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[发明专利]一种金属铱针尖的电化学制备装置及制备方法-CN201910031214.8在审
发明人：郑磊;刘华荣;王学慧;程协 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： G01Q70/16 文献下载
摘要：本发明公开一种金属铱针尖的电化学制备装置及制备方法，包括刻蚀调节装置、控制电路和电化学池，电极放置在电解液内，探针夹具将待制备铱丝的端部放置在电解液内，可变压交流电压源的正负极通过控制电路分别与电极和探针夹具连接形成刻蚀电路；刻蚀调节装置调节所述待制备铱丝伸入所述电解液液面下的长度尺寸；控制电路采集刻蚀电路中有效的实时电流值并控制刻蚀电路的连通或断开；本发明通过所述控制电路控制刻蚀的终点，可以精确的控制刻蚀电压切断时间，操作方便，制备的铱针尖曲率半径小，重复性好，容易获得铱丝刻蚀的最佳条件，使制备的针尖保持较好的形貌，且具有较高的成功率和较好的重现性。
制备刻蚀控制电路针尖刻蚀电路铱丝电化学制备调节装置探针夹具电解液金属铱电极形貌电解液液面交流电压源电化学池电压切断实时电流最佳条件正负极重现性可变断开伸入成功率连通采集

[实用新型]一种电路板加工自动化线路刻蚀装置-CN202120016700.5有效
发明人：王小伟 -专利权人：台山市科伟电子科技有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电路板加工自动化线路刻蚀装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有多个刻蚀室和清理室并间隔设置，所述刻蚀室和清理室的上表面均开设有第一滑槽，所述刻蚀室和清理室的上表面位于第一滑槽两侧均对称开设有第二滑槽并与第一滑槽相连通本实用新型中，收集漏斗可以将喷洒过程中溅射的刻蚀液进行收集，避免了刻蚀液的浪费，同时减少了成本，收集漏斗同时可以收集被反应后的刻蚀液至收集箱内，可以通过还原反应实现了刻蚀液的循环利用，进一步地减少了成本
一种电路板加工自动化线路刻蚀装置

[发明专利]一种基于电泳技术的自动化刻蚀机构及其使用方法-CN202111053569.0在审
发明人：许红梅;闫艳琴;王迪 -专利权人：上海集众慧智能科技有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电泳技术的自动化刻蚀机构，包括操作面，刻蚀液操纵组件，操作面上阵列设置有若干安装槽；每个硅片根据光刻胶图案黏附有刻蚀腔体，每个刻蚀腔体的上方均对应有刻蚀操纵组件；每层刻蚀腔体均由增强纤维构筑而成，增强纤维通过若干支撑纤维固定；每个刻蚀腔体从顶层向下以三个增强纤维为涂布周期布置有亲疏水性不同的增强纤维，涂布周期包括两个超亲水介质层、一个涂布有超疏水介质层；刻蚀操纵组件包括若干等角度布置的喷头和导电纤维；每个喷头能够自动切换到刻蚀操纵组件的中心实现下料；导电纤维沿同心圆轨迹运动。该设备基于电泳操纵液滴的技术，通过电场的强弱变化，液滴表面的电荷发生迁移，改变液体表面的张力，达到平整液面的目的。
一种基于电泳技术自动化刻蚀机构及其使用方法

[发明专利]一种用于湿法蚀刻相变材料的碱性蚀刻液及其应用-CN202210387167.2有效
发明人：童浩;彭忻怡;缪向水 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C09K13/02 文献下载
摘要：本发明属于微电子工艺领域，具体涉及一种用于湿法蚀刻相变材料的碱性蚀刻液及其应用，碱性蚀刻液质量百分组成为：10～30％的碱性溶液，0～5％的氧化剂，余量为去离子水；其中碱性溶液为氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液或本发明所提蚀刻液能够应对现在干法刻蚀过程中卤素气体对相变材料组分造成改变影响器件性能的问题，同时本配方的刻蚀溶液相较酸性刻蚀溶液所存在的刻蚀速率较快不够稳定且表面较为粗糙的问题，能得到表面粗糙度较低的刻蚀表面将上述碱性蚀刻液应用于功能器件单元制备，利用碱性溶液的上述刻蚀效果以及金属上电极耐碱性溶液刻蚀可做硬掩模的性质，避免传统刻蚀工艺中刻蚀气体使材料表面卤化而影响器件性能的问题并降低工艺成本。
一种用于湿法蚀刻相变材料碱性及其应用

