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[发明专利]惯性传感器及惯性计测装置-CN202310443987.3在审
发明人： 泷泽照夫;木暮翔太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明公开了惯性传感器及惯性计测装置，能够不使噪声特性恶化而容易地实施可动体的检查。惯性传感器包括：基体；设置于所述基体的传感器元件；以及覆盖所述传感器元件的盖体，所述传感器元件包括：固定部，固定于所述基体；可动体，能够以与所述基体水平的第一轴为摆动轴摆动；第一旋转弹簧及第二旋转弹簧，连接所述固定部和所述可动体；可动梳齿电极组，设置于所述可动体；固定梳齿电极组，与所述可动梳齿电极组相对，并设置于所述基体；第一检查用电极，设置于所述可动体；以及第二检查用电极，设置于所述基体或所述盖体，并且在俯视时与所述第一检查用电极重叠，在所述俯视时，在所述第一检查用电极设置有多个阻尼调整孔。
惯性传感器装置

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202010125887.2有效
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；第一惯性传感器元件，设置于上述基板；盖，以覆盖上述第一惯性传感器元件的方式与上述基板接合；第一驱动信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一驱动信号端子是向上述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及第一检测信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一检测信号端子是上述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，在俯视观察上述基板时，上述第一驱动信号端子与上述第一检测信号端子设置成之间隔着上述盖。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法-CN202310139332.7在审
发明人： 泷泽照夫;田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法，能够避免伴随着可动体的质量不均匀性的不良情况。物理量传感器检测第三方向上的物理量，包括固定于基板的固定部、一端与固定部连接的支承梁以及可动体。可动体具有可动电极部以及框架部。在固定电极部设置有第一固定电极组和第二固定电极组。在可动电极部设置有第一可动电极组和第二可动电极组。而且，在第一可动电极组设置有向第三方向凹陷的第一凹部，在第二固定电极组设置有向第三方向凹陷的第二凹部，在框架部的第二可动电极组侧的区域设置有向第三方向凹陷的第三凹部。
物理量传感器惯性测量装置以及制造方法

[发明专利]惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置-CN202310028373.9在审
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01C19/5733 文献下载
摘要：本申请提供惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置，其腔体内的传感器不易受到污染。惯性传感器(1)包括基体(2)、与基体(2)相对的盖体(3)、配置于基体(2)与盖体(3)之间的腔体(S)并包括半导体层(23)的功能元件(4)、配置于包围腔体(S)的周边区域(P)并将基体(2)与盖体(3)粘接的粘接层(6)、将连通腔体(S)与外部并配置于周边区域(P)的孔(7)密封的密封部(8)，密封部(8)设置为与盖体(3)和基体(2)相接，并包含盖体(3)的材料和粘接层(6)的材料。
惯性传感器制造方法以及测量装置

[发明专利]陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体-CN201710906663.3有效
发明人： 泷泽照夫;菊池尊行 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于，具有：基板；固定部，其被固定在所述基板上；驱动部，其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动；质量部，其与所述驱动部连接，并沿着所述第一方向进行位移；检测部，其被包含在所述质量部中，且通过所作用的科里奥利力而能够在沿着与所述第一轴正交的第二轴的第二方向上进行位移；以及弹性部，其对所述质量部和所述固定部进行连接，所述弹性部的外周面具有主面、侧面和连接所述主面与所述侧面的连接面，所述连接面具有曲面状的曲面部。
陀螺传感器制造方法电子设备移动

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202010103937.7有效
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-02-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本申请公开了一种惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；传感器元件，设置在基板上；盖，覆盖所述传感器元件，与所述基板接合；以及多个端子，位于所述盖的外侧，与所述传感器元件电连接，所述多个端子包括：输入端子，输入电信号；以及检测端子，检测来自所述传感器元件的信号，在将所述输入端子与所述盖的间隔距离设为L1，将所述检测端子与所述盖的间隔距离设为L2时，为L1＞L2的关系。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202010042054.X有效
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有基板和配置于基板的结构体。另外，结构体具有：与基板在沿Z轴的方向上重叠并具备可动检测电极的检测可动体；支撑所述检测可动体的检测弹簧；使检测可动体相对于基板在沿X轴的方向上驱动的驱动部；固定于基板并与可动检测电极对置的固定检测电极；对检测可动体施加具有与沿X轴的方向不同的第一方向分量的静电引力的第一补偿电极；以及对检测可动体施加具有与第一方向分量反方向的第二方向分量的静电引力的第二补偿电极。并且，第一补偿电极和第二补偿电极中的一方具有调整静电引力的大小的调整部。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]惯性传感器、电子设备、移动体及惯性传感器的制造方法-CN202010334850.0有效
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本申请公开了惯性传感器、电子设备、移动体以及惯性传感器的制造方法。惯性传感器具有：支撑基板；传感器主体，被所述支撑基板支撑；以及接合部件，位于所述支撑基板与所述传感器主体之间，将所述支撑基板与所述传感器主体接合，所述传感器主体具有：基板，通过所述接合部件与所述支撑基板接合；以及静电电容型传感器元件，设置于所述基板的与所述支撑基板相反的一侧，所述基板具有：侧面；所述支撑基板侧的第一主面；以及位于所述侧面与所述第一主面之间且将所述侧面与所述第一主面连接的凹状的台阶部，所述接合部件沿所述第一主面和所述台阶部延伸。
惯性传感器电子设备移动制造方法

