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[发明专利]一种声表面波滤波器及其制造方法-CN201510850158.2有效
发明人：王碧;张富强;杨静;李光北;孟美玉;孙俊敏;刘尚禹 -专利权人：北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：一种声表面波滤波器，包括基底(2)和盖帽(9)，基底(2)上有滤波器图形层，滤波器图形层包括发射叉指换能器(3)、接收叉指换能器(4)、地线(7)、信号输入端口(5)和信号输出端口(6)；地线(7)包括与发射叉指换能器(3)相连的第一地线(71)和与接收叉指换能器(4)相连的第二地线(72)；发射叉指换能器(3)、接收叉指换能器(4)为矩形叉指电极，由两个梳状电极相交叉组成；发射叉指换能器(3)和接收叉指换能器(4)的梳状电极公共端的拐角处为圆角。为了有效避免尖端效应，本发明采用对器件在地线与叉指电极的连接处采取圆角化处理，有效降低了尖端的场强，从而避免击穿现象的发生，提高了器件的可靠性。
叉指换能器地线声表面波滤波器发射滤波器图形叉指电极梳状电极基底信号输出端口信号输入端口场强圆角化处理击穿现象尖端效应拐角处盖帽圆角制造

[发明专利]叉指型变容二极管及其制备方法-CN202310954490.8在审
发明人：付兴中;侯钧杰;周国;宋洁晶;李保第;戴峰;胡泽先;刘亚亮;张力江;崔玉兴 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L29/93 文献下载
摘要：本发明提供一种叉指型变容二极管及其制备方法，其中，制备方法包括在P型欧姆接触层上的第一预设区域制备第一叉指P型欧姆接触电极；对设有第一叉指P型欧姆接触电极的P型欧姆接触层进行刻蚀，使得刻蚀后得到的刻蚀台面的侧壁与N型欧姆接触层之间有一夹角；在N型欧姆接触层上的第二预设区域和第三预设区域分别制备第二叉指N型欧姆接触电极和第三叉指N型欧姆接触电极；对设有第二叉指N型欧姆接触电极、第三叉指N型欧姆接触电极和第一叉指P型欧姆接触电极的N型欧姆接触层进行刻蚀，直至露出半绝缘衬底；然后半绝缘衬底上生长金属层，以形成叉指型变容二极管。
叉指型变容二极管及其制备方法

[发明专利]一种响应增强型ZnO基光电导探测器及其制备方法-CN201310211921.8有效
发明人：张景文;宋继东;李高明;李群;孟鹂;侯洵 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：一种响应增强型ZnO基光电导探测器及其制备方法，包括衬底以及在衬底上的ZnO薄膜，ZnO薄膜上覆有Ag纳米颗粒，在Ag纳米颗粒上沉积有叉指状Al电极，Ag纳米颗粒暴露在叉指状Al电极相邻叉指之间；或者ZnO薄膜上沉积有叉指状Al电极，在叉指状Al电极的相邻叉指之间填有Ag纳米颗粒，Ag纳米颗粒旋涂在ZnO薄膜上。本发明采用RF磁控溅射法在衬底上形成ZnO薄膜，然后旋涂Ag纳米颗粒或沉积叉指状Al电极，在Ag纳米颗粒上沉积叉指状Al电极或在形成叉指状Al电极的样品表面旋涂Ag纳米颗粒，即得响应增强型ZnO基光电导探测器
一种响应增强 zno 电导探测器及其制备方法

[发明专利]一种凹槽结构金刚石紫外探测器及其制备方法-CN202310262608.0在审
发明人：贾郑林;袁其龙;江南;邱梦婷;林正得 -专利权人：宁波杭州湾新材料研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明公开了一种凹槽结构金刚石紫外探测器，包括金刚石衬底和叉指电极，所述叉指电极包括第一电极和第二电极，其中，所述金刚石衬底表面刻蚀有叉指型凹槽，所述叉指型凹槽具有两部分，在叉指型凹槽的一部分表面依次沉积氢终端导电层和金属电极层形成所述第一电极，在叉指型凹槽的另一部分表面再次依次沉积氢终端导电层和金属电极层形成所述第二电极；在所述叉指型凹槽以外的金刚石衬底表面具有绝缘层。
一种凹槽结构金刚石紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种浮置复合叉指结构及其制备方法-CN201810535998.3有效
发明人：赵成;陈磊;张凯;胡经国 -专利权人：扬州大学
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种浮置复合叉指结构及其制备方法，包括基片、第一复合指条组、第二复合指条组、第一汇流电极、第二汇流电极；第一复合指条组包含若干第一复合指条，所述第二复合指条组包含若干第二复合指条；所述各个第一复合指条的金属指外端汇接于第一汇流电极，各个第一复合指条的金属连接指外端汇接于第二汇流电极；所述各个第二复合指条的金属指外端汇接于第二汇流电极，各个第二复合指条的金属连接指外端汇接于第一汇流电极。本发明利用介质延长指替代常规叉指换能器中叉指指条的指端间隙，并使各个复合指条浮置于压电基片表面之上，构成一种复合指条结构，既形成可用于激发或接收声表面波的叉指结构，又便于改变叉指结构中叉指指条的排列周期
一种复合结构及其制备方法

