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[发明专利]一种在微纳米粉体表面改性的装置及方法-CN202210618223.9有效
发明人：郑富凯;张思雨;胡小刚;邱龙时;潘晓龙;张于胜 -专利权人：西安稀有金属材料研究院有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种在微纳米粉体表面改性的装置，包括真空舱和振动翻料机构，振动翻料机构包括振动碗和挡尘板，振动碗中部安装有导料柱，振动碗下侧安装有振动器和支柱，真空舱上安装有对振动翻料机构内部粉体进行处理的蒸发源，本发明还提供了一种微纳米粉体表面改性的方法，将粉体放入振动翻料机构采用蒸发源进行改性。本发明通过振动翻料机构与蒸发源配合，使每个粉体表面充分暴露在等离子体下，确保粉体表面改性的高包覆率，通过结合真空送料组件和储料组件，在保证均匀性、致密性、纯度要求的前提下单次粉体处理量可达到公斤级，也实现不同微纳米粉体进行表面改性，具有广泛的应用前景，可用于工业化的大量生产。
一种纳米体表改性装置方法

[发明专利]一种汽车车灯复合镀膜工艺及装置-CN202310914168.2在审
发明人：段利英;张宇奇 -专利权人：丹阳市宇奇车辆配件有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及车灯真空镀膜技术领域，且公开了一种汽车车灯复合镀膜装置，包括安装加固底座，所述安装加固底座上端的后侧设有抽气喷洒组件，所述抽气喷洒组件的前端设有左侧密封箱，所述抽气喷洒组件外端的右侧设有密封组件，所述密封组件前端的内侧设有旋转置物组件。在本发明中，通过挂杆的设计，将需要镀膜的车灯进行挂持，由于挂杆是交错对称分布在旋转杆的外端，上下挂着的车灯不会遮挡镀膜气体，镀膜气体可以更好的在内部镀在车灯表面，减少车灯镀膜的用时，并且，左侧密封箱与镀膜箱是相同结构，在进行一批次车灯镀膜时，另一批次的车灯也可以提前挂在内部进行放置，相互依次进行镀膜工作，提高整体镀膜工作的效率。
一种汽车车灯复合镀膜工艺装置

[发明专利]无毛刺镀膜器件制备方法及镀膜贴合结构、器件拾取结构-CN202210231809.X有效
发明人：邢发军;钟屿;郏晓彤 -专利权人：江苏长电科技股份有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及半导体封装技术领域，公开了一种无毛刺镀膜器件制备方法及镀膜贴合结构、器件拾取结构，包括：提供镀膜器件；将镀膜器件的电路板面与胶带的胶层表面进行贴合，得到包括镀膜器件和胶带的镀膜贴合结构，其中，电路板面与胶带的胶层表面贴合时，所述镀膜器件的侧壁外侧的所述胶层表面形成有凹陷处；在镀膜贴合结构上形成镀膜层，分离后得到镀膜层无毛刺的镀膜器件。本发明在胶带表面形成相应的凹陷处，使得在镀膜贴合结构上形成镀膜层后，镀膜器件的侧壁上的镀膜层和凹陷处胶带表面的镀膜层的接触夹角由原来的90°直角变成大于90°小于180°的钝角，在进行分离时沿镀膜层表面纵向拉伸断裂，最终得到断裂截面无毛刺的镀膜器件。
毛刺镀膜器件制备方法贴合结构拾取

[发明专利]一种碳碳复合材料生产装置-CN202210985826.2有效
发明人：刘俊锋;王雄;熊赢超;喻稳鑫;王绿春;寻阳阳 -专利权人：湖南晶碳新材料有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明公布了一种碳碳复合材料生产装置，它属于碳碳复合材料生产领域，它包括壳体，所述壳体上间隔设置有排气管和进气管；所述壳体内通过横向隔板分为输送区和炉体，所述炉体内通过绕其轴线环形间隔设置的竖向隔板分为预热区和沉积区，预热区和沉积区内设置有发热部，所述横向隔板上于预热区和沉积区处设置有连通输送区和炉体的通过孔，所述壳体内设置有沿竖直方向穿过通过孔进行升降的载物部，所述输送区内设置有绕其轴线旋转的旋转部，所述旋转部侧壁上设置有推动部。本发明的目的是提供一种碳碳复合材料生产装置，能够提高生产效率和品质。
一种复合材料生产装置

[实用新型]一种光学镀膜机无尘进气结构-CN202320696589.8有效
发明人：谢学东;谢辉东 -专利权人：丹阳市宝来利真空机电有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光学镀膜机无尘进气结构，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体的右侧设置有无尘进气组件；所述无尘进气组件包括有设置于镀膜机本体右侧的水箱，所述水箱的右侧固定安装有进空气管，所述进空气管的外表面设置有抽气泵，所述水箱的左侧固定安装有输送管，所述输送管的外表面设置有气体加压泵，所述输送管的左侧固定连接有吸附箱，所述吸附箱的内部设置有风机，所述吸附箱的内部且位于风机的上方固定连接有活性炭吸附层。该光学镀膜机无尘进气结构，设置无尘进气机构，通过水箱活性炭吸附层等对空气中的灰尘进行吸附，被吸附后变成纯净的气体，输送进入光学镀膜机内，从而减少了灰尘对光学镀膜机的寿命影响。
一种光学镀膜机无尘进气结构

