[发明专利]轴对称型哥氏振动陀螺仪虚拟进动转速稳定性提升方法在审
| 申请号： | 202210519610.7 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN115235443A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 丁徐锴;陈洋;刘锡祥;李宏生;赵立业;黄丽斌 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/5649 | 分类号： | G01C19/5649 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 薛雨妍 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供轴对称型哥氏振动陀螺仪虛拟进动转速稳定性提升方法，在常规幅度、正交、锁频控制方式与虚拟进动方式下，陀螺谐振子正常工作，本技术利用解调信号对常规全角与虚拟进动控制方式下输出的角度进动信号以及幅度控制电压信号进行解调，将解调后的两路幅值信号进行处理，得到所需提取的增益，将提取的增益补偿给外界控制虚拟进动的激励电压，对影响转速的激励电压进行在线补偿，从而提高虚拟进动转速的稳定性。本发明在不影响哥氏振动陀螺仪正常虚拟进动的前提下，实时提取回路增益，并进行在线补偿，从而使虚拟进动下，哥氏振动陀螺仪转速的稳定性得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 轴对称 型哥氏 振动 陀螺仪 虚拟 转速 稳定性 提升 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210519610.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 振动型角速度传感器-201810194813.7
- 森口孝文 - 住友精密工业株式会社
- 2018-03-09 - 2023-08-18 - G01C19/5649
- 本发明提供振动型角速度传感器，在该振动型角速度传感器中，信号生成部以生成与通过第1调制部及第2调制部中的至少一个生成的矩形波状信号的振幅相应的相位的变化得到抑制的相位变化抑制信号的方式构成。
- 惯性传感器和电子设备-202310312347.9
- 端木鲁玉;毕训训;韩寿雨 - 歌尔微电子股份有限公司
- 2023-03-28 - 2023-05-16 - G01C19/5649
- 本发明提出一种惯性传感器和电子设备，该惯性传感器包括传感器主体和至少两组管脚，所述传感器主体具有底面和侧面；所述底面和所述侧面分别设有至少一组所述管脚。本申请的技术方案，可以提高惯性传感器的适用性，使得惯性传感器可以用于检测不同方向的信号。
- 一种基于光学拍频检测的闪耀光栅MEMS陀螺-202211561244.8
- 金丽;王策;辛晨光;李孟委 - 中北大学
- 2022-12-07 - 2023-04-14 - G01C19/5649
- 本发明属于MEMS陀螺技术领域，具体涉及一种基于光学拍频检测的闪耀光栅MEMS陀螺，所述第一分束镜的一个光路方向上设置有第一反射镜，所述第一分束镜的另一个光路方向上设置有环形器，所述环形器的一个光路方向上设置有准直透镜，所述准直透镜的光路方向上设置有闪耀光栅陀螺，所述第一反射镜的反射光路上设置有第二分束镜，所述环形器的另一个光路方向上设置有第二反射镜，所述第二反射镜的反射光路上设置有第二分束镜，所述第二分束镜的一个光路方向上设置有光电探测器。本发明是通过检测闪耀光栅的偏转角度来实现对MEMS陀螺角速率的测量，在加工上降低加工难度，并且在结构上减小了交叉串扰对陀螺灵敏度的影响。
- 一种高抗振动型全对称MEMS陀螺仪传感器结构-202111389396.X
- 穆清涛;史凯;陈晓峰;张智杰;黄树峰;王伟;王凯;常红飞;武雷 - 陕西华燕航空仪表有限公司
- 2021-11-22 - 2023-04-11 - G01C19/5649
- 本发明提出一种高抗振动型全对称MEMS陀螺仪传感器结构，传感器结构内、外框质量体分别由驱动轴电极稳定驱动，使其处于差分高频振荡，当有角速度信号输入时，内、外框质量体运动分别由敏感轴电极稳定检测并利用力反馈控制信号实现闭环控制。内、外框频率调节电极、正交补偿电极分别消除因加工误差等因数造成的质量体不对称，提高传感器结构工作效率。内、外框均具备独立陀螺仪效应及功能，合成差分的输出形式，有利提高输入信号的检测效率。该传感器结构能为MEMS陀螺仪信号处理电路提供抗干扰能力强，传感器信号强的基础器件，提升MEMS陀螺仪的性能和抗环境能力。
