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[发明专利]背板串接型太阳能电池及其模块-CN201410044041.0无效
发明人：林昆志 -专利权人：新日光能源科技股份有限公司
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：背板串接型太阳能电池各包含一太阳能电池本体、二第一指叉电极组、一第二指叉电极组及多个电路连接垫。太阳能电池本体具有一背光面；第一指叉电极组设于背光面的两侧；第二指叉电极组设于背光面，并位于二第一指叉电极组之间；电路连接垫设置于第一指叉电极组的第一总线与第二指叉电极组的第二总线。
背板串接型太阳能电池及其模块

[发明专利]声表面波气体传感器及其制作方法-CN200810224902.8无效
发明人：李昊峰;贾锐;李维龙;陈晨;朱晨昕 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2008-10-24 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： G01N29/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波气体传感器，包括：一压电晶体衬底；制备于该压电晶体衬底表面的三组相互平行且间隔相等的第一叉指电极、第二叉指电极和第三叉指电极；以及在第一叉指电极与第二叉指电极，以及第二叉指电极与第三叉指电极之间的衬底表面分别蒸镀或涂敷的能够吸附被测气体的敏感膜
表面波气体传感器及其制作方法

[发明专利]声表面波谐振器及其制造方法-CN202310844732.8在审
发明人：朱勇;吴梓莹;梁起 -专利权人：唯捷创芯（天津）电子技术股份有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供了一种声表面波谐振器及其制造方法，叉指换能器包括多个叉指电极以及与所述叉指电极连接的两个汇流条组，每个所述汇流条组中靠近所述叉指电极的所述汇流条与所述叉指电极的法向之间呈角度设置，由此可以抑制横向模态进一步的，所述叉指电极的端部设置有质量块，由此可以减小叉指电极末端的声速。
表面波谐振器及其制造方法

[发明专利]一种超宽带声表面波滤波器-CN201711334865.1在审
发明人：罗艳 -专利权人：四川九鼎智远知识产权运营有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：其包括压电基片以及设置在压电基片上的第一叉指换能器组、第二叉指换能器组、选择性吸附膜区和多个反射栅，两个叉指换能器组连接成凸字形结构，第一叉指换能器组包括四个串联的叉指换能器，第二叉指换能器组包括两个并联的叉指换能器，每一叉指换能器的两侧设置有反射栅，第一叉指换能器组中的叉指换能器的厚度大于第二叉指换能器组的叉指换能器的厚度，叉指换能器包括两个汇流排和多根电极条，多根电极条互相间隔交错设置并与两侧的汇流排电连接，第一叉指换能器组两端的叉指换能器的汇流排分别连接有输入电极和输出电极
一种宽带表面波滤波器

[实用新型]一种超宽带声表面波滤波器-CN201721740095.6有效
发明人：罗艳 -专利权人：四川九鼎智远知识产权运营有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：其包括压电基片以及设置在压电基片上的第一叉指换能器组、第二叉指换能器组、选择性吸附膜区和多个反射栅，两个叉指换能器组连接成凸字形结构，第一叉指换能器组包括四个串联的叉指换能器，第二叉指换能器组包括两个并联的叉指换能器，每一叉指换能器的两侧设置有反射栅，第一叉指换能器组中的叉指换能器的厚度大于第二叉指换能器组的叉指换能器的厚度，叉指换能器包括两个汇流排和多根电极条，多根电极条互相间隔交错设置并与两侧的汇流排电连接，第一叉指换能器组两端的叉指换能器的汇流排分别连接有输入电极和输出电极
叉指换能器汇流排声表面波滤波器选择性吸附膜本实用新型压电基片超宽带电极条反射栅气体敏感薄膜凸字形结构互相间隔交错设置两侧设置输出电极输入电极电连接组连接并联沉积减小串联

