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- [发明专利]失效封装体的电性测试系统及方法-CN202210170766.9在审
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韩俊;何志丹;宁福英;曾昭孔
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苏州通富超威半导体有限公司
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2022-02-23
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2022-05-24
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G01R31/26
- 一种失效封装体的电性测试系统及方法,其中方法包括:制作若干种测试掩膜,每种所述测试掩膜上具有失效引脚通孔,且若干种所述测试掩膜上的所述失效引脚通孔的位置分别与所述失效封装体的各个引脚相对应;获取所述失效封装体上失效的引脚名称;根据所述失效封装体上失效的引脚名称将对应的所述测试掩膜置于所述失效封装体上,所述失效引脚通孔暴露出所述失效封装体上失效的引脚;将所述失效封装体上失效的引脚与电性测试仪器电连接,根据所述电性测试仪器对所述失效封装体进行电性测试通过所述测试掩膜能够快速的寻找到失效的引脚的位置,避免了采用人工计数的方式进行寻找,有效提高了失效封装体电性测试效率,为后续制程改善及时提供指导。
- 失效封装测试系统方法
- [发明专利]电性失效图形判别装置及判别方法-CN201811125760.X有效
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陈文丽
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长鑫存储技术有限公司
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2018-09-26
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2022-03-11
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H01L21/66
- 本发明涉及集成电路领域,提供了一种电性失效图形判别装置及判别方法,用于对芯片上经过电性测试后的多个电性失效图形进行判别并归类,所述电性失效图形判别装置中,图形提取模块用于获取其中两个电性失效图形,特征比较模块用于比较所述两个电性失效图形是否具有包含与被包含的关系,若是,则属于包含一方的其中一个电性失效图形的归类优先级高于属于被包含一方的另一个电性失效图形的归类优先级,若否,则所述两个电性失效图形的归类优先级相同。利用所述电性失效图形判别装置有助于避免由于图形特征具有包含与被包含关系所导致的归类错误的问题,提高良率分析的准确性。本发明另外提供了一种电性失效图形判别方法。
- 失效图形判别装置方法
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