- 具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪-201710601373.8
- 华亚平 - 安徽芯动联科微系统股份有限公司
- 2017-07-21 - 2023-04-07 - G01C19/5649
- 本发明公开了一种具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪，属于传感器芯片设计技术领域，具体是将MEMS陀螺仪的两个可动质量块通过驱动弹簧组件连接在两组驱动频率调节结构的质量块锚点上，两个可动质量块沿Y轴方向对称分布，驱动频率调节电极的固定电极部分制作在紧邻质量块锚点的调节电极锚点上，驱动频率调节电极的可动电极部分沿X轴对称分布于驱动弹簧组件两侧，可动电极部分与固定电极部分构成驱动频率调节电容，这样就减少了衬底不对称形变对质量块锚点与驱动电极锚点间距的影响，也就是稳定了驱动频率调节静电力，改进MEMS陀螺仪性能，提高了MEMS陀螺仪在不同温度下、不同应力环境中的稳定性。
- MEMS陀螺仪的控制电路、MEMS陀螺仪及控制方法-202211165983.5
- A·格拉纳塔 - 意法半导体股份有限公司
- 2022-09-23 - 2023-03-31 - G01C19/5649
- 本申请涉及MEMS陀螺仪的控制电路、MEMS陀螺仪及控制方法。用于MEMS陀螺仪的控制电路被配置为接收具有正交分量和感测分量的测量信号。控制电路具有：输入级，其获取输入信号，生成采集信号，其中输入信号是测量信号和正交抵消信号的函数；处理级，其提取采集信号的第一分量，第一分量指示测量信号的感测分量并且具有感测频带；以及正交校正级，其提取采集信号的第二分量并且从参考信号生成正交抵消信号，第二分量指示测量信号的正交分量。正交抵消信号是以在感测频带之外的更新频率根据采集信号的第二分量调制的信号。
- 用于抑制正交误差的设备-202221983503.1
- D·普拉蒂;L·G·法罗尼;L·奎利诺尼 - 意法半导体股份有限公司
- 2022-07-29 - 2023-03-10 - G01C19/5649
- 本公开涉及用于抑制正交误差的设备。该设备包括MEMS陀螺仪。该MEMS陀螺仪由衬底、第一质量块和第二质量块形成，其中第一质量块和第二质量块悬置于衬底上方，并且在静止状态下在限定第一方向和横向于第一方向的第二方向的延伸平面中延伸。该MEMS陀螺仪还具有：驱动结构，被耦合至第一质量块，并且被配置为在使用中使第一质量块在第一方向上移动；以及弹性耦合结构，在第一质量块与第二质量块之间延伸，并且被配置为将第一质量块在第一方向上的移动与第二质量块在第二方向上的移动耦合。弹性耦合结构具有第一部分和第二部分，第一部分具有第一刚度，第二部分具有大于第一刚度的第二刚度。
- 具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪-202210909420.6
- D·普拉蒂;L·G·法罗尼;L·奎利诺尼 - 意法半导体股份有限公司
- 2022-07-29 - 2023-02-03 - G01C19/5649
- 本公开涉及具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪。该MEMS陀螺仪由衬底、第一质量块和第二质量块形成，其中第一质量块和第二质量块悬置于衬底上方，并且在静止状态下在限定第一方向和横向于第一方向的第二方向的延伸平面中延伸。该MEMS陀螺仪还具有：驱动结构，被耦合至第一质量块，并且被配置为在使用中使第一质量块在第一方向上移动；以及弹性耦合结构，在第一质量块与第二质量块之间延伸，并且被配置为将第一质量块在第一方向上的移动与第二质量块在第二方向上的移动耦合。弹性耦合结构具有第一部分和第二部分，第一部分具有第一刚度，第二部分具有大于第一刚度的第二刚度。
- 驱动电路、用于驱动MEMS陀螺仪的方法和对应的MEMS陀螺仪-201811050424.3
- S·法奇内蒂 - 意法半导体股份有限公司
- 2018-09-10 - 2023-01-31 - G01C19/5649
