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[实用新型]一种紫外光-等离子体协同降解有机废气装置-CN201520617936.9有效
发明人：邵振华;田汝斌;张海杰;毛哲林;姜建清 -专利权人：杭州科瑞特环境技术有限公司
申请日： 2015-08-17 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种紫外光-等离子体协同降解有机废气装置，装置外壳为密闭结构的箱体，内表面为反光材料，可最大化利用紫外光并防止紫外光泄露；双介质阻挡放电等离子体单元由双介质阻挡放电等离子体反应器和高压脉冲电源组成，双介质阻挡放电等离子体反应器采用双介质的结构，可有效保护放电电极不被有机废气污染，从而大大提高持续运行时间；高压脉冲电源采用纳秒级高压脉冲电源，有效避免了直流电晕加速离子而带来的能量损耗；紫外光发生单元提供紫外光，促进双介质阻挡放电等离子体降解有机废气。本实用新型在双介质阻挡放电等离子体中引入紫外光，在没有光催化剂的存在下，即可有效地促进有机废气降解，大大提高降解率，节省了成本。
一种紫外光等离子体协同降解有机废气装置

[发明专利]一种鲜榨果蔬汁的低温等离子体-脉冲强光杀菌反应器-CN202010188683.3在审
发明人：张志伟;高振红;孙健 -专利权人：青岛农业大学
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： A23L2/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种鲜榨果蔬汁的低温等离子体‑脉冲强光杀菌反应器，包括低温等离子体反应器组件、脉冲强光反应器组件、物料输送管道组件；等离子体反应器组件设置有正极板、负极板，正极板均匀阵列数个发射电极，正负极板均匀分布数个小孔，避免鲜榨果蔬汁在低温等离子体发生器内产生湍流、沟流、壁流、层流等现象，保证鲜榨果蔬汁均匀地接受低温等离子体的作用；脉冲强光反应器内壁周围均匀阵列数个脉冲强光灯；物料输送管道组件包括物料的进出口及其阀门
一种鲜榨果蔬汁低温等离子体脉冲强光杀菌反应器

[发明专利]大尺度脉冲冷等离子体射流产生装置-CN201611231960.4有效
发明人：张丽;杨德正 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2019-07-30 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：本发明提供一种大尺度脉冲冷等离子体射流产生装置包括：双极性高压纳秒脉冲电源、电阻耦合螺旋单电极、两级等离子体发生装置和配气系统；两级等离子体发生装置包括初级介质管和次级长管，次级长管侧壁或者端口设有一个或者多个引入孔，初级介质管一端与配气系统连接，另一端与次级长管的等离子体引入孔相配合；次级长管为直绝缘管或者任意弯曲的绝缘管；电阻耦合螺旋单电极包括高压螺旋电极和接地电阻，高压螺旋电极缠绕在初级介质管外壁上，高压螺旋电极与接地电阻并联形成耦合结构；双极性高压纳秒脉冲电源输出端与高压螺旋电极以及接地电阻电联。本发明能提高纳秒脉冲放电的能量注入效率和放电强度，从而增大射流等离子体尺度。
尺度脉冲等离子体射流产生装置

[发明专利]多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统-CN201710325014.4有效
发明人：赵南京;马明俊;方丽;孟德硕;殷高方;甘婷婷;杨瑞芳;肖雪;刘建国;刘文清 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2017-05-10 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本发明公开了一种多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，以单束高能激光脉冲均分为多束，在双焦平面产生多个聚焦作用点同时激发被分析样品及环境气体，形成近似面源的激光等离子体光谱发射，实现单束高能激光脉冲的高效利用与激光等离子体光谱增强激发，有效地实现了水体/土壤/固体废弃物/合金等样品的激光等离子体光谱测量。本发明不仅增大了激光等离子体发射面积，缩小了单束高能激光脉冲单点作用创面，增强了激光等离子体发射强度，而且增加了样品数据代表性和光谱稳定性，降低了样品不均匀性与单束高能激光脉冲单点作用对光谱重复性和材料结构特性的影响
高能激光脉冲激光等离子体光谱激光诱导击穿光谱双焦激光等离子体激发测量系统单点发射固体废弃物光谱稳定性有效地实现不均匀性材料结构测量领域分析样品高效利用环境气体样品数据近似面作用点创面合金水体测量聚焦土壤应用

[发明专利]一种等离子体清洗系统-CN202111680984.9有效
发明人：曹时义;周敏;王俊锋 -专利权人：广东鼎泰高科技术股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体清洗系统，用于清洗待处理产品，包括真空腔室、至少一组等离子体发生器、安装架和脉冲偏压电源，真空腔室具有进气口和出气口，等离子体发生器包括同轴且间隔设置的第一平板和第二平板，第一平板设有若干第一贯穿孔，第二平板设有若干第二贯穿孔，第一平板和第二平板之间具有间隙，第一平板和第二平板位于安装架；脉冲偏压电源的正极与真空腔室电连接形成阳极，脉冲偏压电源的负极与第一平板和第二平板电连接。本发明的等离子体清洗系统，在脉冲电压电场作用下，第一平板和第二平板之间的辉光区交叠，使的大量流动的气体被击穿电离，从而产生辉光等离子体，对待处理产品进行清洗，且清洗效果好。
一种等离子体清洗系统

