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[发明专利]成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法-CN201811362764.X在审
发明人：阿部可子;菅原洋纪 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供能够谋求成膜装置的成膜处理中的生产率提高的成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。成膜装置具备：被维持成真空的基板搬送室(12)；具有用于搬入及搬出基板(10)的搬入搬出口(22a、22b)的第一真空成膜室(20a、20b)；以及分别具有用于搬入基板(10)的搬入口(32)和用于搬出基板(10)的搬出口(34)的第二真空成膜室(30)，第一真空成膜室(20a、20b)经由搬入搬出口(22a、22b)与基板搬送室(12)之间搬入及搬出基板(10)，第二真空成膜室(30)经由搬入口(32)从基板搬送室(12)搬入基板(10)，且不经由搬入口(10)向所述基板搬送室(12)搬出基板(10)。
搬入基板真空成膜室基板搬送搬出成膜装置搬出口搬入口成膜处理电子器件成膜制造

[发明专利]薄膜形成装置-CN202010092653.2在审
发明人：长江亦周;宫内充祐;高坂佳弘;青山贵昭;远藤光人 -专利权人：株式会社新柯隆
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本申请公开一种低折射率薄膜形成装置，包括：用于容纳基板的真空成膜室；用于向所述真空成膜室导入气体的导入机构；用于在所述真空成膜室中形成等离子体的等离子源；所述等离子源能在所述基板上利用所述气体进行等离子体化学气相沉积成膜
薄膜形成装置

[发明专利]真空成膜装置以及真空成膜方法-CN200680033242.4有效
发明人：梅泽隆男;北爪敦夫;高野博史;尾山总美 -专利权人：株式会社大岛电机制作所
申请日： 2006-09-11 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：在将设置有工件的工件室侧的第二模具与设置有用于进行真空成膜的目标的目标室侧的第一模具进行合模，在上述工件上进行真空成膜的情况下，可缩短真空成膜工序所需的时间、降低成本，在设置了用于进行真空成膜的目标的目标室(7b)侧的成膜用模具(7a)的开口端设置挡板装置(13)，该挡板装置(13)具有开设了连通孔(19a、20a)的第一、第二支撑板(19、20)，和设置在两板(19、20)之间、对上述连通孔(19a、20a
真空装置以及方法

[实用新型]一种真空镀膜机-CN202223137418.6有效
发明人：李英魁 -专利权人：四会市华源真空设备有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空镀膜机，包括相对密封的真空成膜室和过渡室，所述真空成膜室和过渡室之间通过两个分隔阀门在空间上隔离，在真空成膜室内设置有成品旋转装置，在过渡室内设置有两个移栽装置，两个所述移栽装置上均对应设置有上下料机械手本实用新型具备结构简单，设计合理新颖，通过上下料机械手快速的将过渡室的待镀膜成品搬入真空镀膜室，再将真空镀膜室内的镀膜成品搬入至过渡室，由此保证真空镀膜室处于真空状态下工作，同时提高了生产效率。
一种真空镀膜

[发明专利]真空成膜装置和真空成膜方法-CN202010454239.1在审
发明人：大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明的课题是提供难以在与冷却罐辊的外周面接触的长树脂膜表面等形成划痕的真空成膜装置和真空成膜方法。其特征在于，具备：将在卷出辊(110)卷绕的长树脂膜(1)卷出的卷出室(100)；在从卷出室供给的长树脂膜的第一面侧形成金属膜的成膜室(400)；以及将形成有金属膜的长树脂膜卷取到卷取辊(541)的卷取室成膜室具有将辊对辊搬送的长树脂膜卷绕到外周面并冷却的旋转驱动的冷却罐辊(431)，以及沿该冷却罐辊的外周面配置的施加热负荷的成膜机构(432)～(435)。在该真空成膜装置中，在上述卷出室与成膜室之间设置有使保护膜(301)在搬送中的长树脂膜的第二面侧重合从而使保护膜夹在冷却罐辊与长树脂膜之间的保护膜重合室(300)。
真空装置方法

