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[发明专利]一种脉冲放电等离子体反应器和有机废水的处理装置以及处理方法-CN202010945273.9在审
发明人：何孟兵 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本发明涉及工业废水处理技术领域，具体涉及一种脉冲放电等离子体反应器和有机废水的处理装置以及处理方法。本发明提供的脉冲放电等离子体反应器，包括高压电极、弹簧低压电极、石英玻璃套管、微秒级高压脉冲电源和密封框架。在本发明中，高压电极与微秒级高压脉冲电源的高压端相连接，弹簧低压电极与微秒级高压脉冲电源的低压端相连接，陶瓷套管作为介质阻挡放电的介质层，微秒级高压脉冲能够使弹簧低压电极与陶瓷套管之间产生介质阻挡放电等离子体和紫外光；放电等离子体在石英玻璃套管内进行一系列反应后产生臭氧；臭氧通入有机废水中，降解有机污染物。本发明提供的脉冲放电等离子体反应器运行温度升高小，能够连续长时间运行。
一种脉冲放电等离子体反应器有机废水处理装置以及方法

[实用新型]一种脉冲放电等离子体反应器和有机废水的处理装置-CN202021966345.X有效
发明人：何孟兵 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及工业废水处理技术领域，具体涉及一种脉冲放电等离子体反应器和有机废水的处理装置。本实用新型提供的脉冲放电等离子体反应器，包括高压电极、弹簧低压电极、石英玻璃套管、微秒级高压脉冲电源和密封框架。在本实用新型中，高压电极与微秒级高压脉冲电源的高压端相连接，弹簧低压电极与微秒级高压脉冲电源的低压端相连接，陶瓷套管作为介质阻挡放电的介质层，微秒级高压脉冲能够使弹簧低压电极与陶瓷套管之间产生介质阻挡放电等离子体和紫外光；放电等离子体在石英玻璃套管内进行一系列反应后产生臭氧；臭氧通入有机废水中，降解有机污染物。本实用新型提供的脉冲放电等离子体反应器运行温度升高小，能够连续长时间运行。
一种脉冲放电等离子体反应器有机废水处理装置

[发明专利]用于预离子化表面波发射的等离子体放电源的系统和方法-CN200880127015.7有效
发明人：迈克尔·W·斯托厄尔 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-01-30 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： A62D3/00 文献下载
摘要：一个实施方式包括一种用于在衬底上沉积膜的方法，该方法包括产生多个第一功率脉冲，该多个第一功率脉冲中的每一个都具有第一脉冲振幅，提供该多个第一功率脉冲到第一放电管，使用该多个第一功率脉冲在第一放电管附近产生等离子体，在该多个第一功率脉冲中的每一个功率脉冲之间维持等离子体，使得在该多个第一功率脉冲中的每一个功率脉冲期间不再点燃等离子体，使用等离子体来分解原料气体，和将至少一部分所分解的原料气体沉积到衬底上。
用于离子化表面波发射等离子体电源系统方法

[发明专利]在低气压环境下用激光诱导激发射频等离子体的方法-CN201611042734.1有效
发明人：刘东平;闫伟斌;雷光玖 -专利权人：大连民族大学
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种在低气压环境下用激光诱导激发射频等离子体的方法，该方法硬件包括脉冲激光光源、凸透镜、靶材、离子源系统和射频供电系统；该方法内容是：当离子源系统中气体的气压值低于1Pa，产生射频等离子体困难时，利用脉冲激光束轰击离子源系统中的靶材，以此提高离子源内部种子电荷的密度，从而引发射频等离子体；首先使离子源系统具有较高真空度后，为离子源系统提供需要产生等离子体的气体，为离子源系统内部环境提供射频电磁场，输出一个高强度的激光脉冲经过聚焦后形成一个高功率密度的光斑并打在靶材的表面；脉冲激光光斑到达靶材表面后的瞬间，靶材表面产生激光等离子体并为离子源系统内部提供种子电荷，离子源系统内部的射频等离子被引发。
离子源系统射频等离子体靶材低气压环境靶材表面激光诱导电荷凸透镜等离子体激光等离子体脉冲激光光斑脉冲激光光源射频供电系统脉冲激光束射频等离子射频电磁场高真空度激光脉冲内部环境光斑高功率离子源激发轰击气压聚焦输出

