[发明专利]集成式数字角速度陀螺仪、预测滤波方法和电子设备有效
| 申请号： | 202011582343.5 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112762918B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 邓永停;李洪文;王建立;邵蒙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719;G01C19/5726 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于数据处理技术领域，具体涉及一种集成式数字角速度陀螺仪、预测滤波方法和电子设备。本发明一种集成式数字角速度陀螺仪，包括顺次信号连接的角速度陀螺仪、DSP微型控制器和串口接口，所述DSP微型控制器包括预测滤波模块，所述预测滤波模块根据角速度陀螺仪传输的角速度信号进行处理，从串口接口输出预测滤波信号。本发明集成式数字角速度陀螺仪能够准确的对角速度数据进行滤波处理，同时能够对角加速度进行准确预测，能够大幅度提高系统控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 数字 角速度 陀螺仪 预测 滤波 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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- 径向支撑体声波硅微陀螺仪-201420716782.4
- 司红康 - 司红康
- 2014-11-26 - 2015-04-01 - G01C19/5719
- 本实用新型公开了一种微机电技术领域的径向支撑体声波硅微陀螺仪，包括圆盘形谐振子，侧向支撑臂，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的电容检测电极，检测电极固定凸台和基板。陀螺采用圆盘状谐振子的2个面内四波幅波节频率匹配模态作为驱动模态和检测模态，陀螺的所有结构全部在(111)硅片上通过微机械电子加工工艺实现。陀螺利用在侧向支撑的方式支撑圆盘形谐振子，通过静电驱动和三角放大机构放大检测模态的位移输出的方法测量角速度的输入，提高了陀螺的灵敏度，大大简化了体声波硅微陀螺的制作工艺，降低了生产成本，提高了陀螺的抗冲击能力，减小了陀螺的零偏，提高了陀螺的精度。
- 高灵敏度体声波硅微陀螺仪-201420677978.7
- 司红康 - 司红康
- 2014-11-14 - 2015-04-01 - G01C19/5719
- 本实用新型公开了一种微机电技术领域的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，包括圆盘形谐振子，支撑圆柱，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的检测电极，检测电极固定凸台和基板。陀螺采用圆盘状谐振子的2个面内四波幅波节频率匹配模态作为驱动模态和检测模态，所有结构全部在(111) 晶向的硅片上通过微机械电子加工工艺实现。陀螺利用基于杠杆原理的位移放大机构将检测模态下的微小位移输出放大，提高了陀螺的灵敏度，大大简化了体声波硅微陀螺的加工工艺，降低了生产成本。
- 高灵敏度体声波硅微陀螺仪-201410640477.6
- 司红康 - 司红康
- 2014-11-14 - 2015-03-25 - G01C19/5719
- 本发明公开了一种微机电技术领域的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，包括圆盘形谐振子，支撑圆柱，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的检测电极，检测电极固定凸台和基板。陀螺采用圆盘状谐振子的2个面内四波幅波节频率匹配模态作为驱动模态和检测模态，所有结构全部在(111)硅片上通过微机械电子加工工艺实现。陀螺利用基于杠杆原理的位移放大机构将检测模态下的微小位移输出放大，提高了陀螺的灵敏度，大大简化了体声波硅微陀螺的加工工艺，降低了生产成本。
- 振动元件、电子装置、电子设备以及移动体-201410137013.3
- 市川史生 - 精工爱普生株式会社
- 2014-04-04 - 2014-10-15 - G01C19/5719
- 本发明涉及一种振动元件、电子装置、电子设备以及移动体，其中，振动元件具备：基部；支承臂，其从所述基部延伸出；驱动用振动臂，其从所述支承臂起向与所述支承臂的延伸方向交叉的方向延伸出；驱动部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具有第一电极层、第二电极层以及被设置于所述第一电极层与所述第二电极层之间的第一压电体层，并且所述第一电极层被配置于所述驱动用振动臂侧；监测部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具有第三电极层、第四电极层以及被设置于所述第三电极层与所述第四电极层之间的第二压电体层，所述第三电极层被配置于所述驱动用振动臂侧，并且所述监测部对所述驱动用振动臂的振动进行检测。
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