；顶电极刻蚀单晶压电薄膜层形成第二沟槽,第二沟槽和底电极空气桥连通。
薄膜声波谐振器及其制备方法

[实用新型]一种谐振器及滤波器-CN202222211598.1有效
发明人： 罗天成;刘炎;刘文娟;蔡耀;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种谐振器及滤波器，涉及半导体技术领域。该谐振器包括衬底层和依次层叠设置在衬底层上的底电极层、压电层和顶电极层，衬底层和底电极层之间具有第一空腔，第一空腔与空气连通，顶电极层和第一空腔在衬底层上的正投影至少部分重合，压电层上还设有环状结构，环状结构环绕顶电极层设置，环状结构与压电层共同围合形成第二空腔。该谐振器在顶电极层的外侧设置环状结构，环状结构与压电层围合形成第二空腔，利用环状结构自身材料与第二空腔中空气的声阻抗的不同，在谐振器的有效谐振区域的外侧形成高声阻抗材料和低声阻抗材料交替的结构，以限制声波的横向泄露，具有较高的品质因数。
一种谐振器滤波器

[发明专利]一种谐振器及其制备方法-CN202211025475.7在审
发明人：孙成亮;龙开祥;孙博文;国世上;蔡耀;罗天成;邹杨 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振器及其制备方法，涉及半导体技术领域，本发明的谐振器，包括第一衬底层以及在第一衬底层上依次层叠的支撑层、底电极层、压电层和顶电极层，支撑层和底电极层之间具有空腔，空腔通过释放孔与空气连通，顶电极层、压电层和底电极层在空腔的正投影重叠的部分共同构成有效谐振区域，压电层上设有第一凹槽，第一凹槽内填充介电材料以形成介电层，介电层分别与顶电极层和底电极层贴合以形成电容，电容位于有效谐振区域的侧面并与有效谐振区域并联。上述谐振器本身具有电容，且电容与有效谐振区域并联，在搭建滤波器时不会增大器件的占用面积，且能够调节电容的大小，同时，还能起到抑制谐振器中横向传播的杂波的作用。
一种谐振器及其制备方法

[发明专利]双工况自调适平衡阀及其控制方法-CN202210611412.3在审
发明人：逄秀锋;罗天成 -专利权人：中研（深圳）建设科技有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： F24F11/84 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种双工况自调适平衡阀及其控制方法，所述平衡阀包括阀体、电动操作机构、控制器、压差传感器、温度传感器，压差传感器和温度传感器分别用于两管制检测暖通空调水系统支路的供回水管中的压力和温度；控制器根据当前所在的月份以及温度传感器所反馈的温度选择启用供冷模式或供热模式。本发明根据传热介质温度对层内的两管制暖通空调系统进行水力平衡调整，使得两管制暖通空调系统能够满足全年冷热需求，避免同层出现冷热不均现象，提高了用户的舒适度，降低为了满足最不利供冷（供热）条件而导致的用能浪费。
双工调适平衡及其控制方法

[发明专利]一种谐振器及其制备方法-CN202211006244.1在审
发明人：高超;蔡耀;罗天成;林炳辉;龙开祥;邹杨;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，包括衬底以及依次层叠于衬底上的下电极、复合压电层和上电极，在复合压电层中设置有多个温度补偿块，多个温度补偿块位于有效工作区域，并且由于多个温度补偿块分布在垂直层叠方向的平面内，因此，能够保证对有效工作区域进行温度补偿的范围。在此基础上，多个温度补偿块相互之间采用间隔的方式分布，便能够在任意两个相邻的温度补偿块之间的区域保持正常的电学性能，从而实现在保证温度补偿范围的同时，能够显著降低单体温度补偿块对有效工作区域的连续覆盖面积，从而降低因设置温度补偿结构而对谐振器电学性能造成的影响。
一种谐振器及其制备方法

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