[发明专利]一种微纳毛细管等内径刻蚀制备不同形貌尖端的方法及系统-CN201610046786.X有效
发明人：汪夏燕;邵云龙;李若男;王琳;郭广生 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2016-01-22 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：一种微纳毛细管等内径刻蚀制备不同形貌尖端的方法及系统，属于微加工领域。氢氟酸刻蚀舱、水浴加热套管、循环水浴泵、导管、管内气压控制装置。本发明的刻蚀方法包括：双套管刻蚀，单套管刻蚀，裸管刻蚀和液面刻蚀四种。本发明可制备，锥形长度为1～10mm，锥尖外径1～500μm，内径为0.1～450μm的等内径毛细管尖端，精确取液的下限体积为飞升级。在等内径下，取样体积与液段长度线性相关，大大简化了体积计算和取样压力控制过程，实现了取样体积可视化，提高了取液精度。本法所得毛细管尖端具有多种用途如：用于动植物细胞活体取样，作为质谱进样针使用等。
刻蚀制备形貌毛细管取样气压控制装置动植物细胞毛细管尖端内径毛细管长度线性活体取样控制过程取样压力水浴加热体积计算循环水浴单套管进样针可视化氢氟酸双套管微加工套管导管管内裸管液面质谱锥尖升级

[发明专利]双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法及其刻蚀液-CN202010974812.1在审
发明人：陈伟;刘尧平;肖川;张小虎;王燕;杜小龙 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明公开了一种双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法及其刻蚀液，使晶硅片的背面浸入刻蚀液中，在温度8℃～40℃下刻蚀30s～180s，对晶硅片背面的金字塔形貌结构的塔尖进行刻蚀削平形成四棱台形貌结构整个刻蚀方法工艺简单，与目前的刻蚀工艺兼容，能对晶硅片背面的金字塔形貌结构的塔尖进行刻蚀削平形成四棱台形貌结构，该四棱台形貌结构的顶面为平面，易于后续钝化膜的沉积，反射率可控，同时兼顾电池的光学和电学性能，得到的双面太阳能电池背面效率高，双面率高；同时所采用的刻蚀液不含氮，有效避免了现有技术酸刻蚀中的硝酸排放，废液处理成本低，对环保压力小，而且原料化学药液成本低，易于获得。
双面 perc 太阳能电池背面结构刻蚀方法及其

[实用新型]一种电子电路板刻蚀用定位装置-CN201821248855.6有效
发明人：苏炳晓 -专利权人：佛山市顺德区国邦电子有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子电路板刻蚀用定位装置，包括刻蚀箱，所述刻蚀箱内设有空腔，所述刻蚀箱内的相对侧壁上均设有放置槽，所述刻蚀箱的上端设有承载板，所述承载板与放置槽相对应，所述承载板的下端设有移动槽，所述移动槽内设有移动装置本实用新型实现了对电路板进行稳定夹持，方便电路板进行刻蚀，防止刻蚀液飞溅造成误伤，便于将电路板刻蚀均匀，实现了根据刻蚀液高度对电路板高度进行调节，方便适应刻蚀液的高度，减少浪费。
刻蚀电路板承载板刻蚀液移动杆本实用新型电子电路板用定位装置移动装置放置槽移动槽滑槽滑块调节装置相对侧壁误伤上端飞溅夹持通孔下端平行

