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- [发明专利]成膜装置-CN202011292113.5有效
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关谷任史;木村龙司;新海达也;冈部俊介
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佳能特机株式会社
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2020-11-18
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2023-03-31
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C23C14/04
- 本发明的成膜装置具备：容器；所述容器的外部的基座支承体；所述容器内的基板保持件；所述容器内的掩模保持件；基板保持件驱动机构；掩模保持件驱动机构；基板保持件驱动机构支承体，其与所述基座支承体连接；掩模保持件支承体，其与所述基座支承体连接，支承所述掩模保持件；所述基座支承体与所述基板保持件驱动机构之间的振动传递抑制构件；以及对准用相机单元，其设置于所述容器的外部且设置于所述掩模保持件支承体，用于测定基板与掩模的相对位置偏移
- 装置
- [发明专利]蒸镀掩模及其制造方法-CN202011303002.X有效
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山田哲行
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株式会社日本显示器
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2020-11-19
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2023-09-15
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C23C14/04
- 本发明提供一种蒸镀掩模及其制造方法。一方式的蒸镀掩模包括设置有多个开口的薄膜状的掩模主体，多个开口各自在掩模主体的厚度方向上从掩模主体的第一面贯穿到第二面，多个开口各自的第一面与第二面之间的侧壁具有45°以上且85°以下的锥形形状的部分。一方式的蒸镀掩模的制造方法中，准备第一基板，在第一基板的第一面上涂敷光致抗蚀剂，用包含第一波长和与第一波长不同的第二波长的光来照射光致抗蚀剂的一部分，通过将除曝光的光致抗蚀剂的一部分以外的其他部分去除来形成抗蚀剂图案根据本发明，能够提供具有锥形形状的蒸镀用的蒸镀掩模。
- 蒸镀掩模及其制造方法
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