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[发明专利]在制程中测量低介电常数的薄膜性质-CN200610066511.9无效
发明人：蔡嘉祥;徐鹏富;彭宝庆;徐祖望;谢志宏;苏怡年;陶宏远 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2006-03-28 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种决定制造基板上低介电常数薄膜的介电系数的方法与系统。此方法包含用椭圆仪测量介电常数的电子组成，用红外光谱仪测量介电常数的离子组成，用微波光谱仪测量整体介电常数，推导出介电常数的偶极组成。此测量方法为非接触式。该系统包含：一椭圆仪用来测量该低介电常数薄膜的该介电常数的一电子组成和产生一测量电子组成；一红外光谱仪用来测量该低介电常数薄膜的该介电常数的一离子组成和产生一测量离子组成；一微波光谱仪用来测量该低介电常数薄膜的一整体介电常数和产生一测量的整体介电常数；一装置利用该测量的电子组成、该测量的离子组成和该测量的整体介电常数用来推导该介电常数的一偶极组成。
制程中测量介电常数薄膜性质

[实用新型]一种便携式液体介电常数测量笔-CN201520141499.8有效
发明人：千承辉;王天资;宋继斌;秦佳男 -专利权人：吉林大学
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本实用新型属于电子测量技术领域，特别涉及一种便携式液体介电常数测量笔。包括：壳体、液体介电常数测量探头、介电常数分析电路及显示电路；壳体为铝制壳体，用于连接、支撑、保护与屏蔽；液体介电常数测量探头安装在所述壳体顶端，具有同轴线结构，可探入液体内部用于介电常数测量；介电常数分析电路安装在所述壳体内部，与液体介电常数测量探头的输出端连接可用于接收和分析所述液体介电常数测量探头的测量数据；显示电路与所述介电常数分析电路连接，用于显示所述介电常数分析电路输出的介电常数数值。本实用新型具有便携，成本低，准确度高等优点，便于现场快速检测液体介电常数。
一种便携式液体介电常数测量

[发明专利]一种介电常数感测装置、系统及方法-CN202010354582.9有效
发明人：曹新亮;董军堂;杨红霞;任新成;杨鹏举;赵娜;骆守宇 -专利权人：延安大学
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种介电常数感测装置、系统及方法。介电常数感测系统包括介电常数感测装置、调理部分和数据处理部分。先将被测物质放入介电常数感测装置中，用于将被测物质的介电常数转换为电容值，调理部分对电容值做放大和去噪处理后，将电容值转换为频率值。数据处理部分对频率值执行测量校准：以分段线性化的数据处理方法建立频率与介电常数的对应关系，通过频率到介电常数的转换实现被测物质介电常数的测量，得到经测量校准后的被测物质的介电常数。本发明能够实现纯的或含杂质的固体、液体及粉末颗粒的介电常数的快速准确测量。
一种介电常数装置系统方法

[发明专利]低介电常数材料的测量方法-CN200610156705.8无效
发明人：沈千万 -专利权人：东部电子股份有限公司
申请日： 2006-12-28 - 公布日： 2007-07-04 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：公开了一种低介电常数材料的测量方法。在用于除去蚀刻处理后的光致抗蚀剂膜的灰化处理中，因使用氧等离子，低介电常数材料表面受损并变成氧化物。为测量受损的低介电常数材料的厚度，利用光学测量系统初步测量形成于衬底上的低介电常数材料的厚度；利用等离子的灰化工艺对形成低介电常数材料的衬底处理，以使低介电常数材料的表面变成氧化物。灰化处理后，利用无机溶液或有机清洗溶液湿清洗衬底，以除去低介电常数材料中变成氧化物的区域。然后，利用光学测量系统再次测量低介电常数材料的厚度，比较初步测量和再次测量值，以计算氧化物的厚度。由于使用设置在半导体制造装置内的光学测量系统，所以可简单快速地测量受损的低介电常数材料的厚度。
介电常数材料测量方法

[发明专利]介电常数测量装置及其系统-CN201810094957.5在审
发明人：杜炳锐;白大为;肖都;吕琴音;彭炎;张鹏辉 -专利权人：中国地质科学院地球物理地球化学勘查研究所
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明涉及介电常数测量器械技术领域，尤其涉及一种介电常数测量装置及其系统。该介电常数测量装置包括测量区、水合物制备区和支撑区；测量区、水合物制备区和支撑区沿高度方向从上至下依次连接；测量区用于承载测量仪器，且测量区的高度能够调节；水合物制备区用于固定待检测物；支撑区的高度能够调节；测量区和支撑区采用的材质的介电常数为1.0‑1.1。该介电常数测量系统包括测量仪器、待检测物和介电常数测量装置；测量仪器放置在测量区的测量顶盖上；待检测物固定设置在水合物制备区。本发明的目的在于提供介电常数测量装置及其系统，以解决现有技术中存在的测量仪器对待检测物反射信号识别不清晰、易受外界信号干扰的技术问题。
介电常数测量装置及其系统

