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[发明专利]气体导入构造、热处理装置以及气体供给方法-CN202010561531.3在审
发明人：菱屋晋吾;孙成德;北村昌幸;小川悟 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制膜沉积于气体供给管的内部并且能够均匀地供给气体的气体导入构造、热处理装置以及气体供给方法。本公开的一形态的气体导入构造是向纵长的处理容器内供给处理气体的气体导入构造，所述气体导入构造具有处理气体供给管，所述处理气体供给管在所述处理容器内沿着该处理容器的长度方向延伸，并且具有沿着该长度方向形成的多个气体喷出孔，从所述处理气体供给管的一端朝向另一端向所述处理气体供给管导入处理气体，向所述处理气体供给管的比所述一端靠近所述另一端这一侧供给稀释气体。
气体导入构造热处理装置以及供给方法

[发明专利]燃料电池隔离器-CN200580041750.2有效
发明人：乾文彦;佐野诚治;梶原隆;宇佐美祥;上野真;八神裕一;中村德彦;佐藤博道;大田佳史 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2005-12-01 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： H01M8/02 文献下载
摘要：该隔离器包括反应气体供给歧管，反应气体供给到该反应气体供给歧管。面对第一电极板包括形成在电池反应区域的端部处的多个反应气体供给孔。中间板包括多个反应气体供给路径槽，所述反应气体供给路径槽形成反应气体供给路径，其中，每个反应气体供给路径的一端连接到反应气体供给路径，另一端连接到多个反应气体供给孔中的至少一个。
燃料电池隔离器

[发明专利]成膜方法-CN201210576159.9有效
发明人：古屋治彦;小川淳;上西雅彦;伊势昌之;榎美贵 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜方法，其是在成膜装置中进行的成膜方法，该成膜装置包括用于载置多个晶圆的旋转台；在旋转台的上方划分的第一反应气体供给区域、第二反应气体供给区域；以及用于分离第一反应气体供给区域和第二反应气体供给区域的分离区域，该成膜方法包括如下步骤：不向第二反应气体供给区域供给反应气体，向第一反应气体供给区域供给第一反应气体，通过旋转台的旋转使晶圆暴露于第一反应气体，从而使该气体吸附于晶圆表面；接着该步骤，不向第一反应气体供给区域供给反应气体，向第二反应气体供给区域供给第二反应气体，通过旋转台的旋转使晶圆暴露于第二反应气体，从而使吸附于晶圆表面的第一反应气体与第二反应气体反应。
方法

[发明专利]基板处理装置、半导体器件的制造方法及基板处理方法-CN202010405286.7在审
发明人：中田高行;野上孝志;谷山智志;上村大义 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2016-01-20 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：具备保持基板的基板保持体、位于基板保持体的下方的隔热部、向基板保持体移载基板的移载室、向移载室内供给气体的气体供给机构，气体供给机构具有向移载室内的基板保持体所在的上部区域供给气体且相对于基板形成水平方向的气体流动的第一气体供给机构、和向移载室内的隔热部所在的下部区域供给气体且相对于隔热部形成沿垂直方向向下的气体流动的第二气体供给机构，第一气体供给机构及第二气体供给机构设置于移载室的一侧面，且第二气体供给机构设置于第一气体供给机构的下方
处理装置半导体器件制造方法

[发明专利]基板处理装置-CN201680004697.7有效
发明人：中田高行;野上孝志;谷山智志;上村大义 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2016-01-20 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：具备保持基板的基板保持体、位于基板保持体的下方的隔热部、向基板保持体移载基板的移载室、向移载室内供给气体的气体供给机构，气体供给机构具有向移载室内的基板保持体所在的上部区域供给气体且相对于基板形成水平方向的气体流动的第一气体供给机构、和向移载室内的隔热部所在的下部区域供给气体且相对于隔热部形成沿垂直方向向下的气体流动的第二气体供给机构，第一气体供给机构及第二气体供给机构设置于移载室的一侧面，且第二气体供给机构设置于第一气体供给机构的下方
处理装置

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201780053402.X有效
发明人：松井则政 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：为了实现该目的，基板处理装置具备：处理槽，收容磷酸水溶液，且对已浸渍于该磷酸水溶液中的基板施加蚀刻处理；水蒸气供给机构，供给水蒸气；非活性气体供给机构，供给非活性气体；混合机构，从水蒸气供给机构被供给水蒸气，并且从非活性气体供给机构被供给非活性气体，且混合所供给来的水蒸气和非活性气体以生成混合气体；气泡产生器，从混合机构被供给混合气体，并且将所供给来的混合气体吹出至磷酸水溶液中以产生混合气体的气泡；以及流量调整机构，调整水蒸气供给机构所供给的水蒸气的流量和非活性气体供给机构所供给的非活性气体的流量，以使混合气体的湿度成为目标湿度。
处理装置方法