[发明专利]等离子体镀膜装置-CN201210556511.2无效
发明人：韦学运;杨思泽 -专利权人：韦学运
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：等离子体镀膜装置，其包括真空室和抽真空装置，在真空室上有阀门；传动系统包括真空室内的样品台和传动装置；同轴等离子体枪系统包括同轴内外电极及工程陶瓷绝缘套，内外电极间有间隙；脉冲电磁阀进气系统；同轴等离子体枪系统；充放电系统包括电源、与其连的充放电元件及控制系统；同轴等离子体枪系统部分在真空室内，真空室内的端部开口，脉冲电磁阀进气系统与内电极连接，工程陶瓷绝缘套在脉冲电磁阀进气系统与内电极的连线外，有充氮气口，内电极与脉冲电磁阀进气系统连接的端部设连通内外电极的间隙和内外电极的间隙的进气孔。本发明通过等离子体镀膜装置对材料表面进行改性、镀膜，解决了PVD和CVD的问题。
等离子体镀膜装置

[发明专利]一种基于等离子体吸收增强的激光与物质作用加强方法-CN202310221163.1在审
发明人：李欣;朱虹;卞进田;谢运涛;豆贤安;王玺;孔辉 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了激光技术领域的一种基于等离子体吸收增强的激光与物质作用加强方法，通过等离子体波导靶PW增强激光脉冲驱动离子加速；等离子体波导靶PW由后置塑料CH平板靶的空心圆柱形金属通道组成；激光脉冲与等离子体波导靶PW的相互作用包括以下步骤：步骤一，选择归一化振幅的激光脉冲；步骤二，激光与等离子通道壁相互作用，从等离子通道壁中拉出的电子组成螺旋电子束；步骤三，螺旋电子束被锁相到TM模式纵向电场的负电场区域，在CH利用激光能量的径向电磁场可利用电子束从通道壁中提取和加速电子，改善激光到目标的能量传递；实现最佳的离子加速度，由此增强激光驱动等离子加速的能量转换效率η，从而增强激光与物质作用。
一种基于等离子体吸收增强激光物质作用加强方法

[发明专利]一种测量等离子体阻抗和功率的方法及装置-CN202110225487.3在审
发明人：刘永新;赵凯;张权治;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种测量等离子体阻抗和功率的方法及装置。根据所述电压波形获取电压振幅和电压相位；根据所述电流波形获取电流振幅和电流相位；根据所述电压相位和所述电流相位进行相位差校准，得到V‑I相位差；根据所述电压波形、所述电流波形、所述电压振幅、所述电流振幅和所述V‑I相位差计算等离子体的阻抗和功率本发明针对现有技术存在的问题，对脉冲射频电源进行脉冲调制，通过延长脉冲“关闭”时间，对V‑I相位差进行校准，进而得到射频功率和等离子体阻抗随时间的演化过程；当等离子体稳定后，即可得到稳态(连续波驱动)的等离子体对功率的吸收
一种测量等离子体阻抗功率方法装置

[发明专利]用于离子损坏减轻和蚀刻均匀度改善的脉冲化远程等离子体-CN202180042022.2在审
发明人：罗伟易;许智勋;萧怀苏;王天琪 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种执行脉冲化远程等离子体蚀刻的方法包含：将衬底布置在处理室中，所述处理室被配置成执行脉冲化远程等离子体蚀刻；设定所述处理室的至少一个工艺参数；将至少一种气体混合物供给至所述处理室的上室区域；在开启周期，将第一电压供给至围绕所述上室区域布置的线圈，以激励所述至少一种气体混合物并且在所述处理室的所述上室区域内产生等离子体；在关闭周期，关闭所述第一电压，以停止在所述处理室的所述上室区域内产生等离子体；以及交替进行在所述开启周期中供给所述第一电压与在所述关闭周期中关闭所述第一电压，以在所述处理室的所述上室区域内产生脉冲化远程等离子体。
用于离子损坏减轻蚀刻均匀改善脉冲远程等离子体

[发明专利]一种微波等离子体炬点火方法-CN202011137794.8有效
发明人：黄卡玛;杨阳;朱铧丞 -专利权人：四川大学
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波等离子体炬点火方法，属于微波应用技术领域，采用微波等离子体炬；向放电管输入工作气体；微波发生器开启，并将工作模式设定为脉冲波工作模式，微波发生器通过微波输送装置向放电管内的工作气体输入脉冲波；确认放电管内的工作气体是否产生等离子体；放电管内的工作气体产生等离子体，微波发生器将脉冲波工作模式切换为连续波工作模式，微波发生器通过微波输送装置向放电管内的工作气体输入连续波。本发明的一种微波等离子体炬点火方法，不需要探针等尖端放电结构，免去复杂的探针动作机构，可实现自动化点火，具有稳定可靠，零部件寿命长等特点。
一种微波等离子体点火方法

