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[发明专利]一种蒸镀产线的挡板机构-CN202110407278.0有效
发明人：黄稳;廖良生;赵平;赵鹏鹏;胡淳;高永喜;顾婉莹;张敬娣;武启飞 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀产线的挡板机构，蒸镀产线包括多个蒸镀腔和流转卡夹，蒸镀腔内设置有蒸发组件及蒸镀通道，流转卡夹承载基片依次经过蒸镀通道上方进行蒸镀工作，挡板机构包括多个挡板组件，挡板组件对应所述蒸镀通道设置，所述挡板组件动态遮挡其所对应的所述蒸镀通道形成工作通道，所述工作通道与所述基片在蒸镀通道的暴露部分相匹配。本发明通过挡板组件形成工作通道，防止蒸镀腔中的蒸发源泄露出去，本发明可以有效的阻止在蒸镀的过程中材料从一个功能腔体到另一个功能腔体去，造成交叉污染。
一种蒸镀产线挡板机构

[实用新型]蒸镀系统和蒸镀产线-CN201922353856.8有效
发明人：武启飞;廖良生;黄稳;徐飞;赵平;谢松涛 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供的蒸镀系统和蒸镀产线，包括金属蒸镀机构、有机蒸镀机构以及多个传送机构，通过将有机蒸镀机构所包括的多个有机蒸镀腔体依次首尾连通，将各传送机构分别设置于各有机蒸镀腔体中，传送正在进行有机蒸镀的基片，将金属蒸镀机构与有机蒸镀机构连通，以对有机蒸镀后的基片进行金属蒸镀，如此，简化了蒸镀系统的结构，降低了系统的造价成本。
系统蒸镀产线

[发明专利]蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法-CN201710439046.7有效
发明人：尹志中 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法，蒸镀系统包括：至少一条蒸镀线、第一传送轨道和托盘，每条蒸镀线包括蒸镀腔室，蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个子蒸镀腔依次相连，蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道穿设在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间，第一传送轨道位于蒸发源组件的上方；托盘包括用于放置工件的托架，托盘可移动地设在第一传送轨道上以在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间传送工件使蒸发源组件对工件进行蒸镀根据本发明实施例的蒸镀系统，优化了蒸镀线的布局，简化了操作步骤，提高了空间利用率，减小了蒸镀系统的整体占用空间和成本。
系统方法

[发明专利]真空蒸镀系统及真空蒸镀方法-CN201310046198.2无效
发明人：若林雅;加藤升;石泽泰明 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能够在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。本发明是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体
真空系统方法

[实用新型]蒸镀托盘及蒸镀装置-CN202222132390.0有效
发明人：陈锐;张龙;石建华;范斌 -专利权人：中威新能源（成都）有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀托盘及蒸镀装置，蒸镀托盘包括底板以及遮挡线，其中，底板设有用于固定电池片的固定位。遮挡线铺设于底板，并且遮挡线横跨固定位，即遮挡线的两端分别固定于固定位的两侧。遮挡线用于遮挡电池片的待蒸镀表面的栅线。上述蒸镀托盘在对电池片的表面进行蒸镀绝缘材料时，通过遮挡线遮挡栅线，能有效地避免绝缘材料蒸镀到栅线上，从而避免了栅线被绝缘材料覆盖，进而保证了栅线的导通能力。
托盘装置

[实用新型]蒸镀设备-CN202122005493.6有效
发明人：赵利;孙军旗;刘芳军;孙玉群;鲁艳春 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种蒸镀设备，具有一蒸镀腔体，所述蒸镀设备包括：蒸镀源和蒸镀锅；蒸镀源，设置在所述蒸镀腔体的底部；其中，所述蒸镀源的数量设置至少两个，每个所述蒸镀源间隔排布，且每个所述蒸镀源到所述蒸镀腔体的中心线的距离相等；蒸镀锅，设置在所述蒸镀腔体的顶部，所述蒸镀锅在所述蒸镀腔体内绕所述中心线公转；其中，单个所述蒸镀源用于将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，所述气体分子蒸镀材料在所述蒸镀腔体中运动形成单个蒸镀区域；所有所述单个蒸镀区域构成总蒸镀区域，所述蒸镀锅对应设置在所述总蒸镀区域内。本实用新型实施例以此提高了蒸镀的效率。
设备

