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[发明专利]一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源-CN202310663728.1在审
发明人：吴衍青;卢启鹏;龙家丽;芶富均;胡智民 -专利权人：中国科学院上海高等研究院
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明提供一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源，包括来自于靶材发生器的靶材、以及对准靶材的同步辐射产生装置，同步辐射产生装置设置为将带有高次谐波的同步辐射主脉冲引入并照射到等离子体上，所述等离子体极紫外光源还包括产生并向靶材发射电离靶材的波束以得到等离子体的等离子体产生装置，波束为高功率激光或高能量的同步辐射预脉冲。本发明的等离子体极紫外光源将带有高次谐波的同步辐射作为驱动光源与等离子体作用，高效激发产生一定波长的高功率极紫外光，从而有效利用现有同步辐射光源杂余波，实现极紫外光的高功率输出。
一种同步辐射谐波驱动等离子体紫外光源

[发明专利]一种基于复合抛物面聚光器的小型近红外光谱仪光学系统-CN201710568925.X有效
发明人：高静;韩光;卢启鹏 -专利权人：燕山大学
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于复合抛物面聚光器的小型近红外光谱仪光学系统，涉及光谱分析仪器技术领域，系统包括一个光学平台，光学平台上依次设置有：光源、滤光装置、第一聚焦机构、样品室、第二聚焦机构和光谱探测器；所述光源能够发出多个不同波长的近红外光，近红外光经过滤光装置后形成单色近红外光；所述第一聚焦机构对所述单色近红外光进行第一次聚焦；所述样品室设置在聚焦光斑处；所述第二聚焦机构对待测样品透射的发散近红外光进行第二次聚焦；所述光谱探测器接收并检测不同波长的近红外光谱信号。本发明实现了仪器低成本、低功耗、小型化、简单化，光照度分布较均匀，提高了近红外光谱仪的光通量，进而增大了仪器的信噪比和整体分析精度。
一种基于复合抛物面聚光器小型红外光谱仪光学系统

[发明专利]振动控制装置及其控制方法-CN202111337314.7有效
发明人：龚学鹏;白洋;卢启鹏;宋源;王大壮;彭忠琦;毛琪俊;马天宇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G05D19/02 文献下载
摘要：一种振动控制装置，包括：振动信号处理装置、单轴柔性铰链；单轴柔性铰链的上平面分别放置反振动装置、第一振动检测装置和第二振动检测装置；第一振动检测装置和第二振动检测装置分别与振动信号处理装置通过数据线连接，分别用于检测单轴柔性铰链的初始振动信号和残余振动信号；振动信号处理装置用于根据残余振动信号计算出反振动信号，根据初始振动信号和反振动信号计算误差信号，且将反振动信号传送到反振动装置；反振动装置用于根据反振动信号对单轴柔性铰链产生控制力，使单轴柔性铰链减小振动幅度；重复上述过程，直至误差信号为0时，振动控制装置停止工作。提供主动控制振动的方式，提高了振动控制系统的响应速度。
振动控制装置及其方法

[发明专利]一种在线分析面粉样品的装置和方法-CN202110499988.0有效
发明人： 卢启鹏;宋源;龚学鹏;彭忠琦;马天宇;毛琪俊;白洋 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本发明属于食品检测技术领域，提供了一种在线分析面粉样品的装置和方法，包括与面粉的加工线连通的取样腔、位于取样腔下方的装填腔、与装填腔的水平方向连通的样品检测池；取样腔的输入端收集从加工线上落下的面粉，取样腔的输出端连接装填腔；装填腔设置有水平方向运动的样品推板，样品检测池具有朝向装填腔的开口，用以样品推板将装填腔的面粉通过该开口压实于样品检测池内；样品检测池连接有透镜，近红外光谱仪通过透镜对面粉成分进行近红外光谱分析；当面粉质量合格，正压通道将面粉运输至加工线；当面粉质量不合格，负压通道将面粉运输至面粉废品器。通过在线检测面粉质量，避免人工离线检测带来的信息滞后、成本高和粮食浪费等问题。
一种在线分析面粉样品装置方法

[发明专利]振动控制方法-CN202111470772.8在审
发明人：龚学鹏;白洋;卢启鹏;宋源;王大壮;彭忠琦;毛琪俊;马天宇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发明提供一种振动控制方法，包括以下步骤：S1、通过振动源产生初始振动信号；S2、将初始振动信号与期望值输入至第一振动控制器进行第一次的振动控制，并计算残余误差信号；S3、将残余误差信号输出至第二振动控制器进行第二次的振动控制。第一振动控制器是基于RLS算法的振动主动控制器，第二振动控制器是基于模糊算法自整定PID参数的主动控制器，本发明提供的基于RLS和自适应模糊PID混合算法的振动控制方法，在随机振动信号、谐波振动信号或阶跃振动信号激励下，具有更快的响应速度，鲁棒性好，从而改善了振动抑制效果，提高了收敛精度。
振动控制方法

