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[发明专利]在等离子体处理系统中同步RF脉冲的方法和装置-CN201380010617.5有效
发明人：约翰·瓦尔考;哈梅特·辛格;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-02-07 - 公布日： 2017-11-21 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：提供了一种用于提供至少两个同步脉冲RF信号至等离子体处理系统的等离子体处理室的同步脉冲装置，该装置包括用于提供第一RF信号的第一RF发生器。将所述第一RF信号提供至所述等离子体处理室以在其中激发等离子体，所述第一RF信号表示脉冲RF信号。该装置还包括用于提供第二RF信号至所述等离子体处理室的第二RF发生器。所述第二RF发生器具有传感器子系统，其用于检测所述至少一个与所述等离子体处理室相关的反映是向所述第一RF信号施加高脉冲还是施加低脉冲的参数的值，以及脉冲控制子系统，其用于响应于所述检测的所述至少一个参数的所述值对所述第二RF信号施加脉冲。
等离子体处理系统同步 rf 脉冲方法装置

[发明专利]用于在图案化结构形成期间减轻底层损伤的方法和系统-CN202210350945.0在审
发明人：芝英一郎;高山智美;C.C.徐 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：示例性方法包括通过以下来形成覆盖衬底的材料：在硅前体脉冲周期内向反应室提供硅前体，在反应物脉冲周期内向反应室提供氮反应物和氧反应物中的一种或多种，在惰性气体脉冲周期内向反应室提供惰性气体，以及在等离子体脉冲周期内提供等离子体功率以在反应室内形成等离子体可以在等离子体周期期间提供惰性气体和/或可以脉冲等离子体功率以减轻对底层的任何损伤，同时提供材料层的期望特性。
用于图案结构形成期间减轻底层损伤方法系统

[发明专利]一种脉冲等离子体驻极设备及方法-CN202010312805.5在审
发明人：万良淏;戴阳;施远帆;万京林 -专利权人：南京苏曼等离子科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种无纺布脉冲等离子体驻极设备及方法，属于等离子体设备技术领域。本发明的机体两侧设置有安装墙板，机体内设置有脉冲等离子体驻极模块、辊式电极和导辊，脉冲等离子体驻极模块安装在安装墙板之间，导辊用于进料和出料，其特征在于：安装墙板分为第一安装墙板和第二安装墙板，脉冲等离子体驻极模块内设置有脉冲电极丝，辊式电极接地，脉冲电极丝接脉冲电压向辊式电极放电产生非均匀的电场，本发明提高了材料内部的电偶极子的极化率，增加材料内部极化电荷密度和稳定性，形成高质量驻极材料。
一种脉冲等离子体设备方法

[发明专利]等离子体显示装置-CN200610163443.8无效
发明人：郑奉燮 -专利权人：乐金电子（南京）等离子有限公司
申请日： 2006-12-03 - 公布日： 2007-07-11 - 主分类号： G09G3/28 文献下载
摘要：本发明是关于等离子体显示装置的，更具体讲是关于改善驱动部的等离子体显示装置的。本发明中的等离子体显示装置，包含：形成扫描电极与维持电极的等离子体显示面板及从向扫描电极提供复位脉冲以后开始，至提供第一个扫描脉冲之前的期间，向扫描电极提供第1正极性脉冲，在比提供第1正极性脉冲晚的时刻，向维持电极提供与上述第1正极性脉冲重叠的第2正极性脉冲的驱动部。如上所述的本发明中，即使放电信元内含有杂质，导致等离子体显示面板的驱动特性的下降，也可以在不同的时刻提供重叠的正极性脉冲，从而防止误放电，提高画质。
等离子体显示装置

