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[实用新型]一种微机械陀螺测量单元-CN201920663484.6有效
发明人：袁丁;沈晓卫;伍宗伟;张峰干 -专利权人：中国人民解放军火箭军工程大学
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微机械陀螺测量单元，包括设置第一组微机械陀螺模块、第二组微机械陀螺模块、微控制器和电源模块；所述第一组微机械陀螺模块包括设置在载体安装板一侧上的第一微机械陀螺、第二微机械陀螺、第三微机械陀螺和第四微机械陀螺，所述第二组微机械陀螺模块包括设置在载体安装板另一侧上的第五微机械陀螺、第六微机械陀螺、第七微机械陀螺和第八微机械陀螺。本实用新型结构简单，有效地减少MEMS微机械陀螺受温度、加速度等因素的影响，提高了微机械陀螺测量单元的输出精度，且单个微机械陀螺成本较低。
微机械陀螺本实用新型测量单元载体安装有效地减少电源模块微控制器输出

[实用新型]一种低成本微惯性测量阵列-CN201920663490.1有效
发明人：袁丁;沈晓卫;伍宗伟;张峰干 -专利权人：中国人民解放军火箭军工程大学
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低成本微惯性测量阵列，包括第一微机械陀螺测量单元、第二微机械陀螺测量单元和第三微机械陀螺测量单元，以及数据同步采集模块、微处理器和电源模块，任一个微机械陀螺测量单元包括安装板、安装在安装板两侧上的微机械陀螺单元，所述微机械陀螺单元包括第一微机械陀螺、第二微机械陀螺、第三微机械陀螺和第四微机械陀螺以及第五微机械陀螺、第六微机械陀螺、第七微机械陀螺和第八微机械陀螺。本实用新型结构简单，采用多个微机械陀螺进行阵列，有效地减少MEMS微机械陀螺受温度、加速度等因素的影响，提高了微惯性测量阵列的输出精度，且单个微机械陀螺成本较低。
微机械陀螺测量单元本实用新型测量阵列微惯性数据同步采集安装板两侧有效地减少电源模块微处理器安装板低成本输出

[发明专利]一种三轴MEMS陀螺集成微系统及其制造方法-CN202211188651.9在审
发明人：李光北;冯长磊;王成杰;卢峰;王炳雅;苏浩淼;仝帅琦;程东源;程长征 -专利权人：北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本申请涉及微系统领域，具体公开了一种三轴MEMS陀螺集成微系统，包括：三轴MEMS陀螺芯片，包括陀螺机械结构；转接板芯片，与陀螺机械结构键合连接，具有转接板凹槽，与陀螺机械结构相对设置，以形成陀螺机械结构的陀螺保护腔体本申请还公开一种三轴MEMS陀螺集成微系统，包括转接板芯片和三轴MEMS陀螺芯片，三轴MEMS陀螺芯片包括陀螺盖帽，陀螺盖帽面向转接板芯片设置，陀螺盖帽的靠近陀螺机械结构的一侧具有盖帽凹槽，盖帽凹槽与陀螺机械结构相对设置，以形成陀螺机械结构的陀螺保护腔体。
一种 mems 陀螺集成系统及其制造方法

[实用新型]室内陀螺康复健身器-CN201220603755.7有效
发明人：郭甦;王米君;严春潮;袁成香;严翀;李姗;陈曹阳;张霖瑶 -专利权人：湖北省中山医院
申请日： 2012-11-15 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： A63B26/00 文献下载
摘要：一种室内陀螺康复健身器；属于医疗康复领域。包括机械陀螺；中心轴装置；从中心轴装置外套筒上伸出的三条机械陀螺支臂；底座。机械陀螺支臂末端连接机械陀螺支臂架，机械陀螺支臂架上安装机械陀螺。机械陀螺及中心轴装置使用向心球轴承和推力球轴承及相应零部件合理配置；配以专用鞭击器；康复鍛练时，机械陀螺在鞭击下除自身高速旋转外，还围绕中心轴装置作一定角度的公转。不占用公共空地，将古老的陀螺运动引入康复治疗室和进入现代家庭。
室内陀螺康复健身器

[发明专利]一种载体角速度检测用微惯性测量单元的布设方法-CN201910387114.9有效
发明人：袁丁;沈晓卫;伍宗伟;张峰干 -专利权人：中国人民解放军火箭军工程大学
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： G01C21/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种载体角速度检测用微惯性测量单元的布设方法，包括以下步骤：一、单个微机械陀螺的检测轴、振动轴和敏感轴的确定；二、微机械陀螺单元的安装布设；三、微机械陀螺阵列的安装布设。本发明步骤简单，实现方便，设计合理，通过多个微机械陀螺单元进行阵列，且每个微机械陀螺单元均布设八个微机械陀螺，有效地减少MEMS微机械陀螺受温度、加速度等因素的影响，提高了微机械陀螺测量单元的输出精度，提高获取载体角速度的精度，且单个微机械陀螺成本较低。
微机械陀螺布设微惯性测量单元角速度检测有效地减少测量单元检测轴敏感轴振动轴输出