[发明专利]由含氢气体制备高纯氢气的装置及方法-CN201810564671.9有效
发明人：刘聪敏;李轩;何广利;杨康;李先明 -专利权人：国家能源投资集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究所
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：本发明涉及高纯氢气制备领域，具体涉及一种由含氢气体制备高纯氢气的装置及方法。该装置包括：含氢气体供给单元(1)、变压吸附单元(2)、气体缓冲单元(3)、充气单元(4)、氢气吸收单元(5)、用于将充气单元(4)中未被吸收的气体输送至含氢气体供给单元的气体回流管线(6)。该方法包括：变压吸附单元吸附、充气单元4充气、氢气吸收单元吸收、解析产品气、其中，所述含氢气体含有所述未被吸附的气体。本发明提供的装置和方法具有以下优点：(1)产品气的纯度高，可以得到纯度为99.999％的氢气；(2)工艺流程简单，操作方便，无需复杂的预处理，可以处理多种复杂的气源。
氢气体制高纯装置方法

[实用新型]悬浮熔炼炉-CN201120034211.9有效
发明人： J·西皮莱;M·拉赫蒂宁;P·比约克伦德;K·佩尔托涅米;T·阿霍凯宁;L·P·佩索宁;K·埃克隆德 -专利权人：奥图泰有限公司
申请日： 2010-10-19 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： F27B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种悬浮熔炼炉，包括反应炉身、上升烟道、下炉和精矿燃烧器，其中该精矿燃烧器包括：微细固体物质供给装置，其包括进料管道，其中该进料管道的口通到反应炉身中；分散装置，其同心设置在进料管道内部，并且在反应炉身内部从进料管道的口延伸一段距离，并且其包括分散气体孔；和第一气体供给装置，其通过第一环形排放口通到反应炉身中，并同心地环绕进料管道；其特征在于：精矿燃烧器包括第二气体供给装置，其包括第二环形排放口，该第二环形排放口与第一环形排放口同心，并通到悬浮熔炼炉的反应炉身中，用于供应第二气体进入反应炉身中。该悬浮熔炼炉可用于解决悬浮熔炼工艺的多种问题，和/或加强悬浮熔炼工艺。
悬浮熔炼炉

[实用新型]一种注射剂配制工艺的新型除氧装置-CN202121092521.6有效
发明人：马海涛;谷金秒;刘云涛;黄颖 -专利权人：北京民康百草医药科技有限公司
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： B01D19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种注射剂配制工艺的新型除氧装置，包括配制罐，与配制罐连接的液体循环管，设置在液体循环管上的涡轮泵以及安装在配制罐内的搅拌机构，所述液体循环管上设有除氧机构，除氧机构包括与液体循环管连接的除氧箱，设置在除氧箱内的钛棒，与除氧箱一侧密封连接的惰性气体供给管，除氧箱的两端与液体循环管连通。该机构使用时，涡轮泵启动，配制罐内的注射用水从液体循环管进入除氧箱并被除氧箱内的钛棒过滤，钛棒过滤的过程中，惰性气体供给管朝除氧箱供给惰性气体，惰性气体与注射用水充分接触并将注射用水中的氧气带出，使注射用水快速去氧，满足了生产工艺的要求，耗时短，除氧效果好，注射用水低含氧量可有效保证药品的质量。
一种注射配制工艺新型装置

[发明专利]燃料电池-CN200780004028.0无效
发明人：久米英明 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2007-02-01 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： H01M8/24 文献下载
摘要：一种燃料电池，至少在正常发电时燃料电池不将供给至其阳极(22)的燃料气体排出到外部，包括堆叠在阳极(22)上的由导电性的多孔材料制的、并有用于将燃料气体供给至阳极(22)的燃料气体流动通道的气体扩散层(15)，绕燃料气体流动通道体(15)布置的密封件(16)，用于防止燃料气体泄漏到单体电池(10)的外部；用于供给燃料气体的气体供给部分(52)；和第一燃料气体供给流动通道，第一燃料气体供给流动通道由燃料气体流动通道体(15)的外周的至少一部分与密封件(16)之间的间隙形成，从气体供给部分(52)供给的燃料气体通过第一燃料气体供给流动通道供给至气体扩散层(15)。
燃料电池

