[发明专利]一种解耦式双框架微陀螺在审
| 申请号： | 202010910335.2 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN112097751A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 丁希聪;凌方舟;蒋乐跃;刘尧;刘海东;苏云鹏 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（天津）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5747 | 分类号： | G01C19/5747;B81B7/02 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 朱亦倩 |
| 地址： | 300450 天津市滨海新区临港经济区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种解耦式双框架微陀螺，其包括：左驱动质量块组、右驱动质量块组、左哥氏质量块组和右哥氏质量块组，其均为一侧开口的半包围结构，且所述左驱动质量块组和右驱动质量块组的开口相对设置，所述左驱动质量块组和右驱动质量块组对称分布；所述左哥氏质量块组和右哥氏质量块组的开口相对设置；所述左哥氏质量块组和所述左驱动质量块组依次套设在左检测质量块的外围；所述右哥氏质量块组和所述右驱动质量块组依次套设在右检测质量块的外围。本发明所述的解耦式双框架微陀螺实现了检测电容的差分放大，提高了该结构的灵敏度，抑制了微陀螺的机械耦合，提高了微陀螺的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解耦式双 框架 陀螺 | ||
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- 林丙涛;蒋昭兴;翁邦英 - 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 2015-12-08 - 2016-04-13 - G01C19/5747
- 本实用新型公开了一种双端音叉角速度传感器芯片，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接桥的另一端分别与固定块连接。驱动梁的正面和背面至少一个面上设有沿长度方向的凹槽，该凹槽的开口方向与驱动梁的振动方向垂直，在凹槽的内壁以及驱动梁的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极。所述检测梁的侧壁覆盖有平行分开的敏感电极。本实用新型在同等激励电压条件下，音叉内部的电场强度和音叉的激励振幅更高，相同角速度引起的哥式力更大，芯片灵敏度更高。
- 一种双端音叉角速度传感器芯片-201510894930.0
- 林丙涛;蒋昭兴;翁邦英 - 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 2015-12-08 - 2016-03-23 - G01C19/5747
- 本发明公开了一种双端音叉角速度传感器芯片，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接桥的另一端分别与固定块连接。驱动梁的正面和背面至少一个面上设有沿长度方向的凹槽，该凹槽的开口方向与驱动梁的振动方向垂直，在凹槽的内壁以及驱动梁的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极。所述检测梁的侧壁覆盖有平行分开的敏感电极。本发明在同等激励电压条件下，音叉内部的电场强度和音叉的激励振幅更高，相同角速度引起的哥式力更大，芯片灵敏度更高。
- 角速度检测元件-201380064825.3
- 渡边恒介 - 株式会社村田制作所
- 2013-12-04 - 2015-08-26 - G01C19/5747
- 本发明的角速度检测元件(10)的振动体(11)具备：从中心基部(12)设置成十字形的检测梁部(13A～13D)、连接在相邻的检测梁部(13A～13D)之间的外侧连结梁部(14A～14D)及内侧连结梁部(15A～15D)。检测梁部(13A～13D)具备：与中心基部(12)相连的基端检测梁(24)、以及分成三路的中央检测梁(21)、左侧检测梁(22)及右侧检测梁(23)。中央检测梁(21)与两侧的外侧连结梁部(14A～14D)相连，左侧检测梁(22)与左侧的内侧连结梁部(15A～15D)相连，右侧检测梁(23)与右侧的内侧连结梁部(15A～15D)相连。外侧连结梁部(14A～14D)中的相邻的外侧连结梁部进行驱动振动，使得以夹在中间的检测梁部(13A～13D)为边界朝向成为镜像关系的方位发生位移。
- 一种三轴微机电陀螺仪-201410710065.5
- 张廷凯 - 歌尔声学股份有限公司
- 2014-11-27 - 2015-03-25 - G01C19/5747
- 本发明涉及一种三轴微机电陀螺仪，包括：位于中央的环形检测电容；两组驱动电容，位于所述环形检测电容的外侧且沿y轴在原点的两侧对称分布；两组第二检测电容，位于所述环形检测电容的外侧且沿x轴在原点的两侧对称分布；联动部，分别与所述可动驱动电极、所述可动检测电极、以及所述环形上极板的外沿连接。本发明的三轴微机电陀螺仪采用单结构设计，电容式静电驱动和差动电容检测，驱动方式简单，结构紧凑，有利于减小陀螺仪体积，工艺上适合批量生产，并且能够实现良好的测量精度和灵敏度。
- 专利分类
