[发明专利]一种无引线预塑封半导体封装支架制备方法有效

专利信息
申请号: 202110774723.7 申请日: 2021-07-09
公开(公告)号: CN113241338B 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 周志国;钟峰 申请(专利权)人: 东莞市春瑞电子科技有限公司
主分类号: H01L23/495 分类号: H01L23/495;H01L23/14;H01L21/48
代理公司: 东莞卓诚专利代理事务所(普通合伙) 44754 代理人: 朱鹏
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种无引线预塑封半导体封装支架制备方法,本发明的无引线预塑封半导体封装支架,包括若干个独立的封装支架单元和非功能区预塑封体,所述封装支架单元的上下表面形成有可邦定焊接的金属镀层,所述非功能区预塑封体为环氧树脂,所述封装支架单元依此通过贴膜,曝光显影,电镀,退膜蚀刻制得;所述非功能区预塑封体通过真空填塞,烘烤,研磨制成,本发明采取蚀刻过程中用粘贴承载板的方式做承载支撑,非功能区预塑封完成后去掉承载板,本发明的封装支架通过预塑封的方式,使蚀刻后每一个独立的支架单元重新形成一个整体,无需引线连接支撑,不但提高了材料的利用率,更解决了封装支架的气密性问题,提升了封装器件的可靠性。
搜索关键词: 一种 引线 塑封 半导体 封装 支架 制备 方法
【主权项】:
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