[发明专利]真空成膜装置-CN201310024257.6有效
发明人：冲本忠雄;玉垣浩 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2013-01-23 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明提供一种真空成膜装置。本发明的真空成膜装置具备：真空腔室；成膜辊，配置在真空腔室内，并且卷挂作为成膜对象的片状的基材；磁场产生部，设在成膜辊的内部，在该成膜辊的表面上形成磁场；磁场产生部具有内侧磁铁和外侧磁铁，所述内侧磁铁沿着成膜辊的轴向配置，所述外侧磁铁具有与内侧磁铁相反的极性，以环状包围内侧磁铁；内侧磁铁在从基材的成膜面观察的投影中，形成为与在成膜辊上卷挂着基材（W）的范围的宽度相比沿着成膜辊的轴向宽度较窄，并且配置在卷挂基材（W）的范围内
真空装置

[发明专利]双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体-CN201210267243.2有效
发明人：梨木智刚;坂田义昌;菅原英男;家仓健吉;滨田明;伊藤喜久;石桥邦昭 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体，该成膜方法能够通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等，有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。将卷绕成卷筒状的长基体的第一面作为被成膜面而沿第一辊室朝向第二辊室的方向从第一辊室输出，对输出的基体进行脱气，在第一成膜室，在脱气的基体的第一面成膜第一膜材料，在第二成膜室，在第一膜材料上成膜第二膜材料，在第二辊室将层积有膜材料的基体卷绕成卷筒状，将与第一面相反一侧的第二面作为被成膜面而沿方向从第一辊室输出卷绕的基体，重复进行上述所有的处理。
双面真空方法利用获得层积

[发明专利]真空成膜装置用防附着板及其应用-CN201410072392.2无效
发明人：黑冈俊次 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2014-02-28 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供在反复蒸镀的情况下成膜材料的剥离防止效果也优异的真空成膜装置用防附着板及其制造方法、以及使用该防附着板的真空成膜装置及真空成膜方法。本发明的真空成膜装置用防附着板是用于防止成膜材料向真空成膜装置中的不需要的位置附着的防附着板，其为铝制，具有形成有包含平均开口径为0.01～9μm的凹部的凹凸结构的表面，在表面排列有平均高度为30～1000μm
真空装置附着及其应用

[实用新型]一种真空成型机加温装置-CN201620689904.4有效
发明人：廖雄彬 -专利权人：四川新川航空仪器有限责任公司
申请日： 2016-07-04 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： B29C51/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空成型机加温装置，包括加热室和冷却风扇，所述加热室为金属箱体结构，其内部分为上下两层，中间为隔板，加热室的上层为布线层，下层为真空成型反应的加温空间，加热室下层的左右侧板固定、前后为能够停留在任意位置的提升门式侧板，且前侧为真空成型反应装置进出加热室下层的通道，所述加热室下层设有安装在隔板上红外加热元件，该红外加热元件的加热温度、高度可调节。该装置结构合理，操作方便，能够根据加工工件的不同尺寸形状调节加热元件的位置，根据不同材料的真空成型条件调节反应温度，扩大真空成型机的适用范围，提升真空成型的反应效果。
一种真空成型加温装置

[实用新型]一种门板真空成型机-CN201620972572.0有效
发明人：张强 -专利权人：江西欣兴汽车零部件有限公司
申请日： 2016-08-27 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B29C51/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种门板真空成型机，包括初加工室、工作机箱和真空成型室，所述工作机箱上端固定有工作台，且工作台上端固定有输送机构，所述初加工室安装在工作台上端，且初加工室由加热器和喷胶器构成，所述初加工室内部上端固定有加热器，且加热器下端固定有喷胶器，所述真空成型室安装在初加工室一端，且真空成型室由升降支架、固定下模和活动上模构成，所述真空成型室内部下端安装有固定下模，且固定下模上方安装有活动上模，所述活动上模通过上端两侧的升降支架与真空成型室相连接本实用新型采用一体化加工技术，简化了门板真空成型的加工步骤，缩短了加工时间。
一种门板真空成型