[发明专利]一种双驱动非等力矩的压弯装置和压弯方法-CN202110803076.8在审
发明人： 卢启鹏;马天宇;彭忠琦;王大壮;龚学鹏;宋源;张振 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C03B23/033 文献下载
摘要：本发明提供一种双驱动非等力矩的压弯装置，包括：架体组件、驱动组件、固定挡板和两个对称布置的压弯组件；架体组件，用以搭载镜子，包括一对平行且对称布置的底座和一对平行布置的固定板；固定挡板由两个固定板固定支撑，固定挡板的两个侧面上分别设有同轴的圆槽；每个驱动组件包括位于镜子上方的设置的可以水平移动的驱动杆，驱动杆的一端为半球形且抵接圆槽，驱动杆的另一端驱动压弯组件。每个压弯组件包括动力轴、压辊和对称布置在底座两侧的摇臂；压辊的两端分别由两个摇臂转动支撑，在镜子的下方，驱动杆驱动动力轴带动摇臂转动，使得压辊向上压触镜子。本发明通过固定挡板将两个驱动杆组装在一起，能够实现压弯椭圆柱面镜，提高压弯精度。
一种驱动力矩装置方法

[发明专利]一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置-CN202010172960.1有效
发明人：宋源;卢启鹏;龚学鹏;王依;彭忠琦;徐彬豪;赵晨行 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置，包括污染气体储存罐、外加热层、温度控制器、气体压力传感器、流量计、污染气体发射管和发射管运动装置等，外加热层设置在污染气体储存罐的外壁，与温度控制器连接的气体压力传感器设置在流量计的进气端处；污染气体发射管包括金属喷射管和喷射头等，发射管运动装置带动喷射头在样品表面周期往复运动；温度控制器根据气体压力传感器实时反馈的压力数据控制外加热层的加热温度和加热时长，使流量计的进气端压强恒定。本发明可应用到EUV多层膜光学元件表面碳污染实验领域中，为实验提供流量稳定的大分子碳污染气体，具有供气稳定、流量均匀的特点，有效保证实验结果准确性，且易于分析。
一种流量稳定 euv 污染实验气体供气装置

[发明专利]X射线真空设备中冷却循环系统用低真空保护与监测装置-CN201911363062.8有效
发明人：龚学鹏;卢启鹏;宋源;彭忠琦;王依;徐彬豪;赵晨行 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： F16L39/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种X射线真空设备中冷却循环系统用低真空保护与监测装置，包括法兰组件、接头组件；法兰组件轴线处开设有冷介质通孔；装置还包括密封组件、波纹管；波纹管与冷却管之间的空间被配置为低真空环境空间，低真空环境空间的真空度与真空系统内真空度均远小于大气压。本发明的装置通过法兰组件连接一波纹管，利用波纹管将冷却管包裹并在两者之间形成一个低真空环境，有利于保护冷却管，并能防止无此低真空环境时由于压差过大使波纹管产生较大的变形量，而且能有效防止冷却介质泄漏到真空系统中。再利用法兰组件和接头组件形成冷介质传输的通道，实现工艺上游真空系统的冷却设备与工艺下游待冷却光学元件的连接。
射线真空设备冷却循环系统真空保护监测装置

[发明专利]X射线波长扫描光学元件极限运动位置探测和保护装置-CN201911362225.0有效
发明人：龚学鹏;卢启鹏;宋源;彭忠琦;王依;徐彬豪;赵晨行 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G05B19/048 文献下载
摘要：本发明公开了一种X射线波长扫描光学元件极限运动位置探测和保护装置，包括与光学元件的正弦杆连接的正弦杆连接块、与光学元件的驱动杆连接的驱动杆连接块；以及将所述正弦杆连接块和驱动杆连接块连为一体的弹簧组件；该装置还包括：安装于装置上的触点开关组件；所述触点开关组件与电机的控制系统通讯并传输触发信号。本发明的装置安装于波长扫描系统的光学元件的正弦杆和驱动杆之间，其能够将驱动杆的驱动力传递给光学元件和正弦杆，使其随之运动，以实现波长的扫描；而一旦出现运动异常则通过触点开关组件对电机发送信号以控制电机及时停止工作，在弹簧组件和触点开关组件的同时作用下确保设备处于安全状态。
射线波长扫描光学元件极限运动位置探测保护装置

[发明专利]用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置-CN201910904599.4有效
发明人： 卢启鹏;赵晨行;宋源;彭忠琦;龚学鹏;王依;徐彬豪;张振 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本发明涉及同步辐射光束线KB聚焦设备技术领域，具体为用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置；本发明要解决反射镜的自重对其面形形成影响，导致面形误差较高的技术问题。该装置具体包括：架体结构用以搭载一用于超高真空中的反射镜；压电陶瓷单元可用以对反射镜的底面形成支撑，多个球头支撑单元可用以配合压电陶瓷单元对反射镜的底面形成支撑，在工作状态时，一组压电陶瓷单元可在其对应的位置对反射镜施加一可调整的作用力，从而实现调节反射镜的面形；至少两组第一夹持单元在工作状态时相互配合形成夹持用以补偿反射镜的自身重力；和至少包括两个第二夹持单元和第一夹持单元相互配合，以在反射镜的宽度方向形成弹性夹持。
用于超高真空中的反射应力夹持调整装置

