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- [发明专利]处理装置、搬运方法以及物品的制造方法-CN202211092119.7在审
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佐藤秀司
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佳能株式会社
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2022-09-08
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2023-03-14
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G03F7/20
- 处理装置用于处理从外部装置搬运的多个基板，所述处理装置的特征在于，包括：搬运部，其包括搬入部和搬出部，所述搬入部用于载置要从所述外部装置向所述处理装置搬入的基板，所述搬出部用于载置要从所述处理装置向所述外部装置搬出的基板，所述搬运部用于在所述搬入部、所述搬出部以及对所述基板进行处理的处理部之间搬运基板；以及控制部，其按照搬运模式来控制在所述外部装置与所述处理装置之间对基板的搬运，所述搬运模式包括如下搬入优先模式，在该搬入优先模式下，在存在应该向所述搬入部搬入的基板和应该从所述搬出部搬出的基板的情况下，与从所述搬出部搬出基板相比，优先向所述搬入部搬入基板。
- 处理装置搬运方法以及物品制造
- [发明专利]基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统-CN200610105710.6无效
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矢泽隆之;荒川洋;小山淳之介
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日本电产三协株式会社
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2006-07-13
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2007-01-17
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B65G49/06
- 本发明提供一种能相对多层结构的基板收纳箱可靠地搬出及搬入基板的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统。本发明的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部(15)、并在各层的长支撑部(15)上承载基板(1)进行多层收纳的箱体(11)，使用具有承载所述基板(1)用的手部(22)的机器人(21)将基板(1)搬出搬入，包含对将要承载对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)或已经承载有对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)进行支承、扩大箱体(11)内供手部(22)进入或后退的空间的支承工序(A)，从箱体(11)搬出对象基板(1)的搬出工序及向箱体(11)搬入对象基板(1)的搬入工序与所述支承工序(A)一起进行。
- 搬出方法系统
- [发明专利]基板处理装置-CN200710086066.7有效
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粟野宪康
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住友精密工业株式会社
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2007-03-08
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2007-09-12
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H01L21/00
- 本发明提供一种即使基板的搬入时间产生延迟，也能够使作为整体的蚀刻时间一定，可在基板之间进行均匀的蚀刻的基板处理装置。当利用第一检测装置(29a)检测基板K已进入到处理区域(20)内时，将处理液供给至基板K上，进行一次处理，同时，测量从基板K进入至结束搬入为止的经过时间，作为基板搬入时间。另外，从完全搬入基板K开始进行二次处理，在所测量的基板搬入时间为在基准搬入时间内的情况下，以标准的搬送速度搬送基板K，进行二次处理，在基板搬入时间比基准搬入时间长的情况下，计算消除所超过的延迟时间所需的搬送速度，以所计算的搬送速度搬送基板K，进行二次处理。
- 处理装置
- [发明专利]减压干燥装置-CN200610115720.8无效
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坂本贵浩;坂井光广;八寻俊一
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东京毅力科创株式会社
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2006-08-11
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2007-02-14
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H01L21/00
- 本发明提供一种减压干燥装置，即使基板为大型、安全性也优异，并能抑制振动的产生，且能可靠地防止涂敷在基板上的涂敷液发生转印。该减压干燥装置具备：在侧壁部具有搬入基板的搬入口和搬出基板的搬出口，将从搬入口搬入的基板以大致水平状态收容的腔室；对搬入口和搬出口进行开关的门部件；在利用门部件关闭搬入口和搬出口的状态下，对腔室内进行减压的减压机构；大致水平地搬送基板，将其从搬入口搬入到腔室内，并且，在利用减压机构进行减压干燥处理后，大致水平地搬送该基板，将其从搬出口搬出到腔室之外的搬送机构；和在腔室内，不是局部地支撑、而是能够均匀地支撑基板的带
- 减压干燥装置
- [实用新型]基板处理装置-CN201721008841.2有效
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富藤幸雄
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株式会社斯库林集团
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2017-08-11
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2018-05-18
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H01L21/67
- 本实用新型是即使是大型的基板也能够充分抑制其带电的基板处理装置。基板处理装置(100)具备：载置部(42)，供载置基板(5)；腔室(41)，将载置在加热板(42)上的基板(5)的周围覆盖，并且形成有用于搬入基板(5)的搬入口(7)；搬运机械手(3)，具有支撑基板(5)的手部(33)，将由手部(33)支撑的基板(5)经由搬入口(7)搬入至腔室(41)内；以及电离器(6)，向从搬入口(7)的外侧朝向腔室(41)的方向喷射离子化的气体。
