[发明专利]半导体元件及其制备方法在审
申请号: | 202110709967.7 | 申请日: | 2021-06-25 |
公开(公告)号: | CN114068480A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 林昌杰 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L21/768 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本公开提供一种半导体元件及该半导体元件的制备方法。该半导体元件具有一基底、一通道区、多个第一杂质区、一栅极介电层、一栅极下导电层、多个第一接触点、多个可编程隔离层以及一上导电层;该通道区位在该基底中;所述杂质区位在该基底中,且分别位在该通道区的两端上;该栅极介电层位在该通道区上;该栅极下导电层位在栅极介电层上;所述第一接触点分别位在所述第一杂质区上;所述可编程隔离层分别位在所述第一接触点上;该上导电层位在所述可编程隔离层上,且电性连接到该栅极下导电层。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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