[发明专利]叉指电容组件和感知装置-CN202111681798.7在审
发明人：张致同;李君实;黄东;李志宏 -专利权人：北京大学
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01V3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种叉指电容组件和感知装置，该叉指电容组件包括：衬底，包括输入端和输出端，输入端为绝缘材料制成；叉指电容，安装于输入端，包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极均盘绕于衬底的第一侧面，第二电极设于第一电极的间隙中，且与第一电极呈梳齿状交错排列；传输电路，第一端与叉指电容电级连接，第二端延伸至输出端。本发明提供的叉指电容组件和感知装置，通过在衬底的输入端设置叉指电容，利用梳齿状交错排列的第一电极和第二电极构成叉指电容，利用输出端导出电信号，能够以简单轻薄的结构来提高感知敏感度，提高抗干扰能力，提高对物体接近的感知能力以及压力的传感能力
电容组件感知装置

[发明专利]一种声表面波谐振器-CN202111466558.5在审
发明人：欧欣;姚虎林;张师斌 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：该声表面波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜、叉指换能器和两个反射栅单元；叉指换能器的两侧分别设有一个反射栅单元；从而使得当该谐振器处于工作模式时，可以在压电薄膜区域形成准驻波。且该叉指换能器包括叉指电极区域，叉指电极区域包括叉指电极对，后续可以通过对叉指电极的尺寸进行调节，从而使使每对叉指电极对的菲涅尔区可以包括整个谐振器，实现抑制衍射效应的效果，提高了该器件的品质因数。
一种表面波谐振器

[发明专利]一种弹性波谐振器及其制备方法-CN202110987487.7在审
发明人：欧欣;郑鹏程;张师斌;房晓丽;吴进波 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：该弹性波谐振器包括由下至上依次设置的支撑衬底、压电薄膜和叉指电极结构；该支撑衬底上设有孔；该叉指电极结构包括第一总线、第二总线、第一叉指电极和第二叉指电极；该第一总线的第一端与该第二总线的第一端相对，且存在预设距离；该第一叉指电极设于该第一总线上；该第二叉指电极设于该第二总线上；该第一叉指电极的形状和该第二叉指电极的形状为弧形。
一种弹性谐振器及其制备方法

[发明专利]一种具有温度补偿功能的声表面波换能器的制备方法-CN202110008821.X有效
发明人：许志斌;陆增天;杨明亮;吴庄飞;李壮 -专利权人：无锡市好达电子股份有限公司
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有温度补偿功能的声表面波换能器的制备方法，涉及声表面波器件制造领域，包括：在压电基板上制备叉指换能器，叉指换能器包括相对交叉设置的第一叉指结构和第二叉指结构，两叉指结构相同均包括第一类叉指电极和作为牺牲层的第二类叉指电极；在压电基板上制备第一温度补偿介质薄膜，其剖面形貌具备电极上方凸起、相邻电极指间隙上方平坦的特点；将第一温度补偿介质薄膜的膜厚降至第一类叉指电极厚度附近形成第一温度补偿介质层；腐蚀并剥离牺牲层；在第一类叉指电极和第一温度补偿介质层表面制备第二温度补偿介质层
一种具有温度补偿功能表面波换能器制备方法

[实用新型]一种高精密共面集成叉指电极-CN201920554064.4有效
发明人：奚亚男;崔皓博 -专利权人：广州钰芯传感科技有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高精密共面集成叉指电极，包括基底，基底上固定设有相互之间共面的第一电极、第二电极和第三电极，第一电极的第一端部、第二电极的第一端部和第三电极的第一端部均延伸至基底的侧端，以形成USB接口部，第一电极的第二端部上设有若干第一叉指条，第三电极的第二端部上设有若干第二叉指条，若干第二叉指条间隔设置在第一叉指条的间隙中，第二电极的第二端部延伸至第一叉指条的一侧，该叉指电极可以实现与USB标准接口紧密对接的目的，简化了与电化学工作站之间的导路连接方式，便于更换，将三电极集成设计在基底上，降低了检测干扰，电极间设计微间距的叉指条，提高了检测灵敏度和检测数据精度。
一种精密集成电极