[实用新型]一种脉冲等离子体驻极设备-CN202020597344.6有效
发明人：万良淏;戴阳;施远帆;万京林 -专利权人：南京苏曼等离子科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无纺布脉冲等离子体驻极设备，属于等离子体设备技术领域。本实用新型的机体两侧设置有安装墙板，机体内设置有脉冲等离子体驻极模块、辊式电极和导辊，脉冲等离子体驻极模块安装在安装墙板之间，导辊用于进料和出料，其特征在于：安装墙板分为第一安装墙板和第二安装墙板，脉冲等离子体驻极模块内设置有脉冲电极丝，辊式电极接地，脉冲电极丝接脉冲电压向辊式电极放电产生非均匀的电场，本实用新型提高了材料内部的极化率，增加材料内部极化电荷密度和稳定性，形成高质量驻极材料。
一种脉冲等离子体设备

[发明专利]一种脉冲潘宁放电等离子体发生装置-CN201810658135.5有效
发明人：郝胜智;卢健;胡方亭;彭文海 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-06-19 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种脉冲潘宁放电等离子体发生装置，属于材料表面改性领域。包括等离子体发生部分、真空室、工作台、高压脉冲功率电源、时序控制电路、可调电阻一、可调电阻二和真空系统。在真空室达到工作压强后，启动时序控制电路，当磁场强度达到设定值后，潘宁阳极内部及其与阴极和辅助阳极相对区间形成空间放电，获得放电等离子体，放电等离子体在磁场约束下沿轴向扩展，穿过辅助阳极后作用于工件表面本发明等离子体发生部分和工件相对独立，放电等离子体产生过程中，工件对等离子体发生的影响可以忽略不计；放电等离子体分布密度、放电等离子体对工件的作用强度具有可调性，适应于多种材料的表面改性。
放电等离子体等离子体发生发生装置辅助阳极可调电阻真空室脉冲高压脉冲功率电源启动时序控制电路材料表面改性时序控制电路阴极表面改性磁场约束工件表面工作压强相对独立真空系统阳极可调性工作台放电下沿轴向磁场穿过

[发明专利]一种包含点火自动计数装置的脉冲等离子体推力器系统-CN201911264169.7有效
发明人：刘向阳;林永樑;冷春雪;陈世昌;周阳;丁一墁 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： F03H1/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种包含点火自动计数装置的脉冲等离子体推力器系统，能够为脉冲等离子体推力器的点火进行准确的计数。该系统包括：脉冲等离子体推力器，包括点火系统和推进剂，所述点火系统包括火花塞和阴极、阳极以及主电容；地面电源系统，包括脉冲发生器和电源，所述电源用于为所述推进器提供能量，所述电源的两极分别连接至推力器的所述阴极和阳极，而所述脉冲发生器则连接至推力器的火花塞；以及点火自动计数装置，包括光电转换装置和两个双显脉冲计数器，光电转换装置与一个双显脉冲计数器a相连，所述地面电源系统中的脉冲发生器与另一个脉冲双显计数器b相连。本发明能够实时准确的记录脉冲等离子体推力器主电容放电次数，节省人力，减小试验误差；为脉冲等离子体推力器长寿命试验提供保障；同时脉冲等离子体推力器的点火信号产生次数和主电容放电次数，为脉冲等离子体推力器放电稳定性分析提供依据
一种包含点火自动计数装置脉冲等离子体推力系统

[发明专利]脱硫废水水质恢复方法及其装置-CN200710071225.6无效
发明人：雷乐成;张兴旺;古励 -专利权人：浙江大学
申请日： 2007-09-06 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： C02F1/72 文献下载
摘要：本发明公开了脱硫废水水质恢复的方法及其装置，以高压脉冲等离子体放电产生的含有活性物质的气体作为曝气，控制曝气流量1～10 l/min，通入废水池与脱硫废水相接触。装置包括高压脉冲等离子体放电电源，与高压脉冲等离子体放电电源相连接的高压脉冲等离子体放电室，底部设有曝气头的废水池。本发明将高压脉冲等离子体放电成功的引入到了脱硫废水水质恢复中，方法简单，操作简便，通过高压脉冲等离子体放电室后产生的一系列具有强烈氧化性的活性物质与脱硫废水接触，实现对脱硫废水中SO₃^2－及有机物的氧化，并将水中COD氧化为CO₂和H₂O，去除水中COD和微量重金属离子。
脱硫废水水质恢复方法及其装置

