[实用新型]具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪，属于传感器芯片设计技术领域，具体是将MEMS陀螺仪的两个可动质量块通过驱动弹簧组件连接在两组驱动频率调节结构的质量块锚点上，两个可动质量块沿Y轴方向对称分布，驱动频率调节电极的固定电极部分制作在紧邻质量块锚点的调节电极锚点上，驱动频率调节电极的可动电极部分沿X轴对称分布于驱动弹簧组件两侧，可动电极部分与固定电极部分构成驱动频率调节电容，这样就减少了衬底不对称形变对质量块锚点与驱动电极锚点间距的影响，也就是稳定了驱动频率调节静电力，改进MEMS陀螺仪性能，提高了MEMS陀螺仪在不同温度下、不同应力环境中的稳定性。

主权项

具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪，其特征在于：包括固定在同一衬底上的第一单元和第二单元，第一单元与第二单元相互对称，第一单元与第二单元通过耦合弹簧连接在一起，其中第一单元通过第一连接杆与耦合弹簧连接，第二单元通过第二连接杆与耦合弹簧连接；第一单元和第二单元都包括可动质量块、驱动电极、驱动检测电极、检测电极和驱动频率调节结构；驱动电极位于可动质量块的外侧，驱动电极上的固定驱动叉指与可动质量块上的可动驱动叉指形成叉指式驱动电容；驱动检测电极位于第一单元和第二单元之间，驱动检测电极上的固定驱动检测叉指与可动质量块上的可动驱动检测叉指形成叉指式驱动检测电容；检测电极位于可动质量块的中心位置，检测电极上的固定检测叉指与可动质量块上的可动检测叉指形成叉指式检测电容；每个可动质量块的延伸臂通过驱动弹簧组件连接在两组驱动频率调节结构的质量块锚点上，所述的两组驱动频率调节结构沿Y方向对称分布在可动质量块两侧；所述的驱动频率调节结构包括驱动弹簧组件、质量块锚点、调节电极锚点及驱动频率调节电极，所述的驱动弹簧组件包括内弹簧、外弹簧及把内弹簧和外弹簧连接起来的连接杆，两组驱动弹簧组件沿Y轴对称分布，并通过两根连接杆固定在质量块锚点两侧；两个调节电极锚点沿X轴对称分布于质量块锚点两侧，并固定在衬底上；所述的驱动频率调节电极包括可动电极部分和固定电极部分，固定电极部分连接在两个调节电极锚点上，可动电极部分沿X轴对称分布于驱动弹簧组件两侧，可动电极部分与固定电极部分构成驱动频率调节电容。