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[发明专利]一种用于等离子体烟气脱硫脱硝电源的高压脉冲波形整形装置-CN201611136241.4在审
发明人：金理剑;李开旭;檀杰文;黄军;郭炎鹏;陈磊 -专利权人：杭州天明电子有限公司
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H03K5/04 文献下载
摘要：本发明属于等离子体烟气脱硫脱硝脱汞除尘技术领域，尤其涉及一种用于等离子体烟气脱硫脱硝电源的高压脉冲波形整形装置。本发明所采用的技术方案为一种用于等离子体烟气脱硫脱硝电源的高压脉冲波形整形装置，包含一个可饱和电感和电阻，所述的可饱和电感与所述的电阻串联。在等离子体烟气脱硫脱硝电源加入本发明技术方案的高压脉冲波形整形装置可以得到高电压、脉冲宽度窄的电源；更高的电压可有效的提高等离子体烟气脱硫脱硝脱汞除尘的脱除效率。
一种用于等离子体烟气脱硫电源高压脉冲波形整形装置

[发明专利]一种用脉冲调制改善等离子体特性的方法-CN201110201567.1无效
发明人：张鹏云;孙继忠;王华强 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2011-07-19 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明属于等离子体应用领域，涉及一种用脉冲调制改善等离子体特性的方法。其特征是对电源(频率在2MHz-100MHz区间)进行脉冲调制，就是使电源电压在一段时间内输出(电源工作)，下一段时间内不输出(电源休止)，二者交替进行，即电源工作方式是脉冲的；调节脉冲调制的频率和占空比，结合其他放电参数的调节，改善等离子体的特性。本发明的效果和益处是可综合控制等离子体中各成份的温度和密度，可广泛用于等离子体应用的各种领域，带来巨大的经济效益。
一种脉冲调制改善等离子体特性方法

[实用新型]一种用于等离子体烟气脱硫脱硝电源的高压脉冲波形整形装置-CN201621354679.5有效
发明人：金理剑;李开旭;檀杰文;黄军;郭炎鹏;陈磊 -专利权人：杭州天明电子有限公司
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： H03K5/04 文献下载
摘要：本实用新型属于等离子体烟气脱硫脱硝脱汞除尘技术领域，尤其涉及一种用于等离子体烟气脱硫脱硝电源的高压脉冲波形整形装置。本实用新型所采用的技术方案为一种用于等离子体烟气脱硫脱硝电源的高压脉冲波形整形装置，包含一个可饱和电感和电阻，所述的可饱和电感与所述的电阻串联。在等离子体烟气脱硫脱硝电源加入本实用新型技术方案的高压脉冲波形整形装置可以得到高电压、脉冲宽度窄的电源；更高的电压可有效的提高等离子体烟气脱硫脱硝脱汞除尘的脱除效率。
一种用于等离子体烟气脱硫电源高压脉冲波形整形装置

[发明专利]一种实现脉冲电源与等离子体负载间匹配的方法-CN200510047271.3无效
发明人：戚栋;王宁会;吴彦 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2005-09-21 - 公布日： 2006-05-31 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明属于电气工程技术领域，尤其涉及一种实现脉冲电源与等离子体负载间匹配的方法。本发明公开了一种运用电路理论、测量技术和仿真技术来设计脉冲电源与等离子体负载间匹配电路的方法。其特征是根据实验测得的脉冲电压下等离子体负载上的电压、电流波形和直流电压下等离子体负载上的电压与电流的关系，运用仿真技术来获得等离子体负载的等效参数，改变匹配电路的电路结构及其仿真参数，使等离子体负载上的脉冲电压(u₂)与脉冲电源输出的脉冲电压(u₁)之比(u₂/u₁)的频响特性，在脉冲电源输出的脉冲电压的有效频谱范围内，接近不失真系统的频响特性
一种实现脉冲电源等离子体负载匹配方法

[发明专利]一种基于光路复用的真空开关真空度检测装置-CN202110569878.7在审
发明人：荣命哲;柯伟;袁欢;王小华;杨爱军;刘定新 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：本公开揭示了一种基于光路复用的真空开关真空度检测装置，包括：等离子体产生模块，用于产生脉冲激光，所述脉冲激光沿第一光路传输并诱导真空开关产生等离子体；成像模块，用于捕捉沿第一光路返回且继续沿第二光路传输的等离子体，以获得等离子体图像；真空度检测模块，用于对等离子体图像进行检测，以获得真空开关的真空度信息。
一种基于光路复用真空开关真空检测装置

