[发明专利]一种芯片封装结构及制作方法在审

专利信息
申请号: 202310015750.5 申请日: 2023-01-05
公开(公告)号: CN116072621A 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 郭小伟;刘亮;吕海兰 申请(专利权)人: 华天科技(西安)有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/60;H01L23/48;H01L21/56;H01L21/48
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 薛梦
地址: 710018 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开一种芯片封装结构及制作方法,该发明涉及芯片封装技术领域,包括:导电金属环,环底面水平固定于基板上,与基板连接;信号芯片包括第一面和第二面,第一面固定于导电金属环的环内的基板上并与基板电连接,第二面与第一面相对设置;传感芯片底部固定设于第二面上并与信号芯片电连接;透气防尘膜,其底面贴附于导电金属环的环顶面上;金属板,其底面与透气防尘膜顶面贴附且覆盖导电金属环,金属板与金属环的环内部重叠的区域开设有通孔;以及塑封料,其涂覆于导电金属环的环外侧区域。本发明还提供一种一种芯片封装结构制作方法,能够实现芯片对外界温度、湿度、气体、气压的传感,和实现静电屏蔽功能。
搜索关键词: 一种 芯片 封装 结构 制作方法
【主权项】:
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