[发明专利]高能脉冲自旋等离子体射孔方法-CN202110777723.2有效
发明人：刘永红;孙强;韩延聪;刘鹏;沈志萍;武鑫磊;赵莅龙;李德格 -专利权人：中国石油大学（华东）
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： E21B43/114 文献下载
摘要：本发明属于石油工程领域，具体地，涉及一种高能脉冲自旋等离子体射孔方法。在油气井钻井完成后，通过连续油管下入高能脉冲自旋等离子体钻头和造斜器，到达特定地层后，造斜器锚住套管，等离子体钻头在造斜器的导向作用下，偏向套管的一侧；地面控制系统发出控制信号，等离子体钻头喷射出脉冲性的自旋等离子体；自旋等离子体依次熔化套管、环空水泥和地层岩石；等离子体喷射间隙，高压自旋气流从等离子喷嘴中喷出，高压自旋气流吹离等离子作用区域的熔化物质；自旋等离子体重复喷射，逐渐在井筒侧壁钻出一个高渗流孔。
高能脉冲自旋等离子体方法

[发明专利]一种脉冲调制射频等离子体增强原子层沉积装置及方法-CN201110041566.5无效
发明人：石建军;刘新坤;黄晓江;梅永丰 -专利权人：东华大学;无锡迈纳德微纳技术有限公司
申请日： 2011-02-21 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：本发明涉及一种脉冲调制射频等离子体增强原子层沉积装置及方法，所述的脉冲调制射频等离子体增强原子层沉积装置，包括真空反应腔体，真空反应腔体内底部设有基底，真空反应腔体分别连接真空机械泵和前驱体输入管路，其特征在于，真空反应腔体内顶部设有等离子体电极，等离子体电极依次连接射频功率匹配器、脉冲调制射频电源和脉冲延时器。所述的方法为在沉积至少一种前驱体时，通过脉冲调制射频电源产生等离子体辅助沉积。本发明的优点是降低了沉积过程中离子轰击对沉积薄膜的影响，并且防止沉积过程中腔体温度的上升。
一种脉冲调制射频等离子体增强原子沉积装置方法

[发明专利]涂层工艺中的以及与涂层工艺有关的改善-CN201880053904.7在审
发明人：维克多·贝利多-冈萨雷斯;伊凡·费尔南德斯;安比恩·温伯格;德莫特·派特克·莫纳汉 -专利权人：基恩科有限公司;纳米4能源有限公司
申请日： 2018-08-21 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：公开了一种在等离子体涂覆设备中消耗等离子体中的电子的设备(1b)和方法。本发明涉及：产生与靶(4)相邻的等离子体，所述等离子体包括离子(9)、颗粒材料(5)和电子(6)；形成等离子体陷阱(52)，以将等离子体约束在靶(4)附近，并通过以下方式消耗等离子体中的电子：提供另外的磁场(8b)，该另外的磁场叠加在等离子体陷阱(3、52)的磁场上，该另外的磁场延伸超出等离子体陷阱的边界层(52)，并牵引来自等离子体陷阱的边界层(52)的或者等离子体陷阱的边界层附近的电子(6)远离靶(4本发明提出将基准电压(50)施加到靶(4)上；以及向靶(4)施加周期性的电压脉冲(13b)。另外的磁场(8b)消耗等离子体中的电子，使得当向靶(4)施加电压脉冲(13b)时，可以从等离子体中喷射出离子(9)，其中减少了电子屏蔽。已经表明这改善了离子轰击并减少不利的电子轰击影响。
涂层工艺中的以及有关改善