- 处理装置
- [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202211658220.4在审
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大宅宗明;三林武;森井敬亮
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株式会社斯库林集团
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2022-12-22
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2023-08-22
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H01L21/677
- 本发明的课题是缩短基板处理装置的长度。本发明的解决方案的基板处理装置具有去程部分以及回程部分，基板在去程部分上移动，去程部分从基板被从索引器装置搬入的被搬入区域到朝向曝光装置搬出基板的接口部为止，从曝光装置向接口部搬入的基板在回程部分上移动，回程部分从接口部到朝向索引器装置搬出基板的被搬出区域为止。去程部分包含清洗部，对从索引器装置搬入的基板实施清洗处理；涂覆部，在用清洗部实施过清洗处理的基板上涂覆处理液；缓冲部，暂时收纳基板；以及搬送机器人，从清洗部搬出基板，向缓冲部搬入基板，从缓冲部搬出基板和向涂覆部搬入基板
- 处理装置方法
- [发明专利]基板搬运装置及基板搬运方法-CN201710791335.3有效
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宫本幸辉
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株式会社斯库林集团
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2017-09-05
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2021-07-13
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H01L21/677
- 本发明提供基板搬送装置及基板搬送方法。该基板搬运装置的搬入搬出机构搬运以水平姿势载置的基板。切口对准器将载置在搬入搬出机构上的予定的基板沿周向旋转，变更设置于基板周缘部的切口在周向上的位置。搬入搬出机构具备四个与基板周缘部的下表面相对的支撑部。在基板搬运装置中，控制部基于就基板的翘曲状态输入的输入信息和翘曲‑切口位置信息，控制切口对准器，确定基板的切口在周向上的位置。由此，载置在搬入搬出机构上的状态的基板下表面与搬入搬出机构的四个支撑部接触。结果，能够防止或抑制由搬入搬出机构搬运中的基板的晃动和位置偏移，从而能够稳定地搬运基板。
- 搬运装置方法
- [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202310074951.2在审
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清原康雄
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东京毅力科创株式会社
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2023-02-07
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2023-08-18
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H01L21/67
- 本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法，用于降低超临界干燥后的基板的微粒水平。本公开的基板处理装置使用超临界状态的处理流体对表面附着有液体的基板进行超临界干燥处理，该基板处理装置具备：处理容器，其具有用于对基板进行超临界干燥处理的内部空间；外壳，在该外壳的内部设定有配置有处理容器的处理区域、以及用于基板的搬入和搬出的搬入搬出区域；交接部，其设置于搬入搬出区域，与从外壳的外部进入到搬入搬出区域的基板搬送臂之间进行基板的交接；基板移送机构，其在交接部与处理容器之间移送基板；以及气体供给部，其以能够向搬入搬出区域供给干燥气体的方式设置
- 处理装置方法
- [发明专利]基板匣、基板保管装置及基板处理系统-CN201180018294.5有效
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浜田智秀;木内彻
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株式会社尼康
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2011-04-11
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2012-12-19
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B65H75/36
- 基板匣(CTR)，具备：收容部(1)、搬出口(3)、搬入口(2)、导引部(4)。收容部(1)收容带状的基板(FB)。搬出口(3)及搬入口(2)是设于收容部(1)且供基板(FB)通过。导引部(4)将基板(FB)从搬入口(2)导引至搬出口(3)。导引部(4)包含可动导引板(45)及移动滚筒(47,48)。移动滚筒(47,48)包含伸缩部(52b)。基板(FB)的前端部支承在导引板(45)上。当使用搬入滚筒(23)送入基板(FB)时，导引板(45)旋动成垂直姿势。随着基板(FB)搬入，伸缩部(52b)逐渐延伸。基板匣(CTR)是连接于基板处理装置(FPA)。
- 基板匣保管装置处理系统
- [发明专利]网版印刷装置-CN201180071792.6有效
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佐藤利道
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雅马哈发动机株式会社
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2011-06-21
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2014-03-05
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B41F15/26
- 一种网版印刷装置，包括：印刷执行部(20A、20B)；第一、第二基板搬入部(En1、En2)及基板搬出部(Ex)；第一、第二基板支撑台(10A、10B)，将基板(W)以能够在印刷执行部(20A、20B)第一基板支撑台(10A)在接受从第一基板搬入部(En1)搬入的基板(W)的第一接受位置与从基板搬出部(Ex)搬出基板(W)的送出位置之间移动，第二基板支撑台(10B)在接受从第二基板搬入部(En2)搬入的基板(W)的第二接受位置与所述送出位置之间移动，印刷执行部(20A、20B)分别设置在能够对基板支撑台(10A、10B)上的基板(W)实施印刷的位置。
- 印刷装置
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