[发明专利]真空吸附装置及真空样品驱动系统-CN202310396282.0在审
发明人：谢斌平;杨贺鸣;陈飞 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空吸附装置及真空样品驱动系统，包括：主体，所述主体中空并且包括位于内侧的支承表面；以及一个或多个吸附板，所述吸附板设置在所述支承表面上，并且包括设置在表面上的吸附材料，用于吸附气体。真空样品驱动系统包括：驱动真空腔；样品架，位于驱动真空腔外，用于承载样品；第一驱动轴，近端设置在驱动真空腔内，远端与样品架固定连接；传动磁组件，设置在第一驱动轴近端；驱动磁组件，设置在驱动真空腔外，且与传动磁组件磁耦合，以驱动传动磁组件运动，带动第一驱动轴和样品架运动，以及真空吸附装置，套设在第一驱动轴外。
真空吸附装置样品驱动系统

[发明专利]一种光学真空镀膜设备-CN202210835662.5有效
发明人：吴雪峰;陈从礼;陈穴涛;华其中 -专利权人：苏州东福来机电科技有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜设备领域，具体的说是一种光学真空镀膜设备，包括镀膜机箱体，镀膜机箱体的开口设置在一侧，镀膜机箱体的开口处周边开设有密封槽，密封槽呈框形结构，镀膜机箱体的下端前后部内壁上均开设有移动槽，镀膜机箱体的下端外壁上开设有第二滑槽，镀膜机箱体的下端外壁上固定连接有第二限位壳。本发明的箱门通过第一拉动机构和第二拉动机构安装在镀膜机箱体上，第一拉动机构和第二拉动机构分别通过第一连接机构和第二连接机构与驱动机构相连接，使用时，通过驱动机构驱动第一拉动机构和第二拉动机构运作，将箱门从镀膜机箱体上拔下来，并将放置架拉出镀膜机箱体，方便工作人员拿取放置架上的镀膜产品。
一种光学真空镀膜设备

[实用新型]一种具有冷却作用的干法镀膜机用腔体-CN202321199672.0有效
发明人：张德勇 -专利权人：常州市永平机械制造有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型主要提供了一种具有冷却作用的干法镀膜机用腔体，包括环体外壁，所述环体外壁内设置有环体，所述环体被隔板分为两部分，所述环体上半部分装有降温装置和探测装置，所述环体下半部分装有冷却液，所述环体内设置有降温腔，所述降温腔内固定连接有镀膜筒体，通过温度传感器和泵体配合，在镀膜筒体温度过高时，泵体开始工作将冷却液通过输入管吸入，然后通过输出管输出到降温腔，给镀膜筒体降温，在降温完成后通过泵体将冷却液吸回环体下半部分，达到自动降温的效果，通过在环体外壁上设置进水口和出水口，进水口和出水口上设置阀门，在更换冷却液时可以更快更便捷。
一种具有冷却作用镀膜机用腔体

[实用新型]一种多路冷却组件-CN202320485583.6有效
发明人：刘静怡;刘辉;杨科;王军 -专利权人：上海百雅信息科技发展有限公司
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多路冷却组件，包括支座架和固定在支座架上的冷却水端口管理组件，所述冷却水管理端口包括供水端口和回水端口所述冷却水端口管理组件设置有若干组；所述供水端口包括供水主阀、供水排管、供水次阀和流量开关；回水端口包括回水主阀、回水排管和回水次阀；所述供水主阀连接在供水排管端口，供水次阀数量为若干，间隔地设置于供水排管上，流量开关连接在供水次阀出口；所述回水主阀连接在回水排管端口，回水次阀数量为若干，间隔地设置于回水排管上；冷却水经供水主阀、供水排管、供水次阀、流量开关后经管道流经待冷却区域，再经回水次阀、回水排管流入回水主阀。
一种冷却组件

[实用新型]一种用于高温真空镀膜炉的跑风组件-CN202320485615.2有效
发明人：刘辉;陈辉;刘静怡;高英;杨科 -专利权人：上海百雅信息科技发展有限公司
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于高温真空镀膜炉的跑风组件，包括接头组件和风管，所述风管通过接头组件与真空镀膜炉连通，所述接头组件包括接座、第一螺母、T型连接管和第二螺母；所述接座与T型连接管通过第一螺母固定连接；第二螺母与风管固定连接；T型连接管与风管通过第二螺母固定连接；所述风管包括若干出风接口和跑风接头；所述出风接口间隔地设置在风管表面并与风管内部管腔连通；所述跑风接头包括套管与工字接头；所述套管一端与出风接口固接，另一端与工字接头固接。
一种用于高温真空镀膜组件