[发明专利]基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法-CN201510334592.5有效
发明人：曹慧亮;刘俊;石云波;申冲;秦丽;唐军;李杰;张晓明;马宗敏;鲍爱达 -专利权人：中北大学
申请日： 2015-06-16 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G01C19/5776 文献下载
摘要：本发明涉及微机械陀螺仪，具体是一种基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法。本发明解决了微机械陀螺仪无法兼顾机械灵敏度和带宽的问题。基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法，该方法是采用如下步骤实现的1)以扫频的方式确定微机械陀螺仪驱动模态和检测模态的谐振角频率；2)根据微机械陀螺仪驱动模态和检测模态扫频测试的结果，计算得出微机械陀螺仪驱动模态和检测模态的品质因数；3)在微机械陀螺仪的检测回路中增设偶极子补偿控制器；所述偶极子补偿控制器包括零极点发生环节、比例环节。本发明适用于微机械陀螺仪。
基于偶极子补偿微机陀螺仪带宽拓展方法

[发明专利]微惯导的零偏滞回效应补偿模型的构建方法和补偿方法-CN202310308989.1在审
发明人：郭光磊 -专利权人：航天星云（北京）科技有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种微惯导的零偏滞回效应补偿模型的构建方法和补偿方法，涉及微机械陀螺技术领域，所述构建方法包括：获取微惯导通电后微惯导内部的微机械陀螺仪的升温温变率；控制微机械陀螺仪的环境温度按照升温温变率从第一预设温度升至第二预设温度，并采集升温阶段微机械陀螺仪的输出信号和微机械陀螺仪的温度；根据升温阶段的所有微机械陀螺仪的输出信号和微机械陀螺仪的温度，生成微机械陀螺仪升温阶段的零偏补偿模型，以供微机械陀螺仪在实际工作过程中，能调用该零偏补偿模型进行有效的温度补偿，从而有效规避微机械陀螺仪的零偏滞回效应，提高陀螺的零偏稳定性，进而提高微惯导的姿态及导航精度。
微惯导零偏滞回效应补偿模型构建方法

[发明专利]用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法及装置-CN201410604008.9有效
发明人：吴学忠;陈志华;肖定邦;侯占强;何汉辉;李文印;王兴华 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2014-10-31 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： G01C19/5776 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：根据微机械陀螺输出的电压信号生成与微机械陀螺的驱动模态固有频率相同且与驱动微机械陀螺的交流驱动电压同相的低频信号，将所述低频信号作为直流偏置电压加载到并联在微机械陀螺的驱动极板间的并联电容上，通过直流偏置电压和交流驱动电压、驱动高频正弦载波共同驱动微机械陀螺；装置包括低频信号获取电路和并联电容，并联电容并联在微机械陀螺的驱动极板间。本发明能够克服微机械陀螺加工精度误差引起的驱动电容不匹配而引起的驱动不稳定、提升微机械陀螺的检测精度和可靠性。
用于微机陀螺驱动稳定性提升方法装置

[发明专利]一种利用多个微机械陀螺仪提升垂直度测量精度的系统及方法-CN202010334445.9在审
发明人：邓屹;李海瑜;马世业 -专利权人：中电投电力工程有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G01C15/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用多个微机械陀螺仪提升垂直度测量精度的系统及方法，属于海上风电设备检测技术领域。包括待测物、测试用微机械陀螺仪、参考台面、参考微机械陀螺仪和计算机；待测物表面设有测试用微机械陀螺仪；待测物附近位置设有能够保持稳定水平的参考台面，参考台面上设有参考微机械陀螺仪；测试用微机械陀螺仪和参考微机械陀螺仪与计算机连接本发明提供了一种基于降低零点漂移噪声以提升微机械陀螺仪测量精度的方法，通过将在实际待测表面工作的测试微机械陀螺仪测量数据，与1个或多个处在同样工作环境条件下且固定于静止水平面的微机械陀螺仪数据进行计算和处理，降低微机械陀螺仪的零点漂移噪声，从而提高垂直度测量精度。
一种利用微机陀螺仪提升垂直测量精度系统方法

[发明专利]一种基于ADRC的微机械陀螺幅值控制系统-CN202011625441.2在审
发明人：贠卫国;张梦豪 -专利权人：西安建筑科技大学
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：一种基于ADRC的微机械陀螺幅值控制系统，包括微机械陀螺，微机械陀螺分别通过频率控制回路和幅值控制回路控制，所述频率控制回路中使用锁相环为微机械陀螺提供正弦驱动信号，使陀螺做简谐振动；所述幅值控制回路中使用自抗扰控制来稳定微机械陀螺输出信号的幅值本发明提高微机械陀螺输出信号的幅值稳定性以及稳定性。
一种基于 adrc 微机陀螺控制系统