[发明专利]蒸镀方法及蒸镀设备-CN201710055136.6有效
发明人：彭兆基;邱林;李倩;何麟;高峰 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀方法及蒸镀设备。上述蒸镀方法包括如下步骤：将蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀源中，将蒸镀源与待蒸镀基板相对设置，且蒸镀源的开口朝向待蒸镀基板；对蒸镀源进行加热至预设温度后，移动蒸镀源和/或待蒸镀基板，使蒸镀源相对于待蒸镀基板，在平行于待蒸镀基板的平面上移动的轨迹为波浪线。采用上述蒸镀方法进行蒸镀时，即使TS距离较小，由于蒸镀源相对于待蒸镀基板，在平行于待蒸镀基板的平面上移动的轨迹为波浪线，则shadow effect贡献度低、分布均匀且无周期性波动，不容易形成低视角G向此外，本发明还涉及一种可采用上述蒸镀方法的蒸镀设备。
方法设备

[发明专利]被成膜基板、有机EL显示装置-CN201280005773.8有效
发明人：园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2012-01-13 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：在利用蒸镀装置（50）形成有蒸镀部的TFT基板（10）中，蒸镀装置（50）包括具有射出口（86）的蒸镀源（85）和具有开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒经开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀部，TFT基板（10）具有在像素区域（AG）二维排列的像素和与各像素电连接的配线（14），相互隔着间隙（X）地形成有多个蒸镀部（Q），配线（14）的各端子配置于间隙（X）。
被成膜基板有机 el 显示装置

[发明专利]蒸镀源清洁设备及蒸镀系统-CN201910459263.1有效
发明人：方刚;陈策;王宝友;尹俊 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀源清洁设备及蒸镀系统。该蒸镀源清洁设备包括真空腔室、设置在真空腔室内的第一蒸镀源加热单元和第二蒸镀源加热单元，第一蒸镀源加热单元包括支撑部，支撑部用于放置至少一个点蒸镀源，第一蒸镀源加热单元内能够生成热辐射以对点蒸镀源进行清洁；第二蒸镀源加热单元与第一蒸镀源加热单元间隔分布，第二蒸镀源加热单元包括用于放置线蒸镀源或面蒸镀源的至少一个容置槽，容置槽能够产生热辐射对线蒸镀源或面蒸镀源进行清洁。本发明公开的蒸镀源清洁设备能够去除点蒸镀源、线蒸镀源以及面蒸镀源的杂质，不会对蒸镀腔室的工艺造成影响，进而可以提升蒸镀效率，提升蒸镀系统稼动率。
蒸镀源清洁设备系统

[发明专利]一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法-CN201710145014.6有效
发明人：上官荣刚;王欣欣 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法，涉及真空蒸发镀膜领域，能够解决现有的线蒸镀源或者面蒸镀源在蒸镀过程中对待蒸镀基板上不同蒸镀区域的蒸镀膜层厚度不均匀的问题。包括蒸镀坩埚，还包括设置在蒸镀坩埚出口侧的多个蒸镀喷嘴，多个蒸镀喷嘴至少排列为一排。蒸镀坩埚内部包括有蒸镀材料空腔，蒸镀坩埚出口侧的侧壁设置有连通蒸镀材料空腔的贯通腔，蒸镀喷嘴包括喷头以及与喷头固定连接的活动部，喷头通过贯通腔与蒸镀材料空腔相连通，活动部设置于贯通腔内并可在贯通腔内转动
一种蒸镀源装置方法

[发明专利]一种蒸镀用掩模板-CN201310464826.9在审
发明人：魏志凌;高小平;潘世珎;魏志浩;汪行 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2013-10-09 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀用掩模板，包括掩模板本体及形成在掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，在蒸镀孔中心轴线所在的截面上，蒸镀孔的边缘线呈外扩式喇叭状，蒸镀孔的孔壁与掩模板本体的板面呈30～利用本发明提供的蒸镀用掩模板在蒸镀过程中可以地减小蒸镀孔的孔壁对蒸镀材料的遮挡，并且蒸镀过程中不存在蒸镀的死角，蒸镀层的厚度均匀，从而提高蒸镀质量。
一种蒸镀用掩模板

