[发明专利]对位标记结构、基板、掩膜板、基板与掩膜板的对位方法在审
| 申请号： | 202110742485.1 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113540038A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 古海裕;刘威;何春荣;朱春生;王士敏;朱泽力 | 申请（专利权）人： | 深圳莱宝高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 赵智博 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及平面显示技术领域，公开了一种对位标记结构、基板、掩膜板、基板与掩膜板的对位方法。所述对位标记结构设置于基板或掩膜板上，所述对位标记结构包括对位标记及开设于对位标记上的透光孔。本发明提供的对位标记结构、基板、掩膜板、基板与掩膜板的对位方法可提高对位标记的对位精准度及基板与掩膜板间的位置精度，确保产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 标记 结构 基板 掩膜板 方法 | ||
【主权项】：
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