[发明专利]一种微模组塑封结构及其制造方法在审
申请号: | 202210082500.9 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN114496939A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 李朝;李宝霞;吴玮;王凯;张辽辽;梅志鹏 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/488;H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 崔方方 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种微模组塑封结构及其制造方法,微模组塑封结构包括芯片、倒装凸点、第一焊盘、第二焊盘、塑封材料、焊球和TSV结构体;第一焊盘位于TSV结构体的上表面,第二焊盘位于TSV结构体的下表面,芯片通过倒装凸点键合在第一焊盘上,在第二焊盘上植球形成焊球,塑封材料在TSV结构体上表面对芯片塑封成型。将芯片通过倒装凸点键合在第一焊盘上,在TSV结构体上表面上对芯片进行塑封成型,有效降低了在测试、拿持、转移和后续的加工中对芯片损坏的风险,同时利用传统塑封手段解决了微模组的塑封问题,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 模组 塑封 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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