[发明专利]一种提取激光等离子体轮廓的系统及方法-CN202110569877.2有效
发明人：袁欢;柯伟;王小华;杨爱军;刘定新;荣命哲 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本公开揭示了一种提取激光等离子体轮廓的系统，包括：等离子体产生单元，通过发送激光脉冲沿第一光路传输并照射真空腔产生等离子体；成像单元，用于捕捉沿第一光路返回并继续沿第二光路传输的等离子体，以获得第一激光等离子体图像；图像处理单元，用于对所述第一激光等离子体图像进行处理，以获得第二激光等离体子图像，并从第二激光等离子体图像中提取激光等离子体的轮廓。
一种提取激光等离子体轮廓系统方法

[发明专利]一种真空镀膜系统及镀膜方法-CN202111659155.2在审
发明人：曹时义;王俊锋;周敏 -专利权人：广东鼎泰高科技术股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体真空镀膜系统和镀膜方法，包括涂层机及阴极装置，涂层机提供阳极，阴极装置包括靶台、靶材、空腔辅助阳极、第一脉冲电源、直流弧电源、第二脉冲电源和双极脉冲等离子体震荡器，靶材外侧设有通道，第一脉冲电源的正极与空腔辅助阳极电连接，第一脉冲电源的负极与靶材电连接，直流弧电源的正极电连接阳极，直流弧电源的负极与靶材电连接，第二脉冲电源的正极电连接阳极，第二脉冲电源的负极与工件电连接形成阴极，双极脉冲等离子体震荡器可横向产生振荡型等离子体。本发明能够实现弧光等离子体的横向和纵向的立体轰击，提高离化效率，避免产生液滴，沉积为无液滴的高硬、高致密涂层。
一种真空镀膜系统镀膜方法

[发明专利]具有双嵌入式电极的基板支撑件-CN201880053387.3有效
发明人：赵在龙;P·A·克劳斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：在本文中描述的实施例总体而言涉及等离子体辅助处理腔室或等离子体增强处理腔室。更具体地，在本文中的实施例涉及被配置为向基板提供脉冲DC电压的静电吸盘(ESC)基板支撑件，和在等离子体辅助半导体制造工艺或等离子体增强半导体制造工艺期间使用脉冲DC电压偏压基板的方法。
具有嵌入式电极支撑

[发明专利]一种等离子体平板光源的驱动方法-CN201310579251.5有效
发明人：曾倩倩;匡文剑;胡凯;李青 -专利权人：南京康桥新港光电有限公司
申请日： 2013-11-18 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H05B41/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体平板光源的驱动方法，对等离子体平板光源施加的驱动信号采用N个频率为10～80KHZ的具有快速上升沿和快速下降沿的方波脉冲与M个低电平信号间隔组成的周期信号。该方波脉冲具有快速的上升沿和下降沿，等离子体平板光源只在方波脉冲的上升沿和下降沿放电，在低电平时不放电，其中N<5，M<5，且N≥M。本发明为了提高现有等离子体平板光源的发光效率，在具有陡峭上升沿的方波脉冲的前体下，提出的采用每多个高电平方波脉冲间隔低电平信号的驱动波形，使等离子体平板光源间歇性放电且能正常发光。减少放电的维持时间，可以大大降低电子发热的损耗，使得屏的发热量下降，提高了等离子体平板光源的发光效率。
一种等离子体平板光源驱动方法

[发明专利]脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理的方法-CN93107530.0无效
发明人：杨思泽;李兵;吴成;鲁伟;刘赤子 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 1993-07-03 - 公布日： 1998-05-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理的方法，该方法使用常规的受控核聚变产生等离子体装置，样品放在真空室内对着等离子体枪口处，在真空室内真空度达１０-1-10-3帕，等离子枪电极上施加１．５－１００ｋｖ电压，充电后一部分能量释放快速脉冲进气阀动作，工作气体通过等离子体枪被击穿形成等离子体束，经被加热和加速并携带电极材料和等离子体束流作用在被处理材料表面，该方法实现气固共掺入被处理材料表面
脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理方法