[发明专利]真空成膜方法和由该方法得到的层积体-CN201210132151.3有效
发明人：梨木智刚;坂田义昌;菅原英男;家仓健吉;滨田明;伊藤喜久;石桥邦昭 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2012-04-28 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：提供一种真空成膜方法和由该方法得到的层积体，在卷对卷技术中进一步谋求作业的高效化或者改善。是对长形基材进行连续真空成膜的方法，具备沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向将卷绕成卷筒状的长形基材从第一辊室抽出的阶段、将沿第一方向抽出的基材进行脱气的阶段、在第二成膜室将第二膜材料在被脱气的基材的面上进行成膜的阶段、将成膜有第二膜材料的基材在第二辊室进行卷绕的阶段、沿从第二辊室朝向第一辊室的第二方向将在第二辊室卷绕的基材从第二辊室抽出的阶段、在第一成膜室将第一膜材料在沿第二方向抽出的基材的面上进行成膜的阶段、将在第二膜材料上层积有第一膜材料的基材在第一辊室卷绕的阶段
真空方法得到层积

[发明专利]双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体-CN201210266812.1有效
发明人：梨木智刚;坂田义昌;菅原英男;家仓健吉;滨田明;伊藤喜久;石桥邦昭 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：提供双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体，通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等，有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。将卷成卷筒状的长基体沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向从第一辊室输出，对输出的基体脱气，在第一成膜室，在第一面将第一膜材料成膜，将第一膜材料成膜的基体沿从第二辊室朝向第一辊室的第二方向向第二成膜室引导，在第二成膜室，在沿第二方向引导过程中的基体的、与第一面相反一侧的第二面上将第二膜材料成膜，在设置于第一辊室与第二辊室之间的第三辊室，将在第一面使第一膜材料成膜且在第二面使第二膜材料成膜的基体卷绕成卷筒状，沿第一方向从第一辊室输出在第三辊室卷绕的基体，重复上述全部处理。
双面真空方法利用获得层积

[发明专利]双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体-CN201210268890.5有效
发明人：梨木智刚;坂田义昌;菅原英男;家仓健吉;滨田明;伊藤喜久;石桥邦昭 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体，该成膜方法能够通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等，有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。卷成卷筒状的长基体的第一面作为被成膜面，沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向从第一辊室输出卷筒状的长基体，使沿第一方向输出的基体脱气，在第二成膜室在基体第一面将第二膜材料成膜，在第二辊室将使第二膜材料成膜的基体卷绕成卷筒状，沿从第二辊室朝第一辊室的第二方向从第二辊室输出，在第一成膜室在第二膜材料上将第一膜材料成膜，在第一辊室将在第二膜材料上层积第一膜材料的基体卷绕成卷筒状，将与第一辊室卷绕的基体的第一面相反侧的第二面作为被成膜面
双面真空方法利用获得层积

[发明专利]真空成膜装置-CN201280033408.8有效
发明人：玉垣浩;芳贺润二 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2012-07-05 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明的真空成膜装置是在基材形成皮膜的真空成膜装置，具备：真空腔室；对所述真空腔室内进行真空排气的真空排气单元；以自转的状态保持作为成膜对象的所述基材的多个自转保持部；以及使所述多个自转保持部在与各自转保持部的旋转轴平行的公转轴周围进行公转的公转机构
真空装置

[发明专利]多层装饰性膜-CN201180055471.7无效
发明人：大和田孝彦;J.比希纳;H.芒德施托克 -专利权人：拜耳知识产权有限责任公司
申请日： 2011-11-15 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： B44C1/10 文献下载
摘要：本发明涉及在真空成型中用多层装饰性膜覆盖基底物质的方法，用于这类真空成型方法中所用的二次装饰的多层装饰性膜，在成型后具有优异的粘附性、施工性能和次级物理性能如耐热性和耐水解性的多层装饰性膜，以及这类多层装饰性膜在真空成型方法中的用途
多层装饰性

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