- 本公开涉及驱动电路、用于驱动MEMS陀螺仪的方法和对应的MEMS陀螺仪。提供了一种用于基于科里奥利效应操作的微机电系统(MEMS)陀螺仪的驱动电路。驱动电路向MEMS陀螺仪的移动质量块提供驱动信号，以使移动质量块的驱动运动以振荡频率振荡。驱动电路包括：输入级，其接收表示驱动运动的至少一个电学量，并基于电学量产生驱动信号；测量级，其基于驱动信号测量驱动运动的振荡幅度；以及控制级，其基于振荡幅度的反馈控制产生驱动信号。测量级执行在其期间驱动信号与幅度阈值具有给定关系的时间间隔的测量，并测量作为时间间隔的函数的振荡幅度。
- MEMS陀螺仪及其误差抑制方法、角速度测量方法-202210792214.1
- 邢朝洋;冯立辉;郭军强;李兆军 - 北京理工大学
- 2022-07-07 - 2022-12-06 - G01C19/5649
- 本发明公开基于抖动和力反馈的MEMS陀螺仪及其误差抑制方法、角速度测量方法。本发明的基于抖动和力反馈的MEMS陀螺仪包括敏感结构、敏感结构驱动模块、敏感结构检测模块、抖动结构、抖动驱动模块、抖动检测模块、角速度计算模块、力反馈模块。本发明采用对陀螺仪敏感轴进行周期性抖动调制并加入力反馈检测，保证陀螺仪灵敏度的同时彻底免除零偏标定归零，并且抑制白噪声导致的角度随机游走，实现角速度积分不发散，扩展MEMS陀螺仪在长航时、长航程纯惯性导航领域内的应用。
- 惯性传感器以及惯性测量装置-202210508551.3
- 永田和幸 - 精工爱普生株式会社
- 2022-05-11 - 2022-11-15 - G01C19/5649
- 本发明提供一种惯性传感器以及惯性测量装置，防止针对过度冲击的可动体的贴附。一种惯性传感器(1)，在将相互正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，检测基于Z轴的位移的物理量，其中，所述惯性传感器具备：基板(10)；可动体(21)，固定于基板(10)，并绕沿着X轴的摆动轴(P)摆动，且具有相互对置的两个平面(21a、21b)和将它们之间连接的侧面(21c、21d)；以及限制部(19)，固定于基板(10)，并与可动体(21)的侧面(21c、21d)对置，可动体(21)在与限制部(19)对置的部分具备弹性部(25)。
- 轴对称型哥氏振动陀螺仪虚拟进动转速稳定性提升方法-202210519610.7
- 丁徐锴;陈洋;刘锡祥;李宏生;赵立业;黄丽斌 - 东南大学
- 2022-05-13 - 2022-10-25 - G01C19/5649
- 本发明提供轴对称型哥氏振动陀螺仪虛拟进动转速稳定性提升方法，在常规幅度、正交、锁频控制方式与虚拟进动方式下，陀螺谐振子正常工作，本技术利用解调信号对常规全角与虚拟进动控制方式下输出的角度进动信号以及幅度控制电压信号进行解调，将解调后的两路幅值信号进行处理，得到所需提取的增益，将提取的增益补偿给外界控制虚拟进动的激励电压，对影响转速的激励电压进行在线补偿，从而提高虚拟进动转速的稳定性。本发明在不影响哥氏振动陀螺仪正常虚拟进动的前提下，实时提取回路增益，并进行在线补偿，从而使虚拟进动下，哥氏振动陀螺仪转速的稳定性得到提高。
- 更大可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构-202110166642.9
- 郑旭东;王雪同;吴海斌;金仲和 - 浙江大学
- 2021-02-04 - 2022-09-20 - G01C19/5649
- 本发明公开了一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构。包含至少一组固定电极组和至少一个可动电极，每组固定电极组均由两个固定电极构成，两个固定电极形状均为直角梯形且尺寸相同，两个固定电极之间以直角边反向连接形成旋转对称结构；可动电极和固定电极组平行间隔布置构成了变面积电容结构；通过调节可动电极和固定电极的几何参数来实现变面积电容结构的更大可调节微机械器件弹性系数。本发明能有效增强结构的弹性系数调节能力，在对可动电极和固定电极之间施加相同大小电压差的条件下，能够产生更强的弹性系数调节效果。
- 一种可在线自校准的双模式差分谐振式陀螺仪系统-201911173681.0
- 成宇翔;赵万良;于翔宇;王伟;张嘉轩 - 上海航天控制技术研究所
- 2019-11-26 - 2022-06-24 - G01C19/5649