[发明专利]硫化学发光检测器-CN201980075518.2在审
发明人：山根雅史;中野茂畅 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本发明的硫化学发光检测器具备：加热炉，具备有第1供给口及第1供给口下游侧的第2供给口的气体流路，及加热气体流路的加热器；氧化还原用气体供给单元，通过第1供给口向气体流路供给氧化剂气体，通过第2供给口供给还原剂气体；反应池，使通过气体流路的样气与臭氧反应；臭氧供给单元，向反应池内供给臭氧；真空泵，连接反应池；光检测器，检测反应池内产生的光；信号接收部，接收使启动动作开始的启动信号；启动功能部，基于信号接收部接收的启动信号控制各部，使真空泵的抽真空动作、加热器的加热动作、氧化还原用气体供给单元的氧化剂气体供给动作、臭氧供给单元的臭氧供给动作、氧化还原用气体供给单元的还原剂气体供给动作依次执行。
硫化发光检测器

[发明专利]从热工艺气体中分离气体污染物的方法-CN95196504.2无效
发明人： S·阿曼;N·布林弗斯 -专利权人： ABB·弗拉克特有限公司
申请日： 1995-11-24 - 公布日： 2002-03-06 - 主分类号： B01D53/81 文献下载
摘要：热工艺气体通过一个接触反应器（10），将一种与气体中气体污染物发生反应的颗粒吸收剂材料加入到工艺气体中，使气体污染物转化成可分离的粉尘。然后工艺气体通过一个除尘器（5）。将除尘器（5）中分离出的大部分粉尘送入混合器（11）进行混合并润湿，随后作为吸收剂材料与新鲜吸收剂一起循环加入到工艺气体中。加入生石灰作为新鲜吸收剂。在混合器中粉尘长时间停留并循环多次，混合器中的生石灰在湿润状态下保持足够长的总停留时间，使生石灰能与供给混合器的水基本上完全反应并生成消石灰。$#!
工艺气体分离污染物方法

[发明专利]燃料电池系统及燃料电池系统的控制方法-CN201711248377.9有效
发明人：今西启之;山中富夫;户井田政史 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01M8/04089 文献下载
摘要：燃料电池系统具备燃料电池、氧化气体供给装置、氧化气体供给管、氧化气体排出管、燃料气体供给管、燃料气体返回管、燃料气体排出阀、及控制装置。控制装置以将燃料气体排出阀关闭的方式执行闭阀控制，在闭阀控制执行后根据从燃料气体排出阀向氧化气体排出管流动的泄漏气体的流量来决定由氧化气体供给装置应向氧化气体供给部供给的稀释气体流量。泄漏气体的流量越多，则应向氧化气体供给部供给的稀释气体流量被决定为越多的流量。
燃料电池系统控制方法

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN201610119871.4有效
发明人：三浦繁博 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-03-03 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：基板处理装置包括：旋转台，其以能够旋转的方式设置于真空容器内，能够载置基板；第1反应气体供给部，其能够向旋转台的表面供给第1反应气体；第2反应气体供给部，其沿着旋转台的周向与第1反应气体供给部分开地设置，能够向旋转台的表面供给与第1反应气体发生反应的第2反应气体；活化气体供给部，其沿着旋转台的周向与第1反应气体供给部以及第2反应气体供给部分开地设置，包括能够向旋转台的表面供给被活化了的含氟气体的喷出部，活化气体供给部包括：配管，其设置于比喷出部靠上游侧的位置，能够向喷出部供给含氟气体；1个或多个含氢气体供给部，其设置于配管，能够向配管的内部供给含氢气体。
处理装置以及方法

[发明专利]太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法以及供给装置-CN201080035130.9有效
发明人：伊藤吉则;高桥康弘 -专利权人：大阳日酸株式会社
申请日： 2010-08-27 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： C01B19/04 文献下载
摘要：本发明的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法具有供给工序，所述供给工序通过对从基本气体供给流路(L1)供给的惰性气体与从原料气体供给流路(L2)供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体，所述基本气体供给流路(L1)与所述原料气体供给流路(L2)上设置有将两者相互连通的旁通流路(L7)，在从所述原料气体供给流路(L2)中导出规定量的所述100％硒化氢气体之后，经由所述旁通流路(L7)，从所述原料气体供给流路(L2)中导出所述惰性气体，来配制出规定浓度的硒化氢混合气体，并且使所述原料气体供给流路(L2)中残留的硒化氢的体积浓度为10％以下。
太阳能电池用硒化氢混合气体供给方法以及装置