[发明专利]一种声表面波传感器-CN202011063322.2在审
发明人：周剑;詹正佳;段辉高;陈哲;张定红;殷长帅;刘立柱 -专利权人：湖南大学
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01N29/00 文献下载
摘要：该声表面波传感器包括压电基板、双端对叉指电极、两个反射栅和绝缘层；两个所述叉指电极相对地设于压电基板的上表面，两个叉指电极之间有间距；两个所述反射栅分别设于两个所述叉指电极的两侧，两个所述叉指电极位于两个所述反射栅之间；两个所述叉指电极所在区域的所述压电基板的上表面、位于两个所述叉指电极之间的所述压电基板的上表面和所述叉指电极的上表面覆盖有所述绝缘层。该声表面波传感器结合了声波传播区和电极敏感区的质量负载效应敏感特性，相较于传统基于声波传播区的声表面波传感器，当加载相同的单位面积质量负载时，具有更大的显著的谐振频率偏移；具有超高灵敏、易于检测以及工艺简单的优势
一种表面波传感器

[发明专利]薄膜表声波谐振器及其制造方法-CN202011280224.4在审
发明人：黄河;罗海龙;李伟 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜表声波谐振器及其制造方法，其中，薄膜表声波谐振器包括：具有多个第一叉指的第一叉指电极、具有多个第二叉指的第二叉指电极，第一叉指与第二叉指间隔设置；第一连接线，至少位于第一叉指的其中一端，与第一叉指电连接；第二连接线，至少位于第二叉指的其中一端，与第二叉指电连接；第一连接线与第一叉指之间具有第一间隙，第一连接线与第一叉指通过跨越第一间隙的第一互连电极连接；和/或，第二连接线与第二叉指之间具有第二间隙，第二连接线与第二叉指通过跨越第二间隙的第二互连电极连接。本发明将叉指与相应连接线通过相应间隙隔开，以降低叉指之外的金属结构对叉指的振动阻碍，同时避免对叉指端部的表面声波造成扰动。
薄膜声波谐振器及其制造方法

[实用新型]一种呈线性输出的薄膜NTC热敏电阻器-CN202222750943.9有效
发明人：戚云娟;武绍宽;潘婷;张方;余坤峰;薛小婷;李莹;王安邦 -专利权人：陕西电器研究所
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01C7/04 文献下载
摘要：所述热敏电阻器包括衬底、绝缘膜、NTC薄膜以及叉指电极；其中，绝缘膜位于衬底上，NTC薄膜位于绝缘膜上，叉指电极位于NTC薄膜上且均匀分布，叉指电极的两个电极与外接导线连接。该热敏电阻器采用叉指电极，能够使电阻值随温度呈线性变化，便于电路设计，降低对电路需求，无需电路补偿，而且输出信号抗干扰能力强；另外，叉指电极为多电极结构，可以根据使用需求选择叉指电极中的任意两个电极连接
一种线性输出薄膜 ntc 热敏电阻器

[实用新型]一种叉指电容、弯曲传感器-CN202122579035.3有效
发明人：于宏宇;于思琪 -专利权人：广州市香港科大霍英东研究院
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01G4/005 文献下载
摘要：本实用新型属于传感器技术领域，提供一种叉指电容、弯曲传感器，主要包括电极层，所述电极层包括第一电极和第二电极；所述第一电极包括若干相互间隔设置的第一叉指部，相邻两所述第一叉指部之间预留有第一安装腔；所述第二电极包括若干相互间隔设置的第二叉指部，相邻两所述第二叉指部之间预留有第二安装腔；所述第一叉指部伸入设置在所述第二安装腔内、所述第二叉指部伸入设置在所述第一安装腔内以呈互补式设置并形成所述电极层，且所述第一电极与所述第二电极之间预留有安装间隙，所述电极层的截面呈波浪形。
一种电容弯曲传感器

[发明专利]柔性声表面波器件及其制备方法-CN202310218947.9在审
发明人：赵淄红 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本申请涉及一种柔性声表面波器件及其制备方法，制备方法包括以下步骤：通过电沉积方法在柔性衬底上沉积ZnO薄膜；在ZnO薄膜上制备多个间隔的叉指胶条；在叉指胶条上和相邻叉指胶条之间沉积金属层；去除叉指胶条和叉指胶条上的金属层，保留相邻叉指胶条之间的金属层，得到叉指电极。本申请通过电沉积法制备ZnO薄膜，避免了传统的溅射等制造压电薄膜方法对柔性衬底的破坏，在ZnO薄膜上制备叉指胶条，通过保留叉指胶条之间沉积的金属层形成叉指电极，可以根据叉指电极的实际需要设计叉指胶条的线宽
柔性表面波器件及其制备方法