[发明专利]一种电热化学焰火弹-CN202111208003.0在审
发明人：金涌;张祚炜;刘娜;李顺;朱东正;祝国荣;张丽华;孙力;王森;李宁 -专利权人：北京北方车辆集团有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： F42B4/02 文献下载
摘要：本发明提出一种电热化学焰火弹，包括药筒、焰火弹丸、等等离子体发生器、金属丝，以及消融材料或含能材料。通过瞬间大功率放电产生高温高压的金属等离子体，电离形成高温高压的等离子体混合物并从前端等离子体腔的喷口喷出，形成等离子体射流。通过调节与电热化学焰火弹相连的脉冲放电波形和幅值，精确控制高功率脉冲功率源放电产生等离子体的压力和温度，获得不同的弹丸发射初速，从而使焰火弹丸能够达到焰火所需的不同发射高度，增强焰火发射高度和发射方向的可控性
一种电热化学焰火

[发明专利]用于脉冲激光沉积的装置以及具有基板表面的基板-CN201910570727.6在审
发明人： J·A·扬森斯;J·M·德克斯;K·H·A·伯姆;W·C·L·霍普曼;J·A·霍伊费尔 -专利权人：索尔玛特斯有限责任公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于脉冲激光沉积的装置和具有基板表面的基板，该装置包括：基板保持器，用于保持基板；靶，该靶布置成面向基板的基板表面；速度过滤器，该速度过滤器布置在基板和靶之间，该速度过滤器包括旋转体，该旋转体有至少一个过滤器通道开口；脉冲激光，该脉冲激光在靶点处朝向靶，用于产生靶材料的等离子体羽流，其中，在靶点处的靶表面面对基板表面；以及等离子体孔板，该等离子体孔板布置在靶和基板之间，该等离子体孔板有等离子体通道开口，其中，等离子体通道开口由分割平面分成上游部分和下游部分
过滤器基板等离子体分割平面靶点孔板等离子体通道开口基板表面脉冲激光旋转体等离子体羽流脉冲激光沉积过滤器通道基板保持器面对基板面向基板上游靶表面靶布置靶材料重合垂直

[发明专利]一种面向Z箍缩的壳层等离子体柱产生方法及其装置-CN201410111627.4有效
发明人：吴坚;李兴文;魏文赋;贾申利;杨泽锋 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2014-03-24 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种面向Z箍缩的壳层等离子体柱产生方法及其装置。包括：真空等离子体靶室、脉冲电流发生器、环形激光光斑产生装置，以及数字延迟发生器；真空等离子体靶室内安装负载高压极以及与负载高压极相配合的负载地电极，负载地电极上开设开孔，真空等离子体靶室壁上设置透明窗口，负载高压极、负载地电极的开孔、以及透明窗口同轴布置；脉冲电流发生器与环形激光光斑产生装置的输入端均与数字延迟发生器相连；脉冲电流发生器的输出端与负载高压极相连，脉环形激光光斑产生装置的出光口与透明窗口同轴布置本发明避免冷态固态材料形成壳层等离子体柱过程中产生的先导等离子体等不均匀结构，同时负载结构更加简单，安装便利、参数调节方便。
一种面向等离子体产生方法及其装置

[实用新型]组合式等离子体空气消毒净化机-CN202023257482.9有效
发明人：吴科平;陈朝阳;周云正;白华君;张雷;吴永振 -专利权人：浙江天青环保科技有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： F24F8/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种组合式等离子体空气消毒净化机，包括：壳体，壳体两端开设有进风口与出风口，进风口设有过滤网板，出风口设有除臭氧网板；多个等离子体反应器，各个等离子体反应器并排放置于壳体内并形成有与进风口及出风口相通的净化通道；驱动电源机构，固定设于所述壳体的外侧面；驱动电源机构至少包括：多个脉冲电源，各脉冲电源的正极一一对应电连接于各个等离子体反应器的放电支架。本实用新型的技术方案是通过在壳体内并排设置多个等离子体反应器，各个等离子体反应器的放电支架均单独电连接有脉冲电源，并形成有供空气流动的净化通道，能够对空气进行多级深度净化的同时提高其净化效率，便于后期维护
组合式等离子体空气消毒净化

[发明专利]液态金属等离子体电声转换装置-CN201610052587.X有效
发明人：王倩;于洋;刘静 -专利权人：云南科威液态金属谷研发有限公司
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G10K15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种液态金属等离子体电声转换装置，涉及电声技术领域，所述装置包括：放电电极、液体和反射罩，所述放电电极和反射罩均设于所述液体中，所述放电电极的至少一端为液态金属电极；所述放电电极通过液态金属进行等离子体放电，所述反射罩将等离子体放电所形成的声脉冲进行聚能，并将聚能后的声脉冲作为转换的脉冲声波信号。本发明中通过液态金属作为等离子体电弧放电电极，相对于传统的放电电极，大大减小了施加电压大小，无需设置高压生成电路等复杂设备，简化了实施结构。
液态金属等离子体电声转换装置