- 本发明公开了一种可在线自校准的双模式差分谐振式陀螺仪系统，该系统在力平衡模式同时驱动第一模态和第二模态，并同时检测第一模态和第二模态，从而在同一个陀螺结构上实现两个力平衡模式的谐振陀螺，并通过双模式差分，可完全抑制刚度正交误差和阻尼正交误差的干扰。本发明采用完全的物理手段对刚度正交误差和阻尼正交误差进行数学消除，避免了力平衡模式中使用电路手段仅能对刚度正交误差进行抑制的不足，简化了控制电路的复杂度，可实现谐振式陀螺零位误差的在线自校准。
- 具有科里奥利振动陀螺仪谐振器的角度传感器-201880050670.0
- 洛根·D·索伦森;阮勋;拉维夫·佩拉西亚;黄莲欣;大卫·T·常 - HRL实验室有限责任公司
- 2018-06-08 - 2022-05-17 - G01C19/5649
- 一种角度传感器，包括科里奥利振动陀螺仪(CVG)谐振器，该谐振器能够沿着包括第一法向模态和第二法向模态的第一对法向n＝1模态以及包括第三法向模态和第四法向模态的第二对法向n＝2模态振荡；传感器还包括：一个驱动电极和一个感测电极，它们沿着每个模态的反节点轴线对齐；以及一对偏置调谐电极，如果没有驱动和感测电极对与每个模态的反节点轴线对齐，则该对偏置调谐电极与所述反节点轴线对齐。
- 惯性传感器以及惯性测量装置-202110764282.2
- 泷泽照夫;永田和幸;田中悟;山崎成二 - 精工爱普生株式会社
- 2021-07-06 - 2022-01-07 - G01C19/5649
- 本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中，能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部，在开口部具有：第二可动体，能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)；第三可动体，能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体，具有突起，上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体，并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。
- 一种硅微谐振器快速起振装置及起振方法-201610915640.4
- 崔健;刘凯 - 北京自动化控制设备研究所
- 2016-10-20 - 2021-10-19 - G01C19/5649
- 本发明涉及一种微电子工艺加工技术，具体公开了一种硅微谐振器快速起振装置及起振方法，装置包括前置读出电路、选择开关、比较器和闭环控制装置，前置读出电路的输出端同时连接闭环控制装置的输入端，选择开关的另一输入端与闭环控制装置输出端连接。方法中对自激振荡回路中的振动电压信号幅度进行阈值判定，对硅微谐振器的驱动信号进行选择，无需事先对谐振器进行初始频率测试和电路参数配置。由前置读出电路、比较器、选择开关组成自激振荡回路，利用自激振荡回路可以快速得出硅微谐振器的谐振频率，将该频率信息发送至闭环控制回路，再利用闭环控制回路实现硅微谐振器的横幅振荡，缩短了起振时间，节约调试时间，节省生产成本。
- 具有原位偏差自校准的高带宽科里奥利振动陀螺仪(CVG)-201610015997.7
- J·Y·刘 - 波音公司
- 2016-01-11 - 2021-06-01 - G01C19/5649
- 本申请公开一种用于确定科里奥利振动陀螺仪即CVG的偏差补偿的惯性旋转速度的方法。该方法包含：确定CVG正在操作的初始模式；获得来自从先前的模式转换周期的平均未补偿的惯性旋转速度测量值；获得来自先前的模式转换周期的平均未补偿的偏差测量值；确定给定轴线的AGC模式和FTR模式之间的第一转换；基于确定的第一转换和来自先前的模式转换周期的平均未补偿的偏差测量值计算CVG的第一偏差估计；以及基于计算的第一偏差和来自先前的模式转换周期的平均未补偿的惯性旋转速度测量值通过处理器计算CVG的第一偏差补偿的惯性旋转速度。
- 一种基于波导光栅倏逝场扰动检测的微机械陀螺-201910495642.6
- 周震;赵玉娇;王奕奕 - 北京航空航天大学
- 2019-06-10 - 2020-11-20 - G01C19/5649
- 本发明公开一种基于波导光栅倏逝场扰动检测的微机械陀螺。该微机械陀螺中，驱动电极和监控电极分布在质量块的两侧；驱动电极一端与质量块固定连接，另一端固定在二氧化硅衬底上；监控电极的一端与质量块固定连接，另一端固定在衬底上；驱动电极利用电场驱动质量块在水平方向上振动；监控电极检测质量块的振动幅度；扰动梁与驱动电极位于质量块的同一侧，扰动梁与质量块的侧边的中央固定连接；激光器的激光出射方向正对光波导的一端，光波导的另一端正对探测器；波导光栅腔体设置在光波导上；波导光栅腔体位于扰动梁的下方且扰动梁位于波导光栅腔体的倏逝场内。本发明能够实现机械结构和光学结构的独立，从而支持机械性能和光学性能的独立优化。