[发明专利]一种真空条件下光学元件多自由度精密定位装置-CN202010170513.2在审
发明人：王依;卢启鹏;龚学鹏;宋源 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-03-12 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：一种真空条件下光学元件多自由度精密定位装置，涉及真空紫外光学技术领域，解决现有光学元件定位采用电磁驱动结构复杂，需要采用真空隔离装置且不能满足使用要求等问题，包括光学平台，在光学平台两侧分别通过交错柔性铰链安装有驱动方向相反的压电驱动器；每个压电驱动器包括端盖、螺栓、压电振子、电极和端座；端盖与外界固定支撑连接，采用螺栓将端盖、压电振子、电极和端座依次串接；压电振子包括两组，所述两组压电振子极性偏置90度安装；每组压电振子包括多片压电振子，所述电极交替安装于每两片压电振子之间。本发明利用两组压电驱动器直接驱动光学平台X、Y、Z、RX、RZ五个自由度的调节，实现光学元件的精密定位。
一种真空条件下光学元件自由度精密定位装置

[发明专利]一种高效收集EUV光的多层膜光学元件碳污染实验装置-CN202010193901.2在审
发明人：宋源;卢启鹏;龚学鹏;王依;彭忠琦;徐彬豪;赵晨行 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种高效收集EUV光的多层膜光学元件碳污染实验装置，包括EUV光源、光源收集腔、污染腔、真空连接管道、光源照明光路、供气管路、样品台支架、Zr膜滤光片和真空泵组；EUV光源通过真空连接管道与光源收集腔连接，污染腔以部分嵌入的方式与光源收集腔固定连接，样品台支架置于污染腔内，供气管路与污染腔连通；EUV光源的出射光依次经过真空连接管道、多层膜主镜、多层膜次镜和Zr膜滤光片后聚焦至样品上。本发明简化了光路系统，大幅度缩减光路长度，从而减少收集腔背景环境气体对EUV光的吸收损耗，同时能够有效降低样品处光斑放大倍率，从而提高样品处光强，有效提高碳污染效率，降低实验时间和实验成本。
一种高效收集 euv 多层光学元件污染实验装置

[发明专利]一种静态傅里叶光谱装置-CN201710888594.8在审
发明人： 卢启鹏;李晚侠;宋源 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2017-09-27 - 公布日： 2018-03-20 - 主分类号： G01J3/26 文献下载
摘要：本发明实施例公开一种静态傅里叶光谱装置，包括前置光学结构，所述前置光学结构包括三角平面镜、位于所述三角平面镜上方的第一球面镜、以及狭缝；双直角分束器，所述双直角分束器包括第一梯形棱镜和第二梯形棱镜，所述第一梯形棱镜的下底面和第二梯形棱镜的下底面错开预定距离相粘合而构成分束面；后置光学结构，所述后置光学结构包括第二球面镜和柱面反射镜。本发明实施例基于双直角分束器，除分束器全部采用反射式结构，有效地折叠光路，从而减小整个系统的体积、有效地扩宽光谱范围。
一种静态傅里叶光谱装置

[实用新型]一种基于复合抛物面聚光器的小型近红外光谱仪光学系统-CN201720846389.0有效
发明人：高静;韩光;卢启鹏 -专利权人：燕山大学
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于复合抛物面聚光器的小型近红外光谱仪光学系统，涉及光谱分析仪器技术领域，系统包括一个光学平台，光学平台上依次设置有光源、滤光装置、第一聚焦机构、样品室、第二聚焦机构和光谱探测器；所述光源能够发出多个不同波长的近红外光，近红外光经过滤光装置后形成单色近红外光；第一聚焦机构对所述单色近红外光进行第一次聚焦；所述样品室设置在聚焦光斑处；第二聚焦机构对待测样品透射的发散近红外光进行第二次聚焦；所述光谱探测器接收并检测不同波长的近红外光谱信号。本实用新型实现了仪器低成本、低功耗、小型化、简单化，光照度分布较均匀，提高了近红外光谱仪的光通量，进而增大了仪器的信噪比和整体分析精度。
一种基于复合抛物面聚光器小型红外光谱仪光学系统

[发明专利]EUV多层膜碳污染实验装置-CN201510213471.5有效
发明人：龚学鹏;卢启鹏;彭忠琦;王依 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-04-30 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明涉及一种EUV多层膜碳污染实验装置，属于半导体技术领域。解决了现有技术中EUV多层膜碳污染实验装置只能检测单一实验结果，且实验的可靠性和对比性低的技术问题。本发明的EUV多层膜碳污染实验装置包括聚焦腔、第一闸板阀、过渡真空腔、角阀、曝光真空腔、滤光片、质谱仪、污染气体流量控制装置、第一真空泵、三维调节机构、样品支架固定机构、EUV光电二极管、第二闸板阀、准备真空腔、样品进给机构、样品支架、样品输送机构和第二真空泵。该装置能够完成样品的聚焦曝光和离焦曝光，以及样品不同位置的差别性曝光，装置内的真空度始终不会被破坏，实验可靠性高。
euv 多层污染实验装置

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