专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]晶圆缺陷目检装置-CN201020130281.X有效
  • 蔡金玉;王承惠;苏旸;俞洁妮 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2010-03-12 - 2010-12-15 - G01N21/892
  • 本实用新型公开了一种晶圆缺陷目检装置,其包括宏观目检机构和微观目检机构,所述晶圆通过传送机构分别送到宏观目检机构和微观目检机构进行检查,其特征在于,所述宏观目检机构的平台上设有用于检测晶圆的微观结构的光学元件本实用新型晶圆缺陷目检装置,通过设置在宏观目检机构的平台上的光学元件,检测人员可以观察到晶圆的环状缺陷、圈状缺陷以及边缘缺陷,从而弥补了现有的晶圆缺陷目检装置的微观目检机构无法检测上述缺陷的不足,因而,
  • 缺陷装置

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