- 电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体-201610147663.5
- 青山孝志 - 精工爱普生株式会社
- 2016-03-15 - 2020-11-06 - G01C19/5649
- 本发明提供一种电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体。所述电路装置能够适当地诊断电路装置的检测电路是否在正常地动作。电路装置包括：检测电路(60)，其从物理量传感器(18)输入构成差分信号的第一、第二检测信号(IQ1、IQ2)；诊断电路(150)。检测电路(60)包括第一、第二电荷/电压转换电路(62、64)。诊断电路(150)包括：第一电容器(C1)，其被设置于输入有第一检测信号(IQ1)的第一输入节点(NA1)与第一节点(N1)之间；第二电容器(C2)，其被设置于输入有第二检测信号(IQ2)的第二输入节点(NA2)与第一节点(N1)之间，且与第一电容器(C1)的电容值不同。在诊断模式时，向第一节点(N1)输入诊断用信号(SFD)。
- 用于微机电陀螺仪的数字控制器-201710326205.2
- 劳利·科林;康斯塔·乌加;拉斯·阿尔托宁 - 株式会社村田制作所
- 2017-05-10 - 2020-08-11 - G01C19/5649
- 本发明涉及用于微机电陀螺仪的数字控制器。提供了用于MEMS陀螺仪的数字控制电路。该数字控制电路包括：数字主回路电路，其被配置成处理数字化的主信号；数字副回路电路，其被配置成处理数字化的副信号；以及数字相移滤波器电路，其被配置成根据数字化的主信号产生两个相移解调信号。数字副回路被配置成使用所述两个相移解调信号对数字化的副信号进行解调。
- 压电半球谐振微陀螺仪的数字信号处理系统-201610566243.0
- 张卫平;汪濙海;欧彬;唐健;刘朝阳;孙殿竣;邢亚亮;王晨阳;崔峰 - 上海交通大学
- 2016-07-18 - 2020-06-12 - G01C19/5649
- 本发明提供一种压电半球谐振微陀螺仪的数字信号处理系统，其中：压电半球谐振微陀螺仪模块在给定反馈信号下被激振或被驱动并产生检测信号和监测信号；数字检波模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的幅值进行检测；数字锁相模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的频率进行检测；数字AGC模块根据数字检波模块提供的幅值信息对输入压电半球谐振微陀螺仪模块信号的幅值进行调整；数字调相模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的相位进行调整；乘法器，确定力平衡反馈模块所需要反馈信号的幅值；力平衡反馈模块向压电半球谐振微陀螺仪模块输出反馈信号。本发明实现了对压电半球谐振微陀螺仪的稳幅稳频控制和数字检测。
- 用于微机电系统陀螺仪的驱动电路和微机电系统陀螺仪-201821473474.8
- S·法奇内蒂 - 意法半导体股份有限公司
- 2018-09-10 - 2019-05-10 - G01C19/5649
- 本公开涉及用于微机电系统陀螺仪的驱动电路和微机电系统陀螺仪。提供了一种用于基于科里奥利效应操作的微机电系统(MEMS)陀螺仪的驱动电路。驱动电路向MEMS陀螺仪的移动质量块提供驱动信号，以使移动质量块的驱动运动以振荡频率振荡。驱动电路包括：输入级，其接收表示驱动运动的至少一个电学量，并基于电学量产生驱动信号；测量级，其基于驱动信号测量驱动运动的振荡幅度；以及控制级，其基于振荡幅度的反馈控制产生驱动信号。测量级执行在其期间驱动信号与幅度阈值具有给定关系的时间间隔的测量，并测量作为时间间隔的函数的振荡幅度。
- 物理量测量装置、电子设备以及移动体-201811265252.1
- 村岛宪行;樋口哲平 - 精工爱普生株式会社
- 2018-10-29 - 2019-05-07 - G01C19/5649