[发明专利]柔性压力传感器及其制备方法、可穿戴设备-CN202111345523.6有效
发明人：刘静;李文博;李静;王佳伟;李炯利;王旭东;罗圭纳;王刚 -专利权人：北京石墨烯技术研究院有限公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：柔性压力传感器包括叉指电极层、压感层及位于叉指电极层与压感层之间的粘附层；叉指电极层相邻叉指间的距离有任意一种关系：（a）由叉指电极层中心向外，相邻叉指间的距离从0.2mm~0.6mm逐渐增大至0.6mm~1.2mm；（b）由叉指电极层中心向外，相邻叉指间的距离从0.6mm~1.2mm逐渐减小至0.2mm~0.6mm；压感层中石墨烯的质量百分含量为0.6%~2%，粘附层的中部留空将叉指电极层与压感层的边缘部位粘接以使叉指电极层与压感层之间形成气腔
柔性压力传感器及其制备方法穿戴设备

[发明专利]微型仿生弱磁场传感器及其制备方法和磁场测试方法-CN202111485342.3在审
发明人：葛玉卿;赵江贵;程乾;赵建龙;周婷;薛亚波 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海前瞻创新研究院有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G01R33/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型仿生弱磁场传感器及其制备方法和磁场测试方法，其中，微型仿生弱磁场传感器包括衬底层、生物磁感应层和结构层；生物磁感应层与结构层设置在衬底层的同一侧；生物磁感应层包括叉指微电极和生物磁感应蛋白，叉指微电极附着在衬底层上，生物磁感应蛋白通过修饰固定在叉指微电极的叉指结构表面；结构层与衬底层连接，结构层具有两端开口的空腔，叉指微电极的叉指结构容置于空腔内，叉指微电极的引脚设置在衬底层上与结构层不重叠的区域，叉指微电极的引脚用于导出磁场检测信号。
微型仿生磁场传感器及其制备方法测试

[发明专利]谐振器及其制作方法、滤波器、电子设备-CN202080103401.3在审
发明人：鲍景富;吴兆辉;李亚伟;李昕熠;高宗智 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：该谐振器包括：压电基板、设置在压电基板上的叉指换能器；压电基板包括依次层叠设置的衬底、反射层、压电层；叉指换能器包括：第一汇流条、第二汇流条、以及位于第一汇流条和第二汇流条之间并列、依次交替设置的第一叉指电极和第二叉指电极的多个叉指电极；第一叉指电极与第一汇流条连接，第二叉指电极与第二汇流条连接；谐振器还包括：设置于压电基板上的第一反射槽；第一反射槽位于第一叉指电极与第二汇流条之间的区域。
谐振器及其制作方法滤波器电子设备

[发明专利]基于叉指电极的自动扶梯安全控制系统-CN201611090653.9有效
发明人：於浩;韩绍义 -专利权人：於浩
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： B66B29/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于叉指电极的自动扶梯安全控制系统。其包括至少两列叉指电极和控制装置，所述叉指电极均与控制装置通过有线连接。本发明的基于叉指电极的自动扶梯安全控制系统通过在自动扶梯梯级内侧设置叉指电极，采用叉指电极与自动扶梯梯级及梯级附件接触形成电流回路从而生成开关信号的方式对自动扶梯运行情况进行安全状态判断，并利用控制装置准确
叉指电极自动扶梯安全控制系统控制装置自动扶梯梯级安全状态判断电流回路开关信号生命财产梯级乘客安全保证

[发明专利]半导体封装体用叉指电极的制备方法及半导体封装体-CN202310547365.5有效
发明人：赵淄红 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H10N30/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体封装体用叉指电极的制备方法及半导体封装体，用以解决现有用于射频前端的半导体封装体谐振频率低的问题。其中，所述半导体封装体用叉指电极的制备方法，包括以下步骤：提供与叉指电极相配合的印章；所述印章通过转印技术在压电衬底上形成叉指电极，所述叉指电极的线宽为0.2~0.4μm。本发明制备方法可以缩小叉指电极的线宽，不同于传统的光刻方法在制造细线宽电极时对设备和工艺的高要求，采用转印技术可制备更细线宽，工艺方法简单，印章可重复使用，有利于批量制备高频器件。
半导体封装体用电极制备方法