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- [发明专利]一种PT对称垂动微机电系统-CN202010504080.X有效
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王立峰;张驰;张曼娜;黄庆安
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东南大学
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2020-06-05
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2023-10-03
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B81B7/00
- 本发明公开了一种PT对称垂动微机电系统,包括衬底、锚区、第一微机电结构、第二微机电结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路;所述第一微机电结构、第二微机电结构共享衬底和锚区,且为镜像对称结构;所述第一微机电结构包括第一谐振梁、第一差分电容下电极、第一差分电容上电极、第一上电极锚区和第一耦合结构。所述第一可调阻尼电路作用于第一微机电结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机电结构的等效阻尼符号相反、大小相等本发明有利于进一步完善PT对称理论体系,能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能,能为微机电系统的设计提供了一种新原理和新思路,可能发现微机电系统的新现象或新效应。
- 一种pt对称微机系统
- [发明专利]一种微机械加工的无自热效应温度传感器-CN202310735783.7在审
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黄庆安;杨国鑫;韩磊
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东南大学
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2023-06-20
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2023-09-15
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G01K7/34
- 本发明公开一种微机械加工的无自热效应温度传感器,包括半导体衬底、绝缘介质层、多层膜悬臂梁结构以及引线键合区构成。多层膜悬臂梁结构从上到下分别由金属薄膜、P+型半导体薄膜和P型半导体薄膜组成,其包括两个互相对称的弓形悬臂梁,每个悬臂梁由长轴和短轴悬臂梁相连形成,其两端固定并通过引线键合区引出。两个弓形悬臂梁形成平行平板电容,构成传感器的温度敏感电容。当温度变化时,因悬臂梁长轴和短轴的形变量不同,使得悬臂梁在水平面内偏转,又因两个悬臂梁呈对称布局排列,使得两个悬臂梁会向相反方向运动,最终引起平行平板电容变化。同时因电容不存在直流功耗,且测量时只需使用交流小信号,因此传感器不受自加热效应影响,精度高。
- 一种微机加工热效应温度传感器
- [发明专利]一种基于宇称时间对称原理的环形器-CN202310147244.1在审
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董蕾;闫兴宇;黄庆安
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东南大学
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2023-02-22
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2023-06-13
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H01P1/38
- 本发明公开一种基于宇称时间对称原理的环形器,其由两组宇称时间(PT)对称模块串联构成,每组PT对称模块包括:电感‑电容‑正电阻并联谐振的损耗谐振器,可调耦合模块,以及电感‑电容‑负电阻并联的增益谐振器;其中损耗谐振器与增益谐振器通过可调电容耦合连接构成PT对称模块。其中一组PT对称模块的增益谐振器与另一组的损耗谐振器相连,构成环形器的输入输出端口。其中一组PT对称模块剩余的损耗谐振器构成环形器的输入端口,另一组剩余的增益谐振器构成环形器的输出端口。通过改变可调耦合电容实现传输频率调谐。该系统具有高非互易比,低插入损耗等优点。
- 一种基于时间对称原理环形
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