[发明专利]一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线-CN201310324888.X无效
发明人：李君惠;孙建华;李宏;陈妹;陈伟 -专利权人：四川九洲空管科技有限责任公司
申请日： 2013-07-30 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： H03H9/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线，包括压电基片、在压电基片上沿声表面波传播方向设置的两个叉指换能器，所述压电基片由LST石英构成。叉指换能器采用梳状结构，其中后指电极沿朝前指方向呈扇形散开，前指电极沿朝后指方向逐渐靠拢。所述叉指换能器后指的一条电极和其邻近的前指的两条电极组合成三电极的叉指电极周期。本发明通过采用相位温度系数相对稳定的LST石英材料作为声表面波延迟器件的基片，其内部叉指换能器运用特殊三电极扇形结构，换能器电极采用极性加权设计方法，在L波段有很好的相位/温度特性,具有极好的市场价值和应用前景
一种应用于波段射频表面波延迟线

[发明专利]一种具有横模抑制功能的声表面波换能器及其制备方法-CN202010095481.4有效
发明人：王为标;陆增天;毛宏庆 -专利权人：无锡市好达电子股份有限公司
申请日： 2020-02-17 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有横模抑制功能的声表面波换能器及其制备方法，涉及声表面波器件及其制造领域，该结构包括压电基板以及设置在其上的叉指换能器，叉指换能器包括相对交叉设置的第一叉指电极和第二叉指电极、第一汇流条和第二汇流条，根据叉指换能器的结构还将其划分为叉指区、第一单指区和第二单指区，在叉指区内的相邻叉指电极之间的叉指间隙内开设凹槽，凹槽位于叉指区分别和第一单指区、第二单指区的边缘交界处的叉指区内；通过开设凹槽使得声表面波换能器的叉指区边缘的声速低于叉指区中心的声速，第一单指区和第二单指区的声速高于叉指区中心的声速，从而能够有效抑制声波的横波模式，抑制杂波响应，因此声表面波换能器的性能大幅提高。
一种具有抑制功能表面波换能器及其制备方法

[发明专利]电化学滤波电容器及其制备方法和应用-CN202310552549.0在审
发明人：曲良体;胡亚杰;程虎虎 -专利权人：清华大学
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01G9/04 文献下载
摘要：电化学滤波电容器包括基底、叉指电极、绝缘组件和封装层；叉指电极从下至上依次包括集流体和电极材料层，集流体设在基底上，叉指电极的相邻叉指之间的距离为5μm‑30μm；绝缘组件沿叉指电极的周向设置，绝缘组件的上端不低于叉指电极的上端
电化学滤波电容器及其制备方法应用

[发明专利]半导体气敏传感器的定向纳米纤维化三维立体叉指电极的制作方法-CN201110170715.8有效
发明人：刘红忠;丁玉成;陈邦道;郑杰;卢秉恒 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2011-06-23 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体气敏传感器技术，公开了一种半导体气敏传感器的定向纳米纤维化三维立体叉指电极的制作方法。该方法首先采用传统光刻工艺，将叉指电极图形转移到光刻胶层上，再以该光刻胶层为掩膜，干法刻蚀单晶硅基底，制作出定向纳米纤维，然后再通过磁控溅射工艺在其表面溅射一层Pt，作为导电层，最后化学法剥离光刻胶层，得到气敏传感器的定向纳米纤维化三维立体叉指电极。该定向纳米纤维化三维立体叉指电极，与传统的平板叉指电极相比，高比表面积的硅纳米纤维，可以在不减少叉指对数的条件下，有效地增大电极的表面积，从而有效地提高敏感电极的灵敏度，解决了传统平板叉指电极的叉指对数和表面积之间的矛盾关系
半导体传感器定向纳米纤维化三维立体电极制作方法

[发明专利]一种利用叉指电极测量亚硝酸盐浓度的方法-CN201810089263.2有效
发明人：林晓钢;罗浩月;李彦仪;谭心;吴洁;宛楠;翁凌冬 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本申请公开了一种利用叉指电极测量亚硝酸盐浓度的方法，包括：分别测量在叉指电极上滴加不同浓度的标准亚硝酸溶液时叉指电极的阻抗并生成标准阻抗数据；测量在叉指电极上滴加待测亚硝酸溶液时叉指电极的阻抗并生成待测阻抗数据本申请公开的方法根据在叉指电极上滴加不同浓度的亚硝酸盐溶液后引起的叉指电极阻抗变化，可以通过电化学阻抗谱图很方便直观的判断出亚硝酸盐溶液的浓度，并且测量过后的叉指电极经过重新清洗后还可以重复利用，有利于推进在日常生活中不同场合亚硝酸盐含量的检测应用
叉指电极亚硝酸溶液测量标准阻抗亚硝酸盐滴加亚硝酸盐溶液阻抗数据阻抗电化学阻抗谱检测应用重复利用阻抗变化申请清洗相符直观