[发明专利]半导体结构及其制造方法在审
申请号: | 202110684721.9 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113506782A | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 吕文隆 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/498;H01L23/367;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 北京植德律师事务所 11780 | 代理人: | 唐华东 |
地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本公开提供的半导体结构及其制造方法,通过引线键合实现电子组件和基板之间的电性连接,并利用引线键合(wire bond)实时确定键合起点和键合终点的特性,以最大容许范围来补偿黏晶(Die bond)精度所造成的偏差,并且后续制作重布线层(fan out)只需对齐基板上的线路即可,无需对准电子组件,进而提高了良率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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