[发明专利]一种基于计算电容原理的相对介电常数测试方法-CN201410338433.8有效
发明人：李东升;于航;王梅宝;胡佳成;王一尧;刘佳楠 -专利权人：中国计量学院
申请日： 2014-07-16 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于计算电容原理的相对介电常数测试方法。分别将电容式介电常数传感器放置于空气及被测介质中并测得两组相对电极之间的电容值，通过公式计算出被测介质的介电常数。本发明给出了基于计算电容原理介电常数测量方法，传感器内外径、测量电极长度、空气以及绝缘壳的相对介电常数固定的情况下，被测介质的相对介电常数可以直接测得。并且测量过程中的变量较少，与传统电容式介电常数测量相比不涉及到装配误差，且加工误差影响微小，精度有望提高，可适于多种条件下介电常数的测量。
一种基于计算电容原理相对介电常数测试方法

[发明专利]箔条空气混合介电常数测量方法、系统、设备、介质及终端-CN202111156211.0有效
发明人：卢雅雯;彭傲;左炎春;郭立新;刘伟;余乐;方争光;李金本;佘俊杰 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明属于材料介电常数的微波测量分析技术领域，公开了一种箔条空气混合介电常数测量方法，所述箔条空气混合介电常数测量系统包括：设备连接模块、设备校准模块、目标测量模块、数据采集模块以及图像处理模块。本发明依据矩形波导法测量物质介电常数的测量设备，选用不同填充率对箔条空气的混合介电常数进行测量；利用NRW传输/反射法的散射方程推导出待测样品的介电常数，在矩形波导内填充不同的箔条数控制填充率，对箔条空气的混合介电常数进行测量，解决实验中的校准问题，弥补实验流程的空白；获取箔条空气混合介电常数的具体数据，对于后续箔条干扰物的传播特性研究提供最真实有效的数据，为后续新型材料的研究奠定数据基础。
箔条空气混合介电常数测量方法系统设备介质终端

[发明专利]一种实时修正介电常数的电容式液位计及其液位测量方法-CN201310462717.3有效
发明人：蔡睿;周磊;耿卫国;管理;朱子环;段文浩;周文怡;宋绪勇;方俊雅;田源;李琪琪;贾洁;蒋宇 -专利权人：北京航天试验技术研究所;北京航天峰光电子技术有限责任公司
申请日： 2013-10-07 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： G01F23/26 文献下载
摘要：本发明公开一种实时修正介电常数的电容液位计及其液位测量方法，该液位计包括外管、内管、两个隔离环和控制器；其中外管由液位外管及通过隔离环分别同轴连接在液位外管两端的气相外管和液相外管组成；由此形成三个电容传感器，位于底端的液相介电常数传感器，用来实时测量液相介质的介电常数；位于顶端的气相介电常数传感器，用来实时测量气相介质的介电常数。在实时液位测量过程中，在底端的液相介电常数传感器可以换算出此时刻被测液体的介电常数；在顶端的气相介电常数传感器可以换算出此时刻液体上方气体的介电常数。再通过气相液相的真实介电常数计算能够得到真实的液位，排除了因为温度压力等环境影响改变了介电常数，对液位测量的影响。
一种实时修正介电常数电容式液位计及其测量方法

[实用新型]一种实时修正介电常数的电容式液位计-CN201320615695.5有效
发明人：蔡睿;周磊;耿卫国;管理;朱子环;段文浩;周文怡;宋绪勇;方俊雅;田源;李琪琪;贾洁;蒋宇 -专利权人：北京航天试验技术研究所;北京航天峰光电子技术有限责任公司
申请日： 2013-10-07 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： G01F23/26 文献下载
摘要：本实用新型公开一种实时修正介电常数的电容液位计，该液位计包括外管、内管、两个隔离环和控制器；其中外管由液位外管及通过隔离环分别同轴连接在液位外管两端的气相外管和液相外管组成；由此形成三个电容传感器，位于底端的液相介电常数传感器，用来实时测量液相介质的介电常数；位于顶端的气相介电常数传感器，用来实时测量气相介质的介电常数。在实时液位测量过程中，在底端的液相介电常数传感器可以换算出此时刻被测液体的介电常数；在顶端的气相介电常数传感器可以换算出此时刻液体上方气体的介电常数。再通过气相液相的真实介电常数计算能够得到真实的液位，排除因为温度压力等环境影响改变介电常数，对液位测量的影响。
一种实时修正介电常数电容式液位计

[发明专利]一种测量大损耗材料介电常数的方法-CN201810710381.0有效
发明人：刘宝江;宋开山;董航;刘鑫 -专利权人：中国科学院东北地理与农业生态研究所
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：一种测量大损耗材料介电常数的方法，涉及大损耗材料介电常数的测量领域，为了解决采用圆柱形谐振腔微扰法只能对低介电常数和低损耗材料进行测量的问题。该方法包括：配制定标管，配制待测样品管，测量待测样品管内溶液的温度，升序测量，降序测量，修正环境温度的影响，确定谐振腔定标方程，计算待测盐溶液的介电常数。该发明适用于测量大损耗材料的介电常数。
一种测量损耗材料介电常数方法