[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示装置-CN201911217754.1在审
发明人：李金明 -专利权人： TCL华星光电技术有限公司
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜晶体管及其制备方法、显示装置，所述薄膜晶体管包括基板、第一金属层、栅极绝缘层、半导体层、刻蚀阻挡层以及第二金属层，所述刻蚀阻挡层中至少包含氧化钛和第二金属层的金属，利用所述刻蚀阻挡层中的氧化钛隔绝刻蚀液，防止刻蚀液对半导体层中的半导体造成损伤，从而保证薄膜晶体管的正常功能；所述制备方法利用含有金属钛的材料形成刻蚀阻挡层，并利用金属钛易氧化形成氧化钛的特性，使刻蚀阻挡层具有很好的隔绝刻蚀液的能力，保护半导体层免受损伤
薄膜晶体管及其制备方法显示装置

[发明专利]一种氧化物薄膜的湿法刻蚀装置-CN200810042663.4无效
发明人：刘古岩;郑飞璠;夏芃 -专利权人：上海拓引数码技术有限公司
申请日： 2008-09-09 - 公布日： 2009-04-08 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化物薄膜的湿法刻蚀装置，包括一刻蚀槽和一放置薄膜基片的载体，所述刻蚀槽底部是弧形；所述载体底部设有车轮，刻蚀槽内设有轨道，车轮沿轨道进出刻蚀槽，刻蚀槽上有盖板，盖板不干涉载体进出刻蚀槽通过载体在刻蚀槽中的运动的流水线生产设计理念，使得每一片在酸液槽中的时间相同，同时保证了酸液的浓度波动范围较小，提高了酸液的利用率，提升了产品的质量，加快了生产效率。
一种氧化物薄膜湿法刻蚀装置

[实用新型]一种刻蚀装置用带液滚轮及刻蚀装置-CN201922254490.9有效
发明人：张临安;邓伟伟 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种刻蚀装置用带液滚轮及刻蚀装置，其属于光伏电池生产设备技术领域；该刻蚀装置用带液滚轮，包括：滚轮基体，能够绕自身轴线旋转，所述滚轮基体为中空结构且内部具有柱形的容纳腔，所述滚轮基体的外周面设有呈螺旋状排布的支撑齿刻蚀装置上设有上述的刻蚀装置用带液滚轮。本实用新型能够在刻蚀过程中对硅片提供稳定支撑，降低生产成本，使得硅片的刻蚀更加均匀，提高刻蚀质量。
一种刻蚀装置用带液滚轮

[发明专利]曲面玻璃板材、制备方法、组合试剂及移动终端-CN201710978488.9有效
发明人：杨光明 -专利权人： OPPO广东移动通信有限公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：具体地，本发明提出了一种用于制备曲面玻璃板材的组合试剂，包括：第一刻蚀液；以及第二刻蚀液，其中，所述第一刻蚀液以及所述第二刻蚀液分别独立地包括：25～55wt％的氢氟酸；6～25wt％的硝酸；15～45wt利用该组合试剂，可以实现对玻璃的分步刻蚀，从而简便地在玻璃上形成多个纹理面，从而令刻蚀后的玻璃板材具有三维纹理的视觉效果。
曲面玻璃板材制备方法组合试剂移动终端

[发明专利]一种CVD生长的石墨烯的转移装置和方法-CN201410560750.4在审
发明人：贾宝平;王小周;丁建宁 -专利权人：江南石墨烯研究院;常州大学
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： C01B31/04 文献下载
摘要：生长的石墨烯的快速转移装置和方法，具体步骤如下：1）去除化学气相沉积法在相应衬底上背面生长的石墨烯；2）将目标衬底与步骤1）中得到的单面石墨烯/生长衬底样品同一端固定在底部镂空的容器壁上，其中目标衬底平行于刻蚀液液面，生长衬底/单面石墨烯样品以一定角度插入液面以下；3）步骤2）中浸在液面下的生长衬底部分首先被刻蚀，调节镂空容器中液面位置，使石墨烯与目标衬底接触贴合，即先完成转移。4）然后继续调节刻蚀液液面位置，重复步骤3）中刻蚀，转移操作，使单面石墨烯样品由自由端向固定端逐渐被刻蚀，直至全部刻蚀完成。本发明避免目前石墨烯转移技术使用PMMA等有机物，导致残留有机成分的污染问题，简化了转移工艺，实现了一种新型的连续大面积、高质量石墨烯样品的边刻蚀边转移的工艺。
一种 cvd 生长石墨转移装置方法