[发明专利]基于脉冲介质阻挡放电的叶尖间隙测量系统及测量方法-CN202011155579.0有效
发明人：于兵;李志林;章涛;张天宏 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G01B7/15 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于脉冲介质阻挡放电的叶尖间隙测量系统及测量方法，所述系统包括模拟叶片、金属探针、高压放电电源模块、数据处理模块、数据采集模块、脉冲电压产生模块和等离子体激励器；系统在工作时，由脉冲电压产生模块激发等离子体激励器工作，产生等离子体团，之后在气流的推动作用下，等离子体团向后移动至放电区域，通过高压放电电源模块和金属探针的作用，实现等离子体放电，信号通过数据采集模块的采集，输送至数据处理模块，进而获取叶尖间隙的实际数值
基于脉冲介质阻挡放电叶尖间隙测量系统测量方法

[发明专利]一种基于飞行焦点和等离子体波导超短脉冲激光时空压缩方法-CN202010868504.0有效
发明人：吴朝辉;左言磊;曾小明;王晓东;王逍;母杰;胡必龙 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2020-08-26 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于飞行焦点和等离子体波导超短脉冲激光时空压缩方法，属于激光技术领域，采用等离子体波导收集和准直飞行焦点，使得聚焦后的激光在等离子体波导中传输，然后通过光栅调节飞行焦点的移动速度刚好与该激光在波导中的群速度相等由于不同波长的光光程不一样，输出脉冲获得时间压缩效果，同时由于强激光在等离子体中的自聚焦效应使得激光进一步聚焦，空间压缩效果；本发明解决了现有啁啾脉冲放大技术材料损伤和等离子体压缩技术的稳定性低、效率低等问题
一种基于飞行焦点等离子体波导超短脉冲激光时空压缩方法

[发明专利]一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源-CN202310663728.1在审
发明人：吴衍青;卢启鹏;龙家丽;芶富均;胡智民 -专利权人：中国科学院上海高等研究院
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明提供一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源，包括来自于靶材发生器的靶材、以及对准靶材的同步辐射产生装置，同步辐射产生装置设置为将带有高次谐波的同步辐射主脉冲引入并照射到等离子体上，所述等离子体极紫外光源还包括产生并向靶材发射电离靶材的波束以得到等离子体的等离子体产生装置，波束为高功率激光或高能量的同步辐射预脉冲。本发明的等离子体极紫外光源将带有高次谐波的同步辐射作为驱动光源与等离子体作用，高效激发产生一定波长的高功率极紫外光，从而有效利用现有同步辐射光源杂余波，实现极紫外光的高功率输出。
一种同步辐射谐波驱动等离子体紫外光源

[发明专利]针对用于等离子体加热的电子束的系统、装置和方法-CN202180089586.1在审
发明人： A·特卡乔夫;S·科雷帕诺夫 -专利权人：阿尔法能源技术公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H05H1/16 文献下载
摘要：用于等离子体加热的带有等离子体发射器的长脉冲高功率电子束。该电子束包括电弧等离子体源、由加速栅的系统构成的电子光学系统、包括磁系统的束线、等离子体发生器线圈、等离子体发射器线圈、透镜线圈和束传输线圈，该磁系统用于提供有效的电子束形成、传输和向感兴趣的等离子体约束装置中的最终注入
针对用于等离子体加热电子束系统装置方法

[发明专利]等离子体处理装置以及等离子体处理方法-CN201210517334.7有效
发明人：奥村智洋 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2012-12-05 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了等离子体处理装置及等离子体处理方法，该等离子体处理装置包括：（1）腔室，其被电介质部件包围，且具备作为等离子体喷出口的开口部；（2）气体供给配管，其向腔室内部导入气体；（3）螺线管线圈，其配置在腔室附近；（4）高频电源，其连接于螺线管线圈，且具备脉冲调制功能；以及（5）基材载置台，其配置在等离子体喷出口侧。根据该等离子体处理装置，能够稳定地生成等离子体。
等离子体处理装置以及方法

[发明专利]一种基于虚拟阴极沉积（VCD）的薄膜制造工艺-CN201580050192.X有效
发明人：德米特里·亚莫利奇 -专利权人：等离子体应用有限公司
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：一种虚拟阴极沉积装置，利用虚拟等离子体阴极产生高密度电子束以消融固体靶材。高压电脉冲电离气体产生的等离子体短时间出现在靶材前方，作为靶材附近的虚拟等离子体阴极。然后这种等离子体消失，允许被消融的靶材以等离子体羽流的形式流向衬底。多个虚拟阴极同时提供羽流以汇合成一个均匀的等离子体羽流，该等离子体羽流在附近的衬底上冷凝以导致大范围的均匀厚度薄膜的沉积。
一种基于虚拟阴极沉积 vcd 薄膜制造工艺

