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- [发明专利]微机电系统器件的制造方法-CN201210469696.3无效
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李刚;胡维;梅嘉欣;庄瑞芬
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苏州敏芯微电子技术有限公司
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2012-11-20
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2014-06-04
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B81C1/00
- 本发明涉及一种微机电系统器件的制造方法,包括如下步骤:S1:提供第一芯片,包括具有可动敏感部的微机电系统器件层和第一电气键合点;S2:提供第二芯片,包括具有第一表面和第二表面的衬底、设置于衬底上并自第二表面朝第一表面方向延伸的隔离部、设置在第二表面上的第二电气键合点,衬底还具有与所述第二电气键合点电气连接的电气连接部,隔离部围设在电气连接部的外围;S3:将第一芯片和第二芯片键合,第二表面朝向微机电系统器件层,第一电气键合点与第二电气键合点键合;S4:将键合后的第二芯片的衬底于其第一表面进行减薄操作以露出隔离部;S5:在减薄后的衬底的第一表面形成与外界电路电气连接的电气连接层。
- 微机系统器件制造方法
- [实用新型]点胶机构-CN202223407085.4有效
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徐阳;陈良;蒋亚红;岳刚;黄一帆;徐洪志
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蜂巢能源科技(上饶)有限公司
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2022-12-19
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2023-06-30
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B05C5/02
- 本实用新型提供了一种点胶机构,其用于对键合丝的键合部位进行点胶,键合丝焊接在电池模组的汇流排和电路板之间,点胶机构包括固定底座,设于固定底座上的工作台和点胶组件,工作台能够沿X轴滑动设于底座上,且工作台用于定位电池模组,点胶组件包括能够沿Y轴和Z轴移动的第一点胶器和第二点胶器,第一点胶器用于在键合部位预先点胶形成封闭环状的点胶槽;第二点胶器用于在点胶槽内进行点胶。本实用新型的点胶机构能够防止胶体的溢出,并能更加精准、可靠的完成键合部位的点胶,从而保证胶体成型的一致性和稳定性,同时有着很好的使用效果。
- 机构
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