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- [发明专利]接触装置-CN201410452614.3无效
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中川隆;松川俊英
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日本电产理德股份有限公司
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2014-09-05
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2015-03-25
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H01L21/687
- 提供了一种能实现可动部件(或设置在可动部件的其他部件)以加压力为零与对象物相接触之状态的接触装置。接触装置所包括的接触头部包括:接触杆、壳体、推力空气路径和抵消空气路径。壳体根据静压空气轴承能支撑接触杆做直线移动,由此接触杆能与对象物相接触。若向推力空气路径供给压缩空气,则使靠近对象物之方向的力作用于接触杆,若向抵消空气路径供给压缩空气,则使相反方向的力作用于接触杆。控制部在接触杆与对象物相接触的状态下,通过控制推力空气路径的压缩空气压力和抵消空气路径的压缩空气压力,使对于对象物的加压力为零。
- 接触装置
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