[发明专利]一种新型的电火花放电的混合型等离子体喷射装置-CN201810185243.5在审
发明人：葛伟国;程显;程子霞;陈硕;赵海洋 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-03-01 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型的电火花放电的混合型等离子体喷射装置，脉冲高压通过触发导电线引入球形触发电极，球形触发电极与球形放电外电极在脉冲高压下击穿，击穿后储能电容通过高压硅堆对放电通道续流，产生更多的电弧等离子体电弧等离子体产生的高温使得安装于空心球形触发电极内的固体材料气化分解，产生高气压气体，并通过球形触发电极上的气孔注入放电区域，推进等离子体向喷嘴流动，并在永磁体环的磁场约束下，形成窄等离子体射流束，通过喷嘴的收缩效应、高气压气体的推进和磁场的约束作用，使得等离子体束向两个输出端口喷射，并得到较高的喷射速度和长度。该装置为脉冲功率触发开关、等离子体射流处理等的应用提供了有效的支撑。
触发电极等离子体喷射装置等离子体射流电弧等离子体电火花放电脉冲高压喷嘴高气压击穿喷射等离子体触发导电线等离子体束储能电容触发开关磁场约束放电区域放电通道高压硅堆固体材料空心球形脉冲功率输出端口应用提供永磁体环约束作用外电极放电气化续流磁场收缩分解引入支撑流动

[发明专利]飞秒激光双脉冲诱导熔融石英等离子体光谱的增强方法-CN201610134583.6在审
发明人：姜澜;曹志涛;王素梅;王猛猛;杨帆 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2016-03-10 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本发明涉及了一种飞秒激光双脉冲诱导熔融石英等离子体光谱的增强方法，具体涉及一种利用飞秒激光双脉冲对熔融石英进行超快重复烧蚀，进而提高生产等离子体辐射光谱强度的方法，属于飞秒激光应用技术领域。通过把传统的飞秒激光单脉冲调制为飞秒激光双脉冲，在亚皮秒到百皮秒的尺度调控被加工熔融石英的局部瞬时电子动态，从而改变诱导熔融石英等离子体的温度和电子数密度，最终提高等离子体的光谱辐射强度，比采用传统的飞秒激光单脉冲强度可以提高数倍
激光脉冲诱导熔融石英等离子体光谱增强方法

[发明专利]一种等离子体脉冲破岩桩机-CN202011219533.0在审
发明人：周鹏;马宁;黄雪 -专利权人：北京三一智造科技有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： E21B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体脉冲破岩桩机，涉及桩基础施工技术领域。等离子体脉冲破岩桩机包括脉冲放电机构、循环机构和与脉冲放电机构连接的钻头，脉冲放电机构向钻头输出高压脉冲，使钻头产生高压电弧，循环机构用于向钻头输送电解质并将钻进产生的泥浆由桩基中抽出。上述等离子体脉冲破岩桩机基于等离子体破岩技术，通过脉冲放电机构和钻头的配合，实现通过电弧能量破碎岩石，相较于现有技术中的机械破岩，结构简单，可实现快速打桩成孔的目的且具有机械性磨损小，工作效率高，适应不同硬度的岩层等优点
一种等离子体脉冲破岩桩机

[发明专利]采用多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法-CN201610717184.2有效
发明人：孙辉;樊仲维 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本发明涉及采用多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法，尤其是采用包括皮秒和纳秒激光脉宽的多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法，激光诱导光源是包含纳秒级和皮秒级超短脉冲的激光光源，能够用一个脉冲激光器产生两个脉冲激光即纳秒激光和皮秒激光，通过同样的输出和聚焦光路使得这两个脉冲激光聚焦在待测样品上相同位置，利用第一束纳秒激光脉冲照射样品表面产生等离子体，稍后第二束皮秒激光脉冲照射等离子体以增强谱线发射
采用脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分方法

[实用新型]一种等离子体脉冲破岩桩机-CN202022537394.8有效
发明人：周鹏;马宁;黄雪 -专利权人：北京三一智造科技有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： E21B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体脉冲破岩桩机，涉及桩基础施工技术领域。等离子体脉冲破岩桩机包括脉冲放电机构、循环机构和与脉冲放电机构连接的钻头，脉冲放电机构向钻头输出高压脉冲，使钻头产生高压电弧，循环机构用于向钻头输送电解质并将钻进产生的泥浆由桩基中抽出。上述等离子体脉冲破岩桩机基于等离子体破岩技术，通过脉冲放电机构和钻头的配合，实现通过电弧能量破碎岩石，相较于现有技术中的机械破岩，结构简单，可实现快速打桩成孔的目的且具有机械性磨损小，工作效率高，适应不同硬度的岩层等优点
一种等离子体脉冲破岩桩机