[发明专利]蒸发镀膜装置和镀膜方法-CN202210718683.9在审
发明人：吕凯丽;赵利;孙军旗;孙帅;任宏志 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸发镀膜装置和镀膜方法，蒸发镀膜装置包括蒸镀腔体、蒸镀源、多个蒸镀锅和驱动组件；蒸镀源用于将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在蒸镀腔体中运动形成蒸镀区域；多个蒸镀锅对应设置在蒸镀区域内；驱动组件设置在蒸镀腔体的顶部，驱动多个蒸镀锅围绕蒸镀源的中心线进行旋转；蒸镀锅包括蒸镀面，蒸镀面上设有晶圆，所述晶圆与蒸镀面形成的夹角大于等于10度，且小于等于25度。本申请通过将晶圆倾斜设置在蒸锅面上，并与蒸镀面形成一定角度的夹角，减少晶圆占用空间，如此在原来的蒸镀锅上可以放置更多的晶圆，从而提高生产效率。
蒸发镀膜装置方法

[实用新型]掩膜板-CN201820594064.2有效
发明人：王梦凡;王国兵;康梦华;叶訢;苏倩;李金库 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板，包括掩膜板主体，掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线，第一中心线与第二中心线垂直；开设于掩膜板主体上的两组蒸镀区，每组蒸镀区包括至少一个蒸镀区，每个蒸镀区开设有凹陷部，每相邻两个蒸镀区之间具有间距，两组蒸镀区关于第一中心线轴对称，且两组蒸镀区关于第二中心线轴对称。两组蒸镀区关于第一中心线与第二中心线均轴对称设置，则位于第一中心线与第二中心线两侧的凹陷部数量相同，则此时掩膜板主体在张网时第一中心线与第二中心线两侧受力均匀，降低了与凹陷部配合的遮挡部位置的褶皱，张网精度提高，从而也使得后续显示屏像素蒸镀位置精度较高，且也提高了后续显示屏的开口区(即异形区)的显示效果。
蒸镀掩膜板两组凹陷部中心线两侧中心线轴张网对称褶皱显示屏像素中心线垂直轴对称设置受力均匀显示效果开口区异形区掩膜显示屏遮挡配合

[发明专利]蒸发镀膜装置及其镀膜方法-CN202210719810.7在审
发明人：吕凯丽;赵利;孙帅;孙军旗;任宏志 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸发镀膜装置，蒸发镀膜装置包括蒸镀腔体、蒸镀源、多个蒸镀锅、蒸镀锅公转驱动组件和蒸镀锅自转驱动组件；蒸镀源设置在蒸镀腔体的底部，蒸镀锅公转驱动组件设置在蒸镀腔体的顶部，驱动多个蒸镀锅围绕蒸镀源的中心线进行公转；蒸镀锅自转驱动组件的一端与蒸镀锅公转驱动组件连接，另一端与蒸镀锅传动连接，控制蒸镀锅进行自转；其中，蒸镀锅公转驱动组件和蒸镀锅自转驱动组件分别独立控制蒸镀锅的公转和自转。本申请通过设置直接与蒸镀锅连接的蒸镀锅自转驱动组件控制蒸镀锅进行自转，无需设置带动蒸镀锅自转的轨道，避免蒸镀锅转动时与轨道摩擦产生金属碎屑，降低产品的综合良率。
蒸发镀膜装置及其方法

[实用新型]一种用于蒸镀OLED显示面板色彩的金属掩膜板结构-CN201020167949.8无效
发明人：潘宇强;徐智;陈孟财;王栩 -专利权人：潘宇强
申请日： 2010-04-19 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：一种用于蒸镀OLED显示面板色彩的金属掩膜板结构，涉及显示器技术领域，尤其涉及一种用于蒸镀OLED显示面板色彩的金属掩膜板结构；包括掩膜板，掩膜板上设有色彩蒸镀区及定位孔；色彩蒸镀区为空格状，在色彩蒸镀区内有相互平行、均匀分布的栅线；所述的栅线为不规则圆柱体，其直径大于或等于0.05mm；其有益效果是：其一、栅线其直径为0.05mm，如此，则蒸镀的色彩将更均匀、蒸镀效果更好；其二、栅线其表面粗糙度为0.4μm，表面光滑有利于色彩蒸镀干燥后脱模
一种用于 oled 显示面板色彩金属板结

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