[发明专利]用于氮化镓高温退火的保护结构及其应用在审
| 申请号： | 202111356887.4 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114068444A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王哲明;张璇;于国浩;张宝顺;邓旭光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01L23/31 | 分类号： | H01L23/31;H01L21/56;H01L21/324 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于氮化镓高温退火的保护结构及其应用。所述用于氮化镓高温退火的保护结构包括：依次层叠设置在氮化镓材料表面的第一保护层、第二保护层和第三保护层，所述第一保护层、第二保护层和第三保护层的材质包括AlN。本发明实施例提供的一种氮化镓高温退火激活的方法，可以避免在GaN表面生长保护层而产生的应力问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氮化 高温 退火 保护 结构 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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