[发明专利]一种产生单个球马克等离子体的放电装置与方法-CN202011593273.3在审
发明人：漆亮文;宋健;赵崇霄;赵繁涛 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种产生单个球马克等离子体的放电装置与方法，属于磁约束聚变等离子体技术领域。所述的放电装置包括电容组电源、同轴等离子体枪、偏置磁场系统、延时触发系统、脉冲送气系统和真空系统。所述的同轴等离子体枪包括内电极、外电极和半球形钨铜合金块；同轴等离子体枪的外电极上切向开设脉冲送气孔，脉冲送气孔的位置处相应布置脉冲送气系统的电磁阀；内电极端部焊接半球形钨铜合金块。偏置磁场系统的螺线管嵌入同轴等离子体枪的内电极，以提供球马克形成所需要的径向磁场。本发明通过调控气体填充、偏置磁场及放电之间的延时获得单个球马克的技术操作简单、灵活、稳定性高，为核物理研究与实际应用中获得单个球马克等离子体提供了一种简便新途径。
一种产生单个马克等离子体放电装置方法

[发明专利]直流辉光等离子体装置及金刚石片的制备方法-CN201110040168.1有效
发明人：朱晓东;丁芳;詹如娟;倪天灵;柯博 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2011-02-17 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： C23C16/503 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种直流辉光等离子体装置，包括：电极系统、水冷真空系统和电源控制系统，所述电源控制系统包括脉冲直流电源。本发明提供的装置可以在高气压条件下采用放电的脉冲运行，有效地抑制辉光向弧放电转移，能够得到稳定的高气压直流辉光放电等离子体。本发明还提供一种直流辉光等离子体的处理方法和一种金刚石片的制备方法，采用从脉冲到稳态运行来产生高气压辉光等离子体。脉冲运行有效地抑制辉光向弧放电转移，同时维持等离子体的稳定；此外通入氩气有利于获得稳定的均匀等离子体。由于稳定的高气压均匀等离子体中含有大量的活性粒子，可以大大提高金刚石片的生长速率。
直流辉光等离子体装置金刚石片制备方法

[实用新型]一种等离子体活化水用于活体生物组织表面杀菌的装置-CN201621172862.3有效
发明人：王子丰;畅浩栋;刘定新 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-11-02 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： A61L2/18 文献下载
摘要：本公开了揭示了一种等离子体活化水用于活体生物组织表面杀菌的装置，所述装置包括高压脉冲电源、等离子体发生器、托盘和壳体。工作时，托盘中放置装有无菌纯净水的培养皿；外接20V直流电作为高压脉冲电源的输入；高压脉冲电源输出高压脉冲电流作用于等离子体发生器，发生介质阻挡放电使地电极下方产生等离子体；培养皿中的无菌纯净水与等离子体反应后，产生的等离子体活化水可直接通过冲洗、浸泡等方式对活体生物组织表面进行杀菌。本实用新型等离子体对无菌纯净水进行活化处理，杀菌活性物质浓度高，具有广谱杀菌功能；产生的活化水即刻用于活体生物组织表面的杀菌，杀菌效果好，且不会对生物组织造成损伤，不影响生物体的健康。
一种等离子体活化用于活体生物组织表面杀菌装置

[实用新型]一种产生单个球马克等离子体的放电装置-CN202023242451.6有效
发明人：漆亮文;宋健;赵崇霄;赵繁涛 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种产生单个球马克等离子体的放电装置，属于磁约束聚变等离子体技术领域。所述的放电装置包括电容组电源、同轴等离子体枪、偏置磁场系统、延时触发系统、脉冲送气系统和真空系统。所述的同轴等离子体枪包括内电极、外电极和半球形钨铜合金块；同轴等离子体枪的外电极上切向开设脉冲送气孔，脉冲送气孔的位置处相应布置脉冲送气系统的电磁阀；内电极端部焊接半球形钨铜合金块。偏置磁场系统的螺线管嵌入同轴等离子体枪的内电极，以提供球马克形成所需要的径向磁场。本实用新型通过调控气体填充、偏置磁场及放电之间的延时获得单个球马克的技术操作简单、灵活、稳定性高，为核物理研究与实际应用中获得单个球马克等离子体提供了一种简便新途径。
一种产生单个马克等离子体放电装置