[发明专利]一种皮肤护理装置-CN201980002436.5在审
发明人：金昌植 -专利权人：机希艾斯株式会社
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： A61N1/32 文献下载
摘要：根据本发明一个实施例的皮肤护理装置，包括：等离子体脉冲发生器单元，用于产生等离子体脉冲；电穿孔脉冲发生器单元，用于产生电穿孔脉冲；脉冲输出单元，其通过与使用者的皮肤接触来测量使用者的皮肤电压值，并且将等离子体脉冲和电穿孔脉冲中的其中一个以上输出至使用者的皮肤上；以及控制单元，利用皮肤电压值来分析使用者的皮肤状态，并根据所分析的皮肤状态来控制等离子体脉冲和电穿孔脉冲的产生以及输出。
等离子体脉冲电穿孔脉冲皮肤护理装置发生器单元皮肤电压皮肤状态脉冲输出单元皮肤接触输出测量分析皮肤

[发明专利]等离子体显示装置-CN200580049801.6无效
发明人：坂本哲也;糸川直树;小林敬幸;岸智胜 -专利权人：富士通日立等离子显示器股份有限公司
申请日： 2005-08-23 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： G09G3/28 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体显示装置，其能够有效利用充电到等离子体显示面板的电荷，减少消耗电力，并且能够通过无效电力的减少实现高亮度化。该等离子体显示装置具有：等离子体显示面板，其前面基板上配置有X电极、Y电极和Z电极，背面基板上配置有寻址电极；和X驱动电路、Y驱动电路、Z驱动电路、寻址驱动电路，用于通过在Z电极与X电极或Y电极之间施加Z脉冲，在X电极与Y电极之间施加X(Y)脉冲，从而进行放电发光。其中，Z驱动电路由利用与等离子体显示面板的电容的LC谐振动作的线圈和开关构成，由Z驱动电路生成Z脉冲，能够生成窄的脉冲宽度的Z脉冲。
等离子体显示装置

[发明专利]用于基于等离子体的治理的系统和方法-CN202080033292.2有效
发明人：斯蒂芬·B·克罗宁;汤姆·赫斯坎普;亚历克·尼斯特罗姆;威廉·施罗德;斯里拉姆·苏布拉曼尼亚 -专利权人：南加利福尼亚大学;泰昌祥轮船(香港)有限公司
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： F02P23/04 文献下载
摘要：用于废气治理的系统，包括发动机、等离子体反应器和脉冲源。所述发动机排放包含NO分子和NOx分子的废气。等离子体反应器包括内室，所述内室与发动机流体连接，使得废气流入内室。电极设置在等离子体反应器的内室中。所述电极电耦接至电脉冲源。电脉冲源将电脉冲传送至电极以由废气形成等离子体，这去除至少部分NO分子和至少部分NOx分子。
用于基于等离子体治理系统方法

[发明专利]使用光学传感器的脉冲等离子体监测-CN201580001487.8有效
发明人：连雷;Q·沃克;D·坎特维尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-02-03 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：描述了使用光学传感器对脉冲等离子体的监测。在一个示例中，本发明包括：接收由半导体等离子体处理腔室中的脉冲等离子体所发射的光；以比脉冲等离子体的脉冲速率高的采样率对所接收的光进行采样，其中所采样的光具有周期性的振幅波形并且采样率比振幅波形的周期高
使用光学传感器脉冲等离子体监测

[发明专利]使用光学数据监测射频发生器操作的系统、方法和设备-CN201510546945.8有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;托尼·萨恩;李善京 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G06F15/78 文献下载
摘要：用光学传感器监测等离子体以确定用于等离子体加工的脉冲射频信号的操作的系统和方法，系统包括：等离子体室，具有针对等离子体区域的光学传感器。射频发生器通过匹配电路耦合至等离子体室。系统控制器耦合至等离子体室、射频发生器、光学传感器、射频定时系统和匹配电路。所述系统控制器可以包括中央处理器、存储系统、成组的射频发生器设置以及光学脉冲等离子体分析器，该光学脉冲等离子体分析器耦合至光学传感器并且能确定光学传感器中接收的光学发射的状态变化的定时和/或与光学传感器中接收的光学发射的幅值对应的成组的幅值统计
使用光学数据监测射频发生器操作系统方法设备