[发明专利]一种线路板生产时产生的酸、碱性刻蚀液的联产工艺-CN201910034666.1在审
发明人：沈祖达 -专利权人：沈祖达
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： C01C1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种线路板生产时产生的酸、碱性刻蚀液的联产工艺，包括以下步骤：1）碱性刻蚀液通过碱性刻蚀液入口进入到第一蒸发锅中，加热蒸发出氨气；2）第一蒸发锅中余料经过第一排出管道排出后，通过压滤器后第一蒸发锅中压滤后残留的氧化铜通过第二排出管道进入到氯化铜合成锅中；3）在第二蒸发锅中通过酸性刻蚀液入口加入酸性刻蚀液，蒸发出气体；4）第二蒸发锅中的母液通过第三排出管道进入到碱式碳酸铜和成锅中，在热的条件下通过纯碱入口加入纯碱，生成碱式碳酸铜并通过碱式碳酸铜排出管排出本发明将酸性刻蚀液与碱性刻蚀液采用联产工艺，生产出工业级氨水、氧化铜、氯化铜和碱式碳酸铜，并且废水中不含氨氮而达标排放。
碱性刻蚀液蒸发锅碱式碳酸铜酸性刻蚀液联产工艺排出管道线路板生产纯碱氯化铜氧化铜排出氨气工业级氨水达标排放排出管压滤器氨氮母液余料中压加热蒸发残留废水合成生产

[实用新型]一种多层柔性电路板刻蚀组合装置-CN202122105546.1有效
发明人：徐剑初;谢晓春 -专利权人：温州银河电子有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多层柔性电路板刻蚀组合装置，包括底板和两个挡板，两个挡板固定安装于底板顶部的两侧，本实用新型涉及电路板加工设备技术领域；该多层柔性电路板刻蚀组合装置，通过在存液框的底部两侧设置凸轮，并且两组凸轮相对设置，当两组凸轮在同一个动能电机的作用下同步转动时，使得存液框发生倾斜，并且存液框多个往复倾斜，从而达到存液框内部的刻蚀浓度保持一致，存液框在倾斜时，内部的刻蚀也会缓慢的移动到另一侧，并不会对固定的多层柔性电路板产生影响，有效的减少了在刻蚀液融合时，对多层柔性电路板的破坏，减少了刻蚀液融合的时间，进而提高了层柔性电路板刻蚀装置的工作效率。
一种多层柔性电路板刻蚀组合装置

[发明专利]刻蚀含铋氧化物膜的方法-CN00811478.1有效
发明人： F·欣特梅尔 -专利权人：因芬尼昂技术股份公司
申请日： 2000-08-09 - 公布日： 2003-02-26 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明提供一种刻蚀氧化物膜的方法，其中氧化物膜至少包括一种含铋氧化物，尤其包括一种铁电含铋混合氧化物，这种方法含有下列步骤a)制备衬底，在其上涂敷至少一层至少包括一种含铋氧化物的氧化物膜，b)使刻蚀液与此衬底接触，使得刻蚀液可以与氧化物膜发生反应，其中刻蚀液包括2－20重量百分比的氟离子给体，15－60重量百分比的硝酸和20－83重量百分比的水，以及c)从衬底上去掉刻蚀液。此刻蚀液也应用在含铋氧化物膜的结构化方法中。
刻蚀氧化物方法