[发明专利]一种四自由度微机械陀螺阵列-CN201310024886.9有效
发明人：王伟;吕晓永;李欣;韩莉莉;宋鸿儒;杨博;赵清;李强;范岳;朱玮 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2013-01-20 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G01C19/5733 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于四自由度微机械陀螺的阵列结构。本发明由四自由度微机械陀螺排列组成，驱动模态设置在四自由度微机械陀螺的结构内部，敏感模态设置在四自由度微机械陀螺的外围，敏感质量块设置在所有陀螺单元的外部。四自由度微机械陀螺共用一个敏感质量块。通过这种新型的陀螺阵列的形式，将若干4-DOF陀螺单元有效地组合在一起，使得陀螺阵列不仅拥有良好的系统稳定性，而且可以有效地提高陀螺阵列的灵敏度。
一种自由度微机陀螺阵列

[发明专利]一种提升硅微机械陀螺仪带宽全温性能的方法-CN201510334584.0有效
发明人：曹慧亮;刘俊;石云波;申冲;秦丽;唐军;李杰;张晓明;马宗敏;鲍爱达 -专利权人：中北大学
申请日： 2015-06-16 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： G01C19/5776 文献下载
摘要：本发明涉及微机械陀螺仪，具体是一种提升硅微机械陀螺仪带宽全温性能的方法。本发明解决了微机械陀螺仪无法兼顾机械灵敏度和带宽、带宽全温性能差的问题。一种提升硅微机械陀螺仪带宽全温性能的方法，该方法是采用如下步骤实现的1)以扫频的方式确定微机械陀螺仪驱动模态和检测模态的谐振角频率；2)根据微机械陀螺仪驱动模态和检测模态扫频测试的结果，计算得出微机械陀螺仪驱动模态和检测模态的品质因数；3)在微机械陀螺仪的检测回路中增设偶极子全温跟踪补偿控制器；所述偶极子全温跟踪补偿控制器包括温度补偿环节、零极点发生环节、比例环节。本发明适用于微机械陀螺仪。
一种提升微机陀螺仪带宽性能方法

[发明专利]一种面向闭环检测的微陀螺批量动态测试方法-CN201510725131.0在审
发明人：刘俊;曹慧亮;石云波;申冲;唐军;马宗敏 -专利权人：中北大学
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明涉及硅微机械陀螺仪的动态标定技术，具体是一种面向闭环检测的微陀螺批量动态测试方法。本发明解决了现有硅微机械陀螺仪动态标定方法标定结果不准确、标定过程费时费力、标定效率低下的问题。一种面向闭环检测的微陀螺批量动态测试方法，该方法是采用如下步骤实现的：1)各个硅微机械陀螺仪均采用单独的驱动闭环回路；2)各个硅微机械陀螺仪共同配备一个外接信号源；各个硅微机械陀螺仪均配备单独的闭环式哥氏力等效信号发生装置；3)各个硅微机械陀螺仪均采用单独的检测闭环回路；4)各个硅微机械陀螺仪均配备单独的采集设备。本发明适用于硅微机械陀螺仪的动态标定。
一种面向闭环检测陀螺批量动态测试方法

[发明专利]一种面向开环检测的微陀螺批量动态测试方法-CN201510727509.0有效
发明人：刘俊;曹慧亮;石云波;申冲;唐军;马宗敏 -专利权人：中北大学
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明涉及硅微机械陀螺仪的动态标定技术，具体是一种面向开环检测的微陀螺批量动态测试方法。本发明解决了现有硅微机械陀螺仪动态标定方法标定结果不准确、标定过程费时费力、标定效率低下的问题。一种面向开环检测的微陀螺批量动态测试方法，该方法是采用如下步骤实现的：1)各个硅微机械陀螺仪均采用单独的驱动闭环回路；2)各个硅微机械陀螺仪共同配备一个外接信号源；各个硅微机械陀螺仪均配备单独的开环式哥氏力等效信号发生装置；3)各个硅微机械陀螺仪均采用单独的检测开环回路；4)各个硅微机械陀螺仪均配备单独的采集设备。本发明适用于硅微机械陀螺仪的动态标定。 1
硅微机械陀螺仪动态标定动态测试开环检测微陀螺配备外接信号源闭环回路标定过程标定结果采集设备等效信号发生装置开环回路哥氏力开环式标定费力驱动检测

[实用新型]振动式微机械陀螺-CN202120487579.4有效
发明人：李桂新 -专利权人：无锡微泰传感封测技术有限公司
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G01C19/5783 文献下载
摘要：本实用新型属于微机械陀螺技术领域，尤其为振动式微机械陀螺，包括机械陀螺本体，所述机械陀螺本体的顶部活动连防护角，所述防护角的顶部开设有卡槽，所述卡槽的内壁活动连接有卡块，所述卡块的顶部固定连接有防尘盖，所述机械陀螺本体的底部活动连接有连接垫，所述连接垫的底部活动连接有加固套杆，所述加固套杆的外壁活动连接有加固套管，所述加固套管的内壁活动连接有第一弹簧。该振动式微机械陀螺，能够达到缓冲效果好的目的，当生产完成的机械陀螺本体在进行集中运输时，途中遇到颠簸或者碰撞时，能够及时对冲击力进行缓冲，对较为脆弱的机械陀螺本体进行防护，从而避免机械陀螺本体损毁，减少了不必要的损失
振动式微机械陀螺

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