[发明专利]一种高精度镀膜的全自动上下伞机及上下伞工艺-CN202310764717.2在审
发明人：杨逑;罗起雄 -专利权人：东莞市德派精密机械有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及自动化上下料技术领域，尤其是指一种高精度镀膜的全自动上下伞机，包括机体，所述机体设置有上下伞单元、上下料单元、上下治具单元以及装料单元，所述装料单元位于上下伞单元、上下料单元以及上下治具单元之间；上下治具单元用于上下料有色治具；上下料单元用于上下料产品；上下伞单元用于上下料伞具；装料单元用于把有色治具打开并装入产品后移送至上下伞单元的伞具中，或用于把有色治具自上下伞单元取出后把有色治具打开并取出产品。本发明实现了自动化上下料产品、上下料有色治具以及上下料伞具，以及能够自动把产品装入有色治具或自有色治具取出，并把有色治具于伞具内取放，能够提升上下料的效率。本发明还提供了一种应用于上述全自动上下伞机的上下伞工艺。
一种高精度镀膜全自动上下工艺

[发明专利]一种高产能AlSi或AlSiCu薄膜的沉积方法-CN202311132064.2在审
发明人：王卫玲;潘钱森;周云;宋维聪 -专利权人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2023-09-05 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种高产能AlSi或AlSiCu薄膜的沉积方法，包括以下步骤：S1：提供PVD反应腔体，反应腔体内设置有加热器，加热器上设置有一导热结构，加热器上设置有顶针，靶材为AlSi或AlSiCu；S2：加热器温度设置在150‑280℃，反应腔体的气压为真空或者接近真空；S3：反应腔体的射频功率设置为11‑18kw，通入氩气，沉积相应时间的AlSi或AlSiCu薄膜；S4：关闭反应腔体电源，通过导热气体稳压冷却，静置相应时间后抽出导热气体，进行下一次沉积，直到得到相应厚度的沉积AlSi或AlSiCu薄膜，使用此工艺方式可以使单片工艺时间可以缩短30%左右。
一种产能 alsi alsicu 薄膜沉积方法

[发明专利]一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法-CN202310434880.2在审
发明人：汪立;尹心恒;陈子俊 -专利权人：湖北中一科技股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明提供一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法，属于真空镀膜技术领域，所述真空镀膜设备包括设备主体、箱门、真空泵、内环架、下位板、上位板、支撑机构、移动机构和清洗机构，其中：设备主体内部由下而上设置有下腔室、真空镀膜腔和上腔室；箱门活动连接于设备主体的一侧，其与真空镀膜腔连通；真空泵固定连接于上腔室内，其吸气口与真空镀膜腔连通，其输出端延伸至设备主体外侧；利用本发明可实现工件在镀膜时不断移动并转动，受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果，喷头喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔内的死角，可自动清洗排水，有效清洁真空镀膜腔，减少灰尘和电镀液等对下次镀膜的影响，保持稳定的镀膜质量。
一种快速清洗真空镀膜设备及其使用方法

[发明专利]一种用于光学镜片镀膜的装置-CN202211134516.6有效
发明人：赵松涛 -专利权人：上饶市豪杰光学有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种用于光学镜片镀膜的装置。提供一种能够使用镀膜发射源对光学镜片进行镀膜的用于光学镜片镀膜的装置。本发明的技术实施方案为：一种用于光学镜片镀膜的装置，包括有镀膜箱、闭合门、镀膜发射源、加热器、装镜框、第二滑动器、第二滑轨、固定机构和转动机构，镀膜箱左前侧通过合页连接有闭合门，镀膜箱内底壁中间连接有镀膜发射源，镀膜箱内下部设置有第二滑轨。本发明在第一压缩弹簧的作用下，能够使得固定器自动对光学镜片进行夹紧，这样能够提高光学镜片的稳定性。
一种用于光学镜片镀膜装置

[实用新型]入料腔室及镀膜设备-CN202320424881.4有效
发明人：冯晓军;请求不公布姓名;请求不公布姓名 -专利权人：三一硅能（株洲）有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，提供一种入料腔室及镀膜设备；入料腔室包括顶板、侧板和底板；顶板的内侧设有第一填充板，侧板的内侧设有第二填充板，底板的内侧设有第三填充板。上述入料腔室在不改变原有腔室结构的前提下，增加了顶板、侧板和底板，缩小了入料腔室的内部空间；在实际工作时，入料腔室多余空间的缩小，能够加快入料腔室抽真空和破真空的速度，缩短入料腔室抽真空和破真空的时间，提高了生产效率，解决了现阶段该领域的难题。因此，本实用新型提供的入料腔室，能够缩短入料腔室抽真空和破真空的时间，提高生产效率，解决了现阶段该领域的难题。
入料腔室镀膜设备

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