- 物理量测量装置、电子设备以及移动体。物理量测量装置包含：传感器元件，在该传感器元件的驱动电极与第一检测电极之间以及驱动电极与第二检测电极之间形成耦合电容；以及电路装置，其具有驱动电路、检测电路和故障诊断电路，其中，该驱动电路向驱动电极供给驱动信号，该检测电路根据来自第一、第二检测电极的第一、第二检测信号，检测与物理量对应的物理量信息，电路装置具有设置在输入第一、第二检测信号的第一、第二端子与检测电路之间的第一、第二开关，故障诊断电路根据使第一、第二开关的连接状态发生变化时的检测电路的检测结果来进行故障诊断。
- 加速度器-201510452737.1
- 吴骅刚;王雪艳 - 无锡华润上华科技有限公司
- 2015-07-28 - 2019-02-22 - G01C19/5649
- 一种加速度器，包括：加速度传感器，用于输出电信号；采样低通滤波器，与加速度传感器连接，用于定时地对电信号进行采样，并滤掉电信号中的噪声；放大器，与所述采样低通滤波器连接，用于将滤掉噪声的电信号放大；模数转换器，与放大器连接，用于将放大后的电信号转换为数字电信号；功能控制模块，分别与模数转换器、放大器及采样低通滤波器连接，用于将数字电信号进行处理并输出控制信号，以对模数转换器、放大器及采样低通滤波器进行功能控制；振荡器模块，分别与功能控制模块和采样低通滤波器连接，用于根据功能控制信号输出采样信号给采样低通滤波器，以控制采样低通滤波器定时地对所述电信号进行采样。本发明功耗低、成本低。
- 一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构-201510465969.0
- 李孟委;王莉;王宾;吴倩楠;王高 - 中北大学
- 2015-07-31 - 2018-05-22 - G01C19/5649
- 本发明涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本发明将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
- 具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪-201720895640.2
- 华亚平 - 安徽北方芯动联科微系统技术有限公司
- 2017-07-21 - 2018-03-02 - G01C19/5649
- 本实用新型公开了一种具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪，属于传感器芯片设计技术领域，具体是将MEMS陀螺仪的两个可动质量块通过驱动弹簧组件连接在两组驱动频率调节结构的质量块锚点上，两个可动质量块沿Y轴方向对称分布，驱动频率调节电极的固定电极部分制作在紧邻质量块锚点的调节电极锚点上，驱动频率调节电极的可动电极部分沿X轴对称分布于驱动弹簧组件两侧，可动电极部分与固定电极部分构成驱动频率调节电容，这样就减少了衬底不对称形变对质量块锚点与驱动电极锚点间距的影响，也就是稳定了驱动频率调节静电力，改进MEMS陀螺仪性能，提高了MEMS陀螺仪在不同温度下、不同应力环境中的稳定性。
- 一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构-201520572390.X
- 李孟委;王宾;王莉;褚伟航;刘俊 - 中北大学
- 2015-07-31 - 2016-01-20 - G01C19/5649
- 本实用新型涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本实用新型将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
- 电容式陀螺仪敏感端电容配置装置及其配置方法-201410345610.5
- 王辉;邹波 - 深迪半导体（上海）有限公司
- 2014-07-18 - 2014-10-08 - G01C19/5649
- 本发明公开了一种电容式陀螺仪敏感端电容配置装置及其配置方法，该配置装置包括敏感端电容组，并具有分割敏感电容组的横梁，使敏感电容组一分为二。该配置装置的配置方法包括(1)在隔断敏感电容组中间增加一道横梁，使电容组一分为二，使电容组的数目增加一倍；(2)当质量块在哥氏力带动下转动时，转动通过弹性梁传递到横梁，也就是敏感电容组的可动梁；(3)每根横梁的两端由两个弹性梁提供支撑；(4)在弹性梁发生位移时，有相同变化趋势的电容组连接在一起并导通。本发明的有益效果为：增加器件性能对工艺的不敏感性，改善器件对线性加速度的抗干扰能力。同时，通过电容组可动梁的隔离，提高器件的吸合电压。
- 专利分类