[实用新型]介电常数测量装置及其系统-CN201820170381.1有效
发明人：杜炳锐;白大为;肖都;吕琴音;彭炎;张鹏辉 -专利权人：中国地质科学院地球物理地球化学勘查研究所
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及介电常数测量器械技术领域，尤其涉及一种介电常数测量装置及其系统。该介电常数测量装置包括测量区、水合物制备区和支撑区；测量区、水合物制备区和支撑区沿高度方向从上至下依次连接；测量区用于承载测量仪器，且测量区的高度能够调节；水合物制备区用于固定待检测物；支撑区的高度能够调节；测量区和支撑区采用的材质的介电常数为1.0‑1.1。该介电常数测量系统包括测量仪器、待检测物和介电常数测量装置；测量仪器放置在测量区的测量顶盖上；待检测物固定设置在水合物制备区。本实用新型的目的在于提供介电常数测量装置及其系统，以解决现有技术中存在的测量仪器对待检测物反射信号识别不清晰、易受外界信号干扰的技术问题。
介电常数测量测量区水合物测量仪器支撑区制备装置及其系统待检测物本实用新型器械技术领域外界信号干扰从上至下反射信号固定设置介电常数依次连接检测物顶盖测量承载清晰

[发明专利]一种玻璃微珠介电常数的测量方法-CN202210679968.6在审
发明人：张敏刚;穆春怀;曹翔宇;申鹏展 -专利权人：太原科技大学;山西海诺科技股份有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开的一种玻璃微珠介电常数的测量方法，包括步骤一：制备均匀混合玻璃微珠的聚氨酯固体；步骤二：将步骤一制得的聚氨酯基体分别打磨成直径1㎝厚度为0.5‑1㎜的正方形薄片，将制得的聚氨酯薄片喷金；步骤三：使用阻抗仪夹持(安捷伦4294A)喷金部位测量材料的电容值，测量出不含玻璃微珠的纯聚氨酯的介电常数以及玻璃微珠和聚氨酯两相复合材料的介电常数；步骤四：计算聚氨酯和玻璃微珠的两相复合材料的介电常数；步骤五：计算玻璃微珠的介电常数。本发明属于玻璃微珠技术领域，具体是一种通过制备聚氨酯与玻璃微珠复合物测量出复合物的介电常数、不含玻璃微珠聚氨酯的介电常数，最后求得玻璃微珠的介电常数的玻璃微珠介电常数的测量方法。
一种玻璃介电常数测量方法

[发明专利]应用晶圆级封装的再布线层材料的复介电常数提取方法-CN202211202869.5在审
发明人：吴道伟;郑卓悦;潘鹏辉;王艳玲;张雨婷;唐磊;杨赵迎 -专利权人：西安微电子技术研究所
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用晶圆级封装的再布线层材料的复介电常数提取方法，包括获取传输线的传输系数；建立基于微带线尺寸的介电常数与等效介电常数的模型，获取等效介电常数的理论值；根据搜索算法，在粗粒度下，由等效介电常数的理论值计算材料的介电常数范围；设置搜索步进，对材料的介电常数范围内的介电常数值进行搜索计算，得到频变的等效介电常数；根据传输线的传输系数，计算材料的损耗角正切值；计算得到复介电常数。利用晶圆级封装中传统微带线的结构，对再布线层材料的复介电常数进行提取，采用搜索算法，计算材料的介电常数范围，得到每个频率点的等效介电常数，扩大了测量的频率，降低了测量成本，提高了测试速度。
应用晶圆级封装布线材料介电常数提取方法

[发明专利]一种近场微波显微镜介电常数测量标定的软接触实现方法-CN202010095658.0有效
发明人：彭斌;黄和;曾慧中;张万里;鞠量 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-02-17 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：一种近场微波显微镜介电常数测量标定的软接触实现方法，属于近场微波显微镜的测试领域。采用至少3个已知介电常数的样品进行软接触测试，得到各样品在软接触时的谐振频率，然后通过拟合的方式得到常数A与f0，完成近场微波显微镜介电常数测量时的标定。本发明方法操作简单，误差较小，有效减小了针尖样品距离对介电常数测量的影响，很好地实现了利用近场微波显微镜测量介电常数时的标定。
一种近场微波显微镜介电常数测量标定接触实现方法

[发明专利]补偿介电常数的电容式气固两相流固相体积浓度测量法-CN201511020859.X有效
发明人：王玉涛;邵富群;杨钢;陆增喜 -专利权人：东北大学
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：一种补偿介电常数的电容式气固两相流固相体积浓度测量法，属于多相流检测领域。采用两个电容传感器对固相体积浓度进行测量，由第一电容传感器提供固相介电常数补偿数据，第二电容传感器利用第一电容传感器提供的固相介电常数补偿数据校正因介电常数变化引起的固相体积浓度测量误差，进而由第二电容传感器输出经补偿后的固相体积浓度第一电容传感器和第二电容传感器内均设置有具有相同介电常数的固相介质。本发明在固相介电常数变化情况下，对固相介电常数变化进行补偿，减少或消除固相介电常数变化对固相体积浓度的测量引起的误差，进而在固相介电常数变化时提高固相体积浓度的测量精度。
补偿介电常数电容式气固两相流固相体积浓度测量

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