[发明专利]惯性传感器以及惯性测量装置-CN202110764282.2在审
发明人： 泷泽照夫;永田和幸;田中悟;山崎成二 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G01C19/5649 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中，能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部，在开口部具有：第二可动体，能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)；第三可动体，能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体，具有突起，上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体，并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。
惯性传感器以及测量装置

[发明专利]陀螺仪传感器、电子设备及移动体-CN202010737300.3在审
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供了陀螺仪传感器、电子设备及移动体，陀螺仪传感器具有：基板(2)；固定部(48)，固定在基板(2)上；驱动部(40)，沿与基板(2)的主面(23)平行的X轴进行驱动；质量部(41)，与驱动部(40)连接，沿第一轴位移；检测部(45)，与质量部(41)连接，能够绕与X轴交叉的Z轴转动，并且能够通过作用于与基板(2)水平的转动运动的科里奥利力而沿Z轴位移；以及弹性部(47)，连接检测部(45)与固定部(48)，固定部(48)在俯视观察时配置在检测部(45)的重心(G)与质量部(41)之间。
陀螺仪传感器电子设备移动

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202010220543.X在审
发明人： 泷泽照夫;田中悟;纸透真一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠；虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠，与所述可动体同电位；以及突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]加速度传感器、电子设备及移动体-CN201911185592.8在审
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供加速度传感器、电子设备及移动体。加速度传感器具有：基板；第一可动体，具备隔着第一摆动轴配置的第一可动部和围绕所述第一摆动轴的旋转力矩小于所述第一可动部的旋转力矩的第二可动部，并且相对于所述基板围绕所述第一摆动轴摆动；第二可动体，具备隔着第二摆动轴配置的第三可动部和围绕所述第二摆动轴的旋转力矩小于所述第三可动部的旋转力矩的第四可动部，并且相对于所述基板围绕所述第二摆动轴摆动；第一固定电极，配置于所述基板，与所述第一可动部相对；第二固定电极，与所述第二可动部相对；第三固定电极，与所述第三可动部相对；第四固定电极，与所述第四可动部相对；以及连结部，连结所述第一可动体和所述第二可动体。
加速度传感器电子设备移动

[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体-CN201510527324.5有效
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供一种机械强度较高的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备底基板(2)以及盖体(3)，且具有封装件(10)和功能元件(4)，所述封装件(10)在内部具有内部空间(S)，所述功能元件(4)被收纳在内部空间(S)中，盖体(3)被形成于在俯视观察时设置在内部空间(S)的周围的隔壁部(32)上，且具有将底基板(2)侧的下表面(3a)与底基板(2)的相反侧的上表面(3b)连通的连通孔(33)，连通孔33经由被形成在底基板(2)上的槽(24)而与内部空间(S)连通。
物理量传感器电子设备以及移动

[发明专利]惯性传感器的制造方法以及惯性传感器-CN201510770845.3有效
发明人： 泷泽照夫;成瀬敦纪;高木成和 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2015-11-12 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： G01P15/02 文献下载
摘要：提供能够抑制密封材料附着在可动体上的惯性传感器的制造方法以及惯性传感器。在本发明所涉及的惯性传感器的制造方法中，惯性传感器包括被配置在由基体与盖体形成的空腔内的可动体，在基体上形成有配线的配线槽，配线槽与空腔连通，配线与可动体电连接，惯性传感器的制造方法包括：通过湿蚀刻而在盖体上形成未贯穿的第一开口部的工序(S4)；对基体与盖体进行接合从而将可动体收纳在空腔中的工序(S6)；在对可动体进行收纳的工序之后，形成对配线槽进行密封的第一密封材料的工序(S8)；在形成第一密封材料的工序之后，通过干蚀刻而使第一开口部贯穿从而形成与空腔连通的贯穿孔的工序(S10)；形成对贯穿孔进行密封的第二密封材料的工序(S12)。
惯性传感器制造方法以及

[发明专利]物理量传感器、复合传感器、电子设备和移动物体-CN201811547213.0在审
发明人： 泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供一种物理量传感器、复合传感器、电子设备和移动物体，物理量传感器能够减小弹性部的尺寸波动导致的检测精度下降。其中，陀螺仪传感器(1)包括：弹性部(43)，具有通过折叠部(430)连接的多个梁部(第一部分(4301a、4301b、4301c、4301d))；结构体(固定驱动部(45))，与多个梁中的位于外侧的外侧梁(第一部分(4301a))相对，当将外侧梁和结构体的间隔设为T1，将多个梁彼此的间隔设为T2时，在T2＜T1的情况下，在外侧梁的结构体侧设置有与外侧梁相对的第一梁(4303)。
物理量传感器结构体复合传感器电子设备移动物体弹性部陀螺仪传感器尺寸波动固定驱动折叠减小梁部检测

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