“郭中洋”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果31个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种采用多振子耦合的微机械谐振器-CN202223417046.2有效
发明人： 郭中洋 -专利权人：安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本实用新型公开一种采用多振子耦合的微机械谐振器，包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动/检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点，振子、驱动/检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布，振子与耦合梁相连，耦合梁与支撑梁相连，支撑梁与锚点相连，驱动/检测电极位于振子上面、振子内部和/或振子外部。本实用新型的微机械谐振器采用多个振子，且各振子之间相互耦合，可以利用其中一个或多个振子进行驱动，剩余的振子进行检测，实现驱动电极和检测电极在空间上隔离，降低驱动信号到检测端的耦合；采用驱动振子和检测振子分开，便于使用差分的方式对振子进行驱动或检测，提高谐振器抗干扰能力。
一种采用多振子耦合微机谐振器

[发明专利]一种采用多振子耦合的微机械谐振器-CN202211640819.5在审
发明人： 郭中洋 -专利权人：安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本发明公开一种采用多振子耦合的微机械谐振器，包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动/检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点，振子、驱动/检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布，振子与耦合梁相连，耦合梁与支撑梁相连，支撑梁与锚点相连，振子、耦合梁、支撑梁、锚点共同组成框架结构，驱动/检测电极位于振子上面、振子内部和/或振子外部。本发明采用多个振子，且各振子之间相互耦合，可以利用其中一个或多个振子进行驱动，剩余的振子进行检测，实现驱动电极和检测电极在空间上隔离，降低驱动信号到检测端的耦合；采用驱动振子和检测振子分开，便于使用差分的方式对振子进行驱动或检测，提高谐振器抗干扰能力。
一种采用多振子耦合微机谐振器

[实用新型]一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺-CN202123190662.4有效
发明人： 郭中洋 -专利权人：安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司
申请日： 2021-12-18 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01C19/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺，包括一组以上的杠杆耦合检测机构、驱动电容、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构和菱形耦合机构，杠杆耦合检测机构与外解耦机构相连，外解耦机构与检测质量块相连，检测质量块与内解耦机构相连，相邻的内解耦机构之间通过菱形耦合机构相连，所述各机构和驱动电容通过各自的锚点固定。采用压阻/压电检测，有利于减小陀螺体积，提高精度；采用杠杆耦合检测机构和菱形耦合机构，提高陀螺力学环境适应性；压阻/压电检测梁与杠杆相连，提高陀螺灵敏度；杠杆两端通过外解耦合机构与检测质量块相连，有利于提高陀螺灵敏度和精度。
一种采用压电检测微机陀螺

[发明专利]一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺-CN202111556879.4在审
发明人： 郭中洋 -专利权人：安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司
申请日： 2021-12-18 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01C19/02 文献下载
摘要：本发明公开一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺，包括一组以上的杠杆耦合检测机构、驱动电容、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构和菱形耦合机构，杠杆耦合检测机构与外解耦机构相连，外解耦机构与检测质量块相连，检测质量块与内解耦机构相连，相邻的内解耦机构之间通过菱形耦合机构相连，所述各机构和驱动电容通过各自的锚点固定。采用压阻/压电检测，有利于减小陀螺体积，提高精度；采用杠杆耦合检测机构和菱形耦合机构，提高陀螺力学环境适应性；压阻/压电检测梁与杠杆相连，提高陀螺灵敏度；杠杆两端通过外解耦合机构与检测质量块相连，有利于提高陀螺灵敏度和精度。
一种采用压电检测微机陀螺

[发明专利]高精度集成化微惯性测量单元及惯性导航系统-CN201910638589.0有效
发明人：刘飞;申燕超;杨星辉;梁文华;王汝弢;郭中洋;张菁华 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2019-07-16 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01C21/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种高精度集成化微惯性测量单元及惯性导航系统，该微惯性测量单元包括：电路模组、柔性部件和安装骨架，电路模组包括综合信息处理电路模块、陀螺电路模块单元和加速度计电路模块单元，柔性部件用于电连接电路模组中的任意两个电路模块以实现电路模组的一体化，电路模组中的七个电路模块一一对应设置在七个安装台面上。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中因陀螺和加速度计的台体构造和互连部件较为复杂所导致的在同等精度条件下微惯性测量单元体积较大的技术问题。
高精度集成化惯性测量单元导航系统

[发明专利]一种集成化微PNT单元-CN201711128909.5有效
发明人： 郭中洋;刘飞;盛洁;苏翼;夏春晓;王登顺;刘凯;崔健;林梦娜 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本发明属于定位导航授时(PNT)领域，具体涉及一种集成化微PNT单元；包括中心微时钟模块和外侧微惯性模块；中心微时钟模块的锚点位于中心，锚点的外部分布有若干圆环，圆环与圆环之间均匀分布有径向短梁，外电极分布在最外围，工作时，通过静电力作用和闭环反馈实现稳定控制，对外提供稳定的频率信息；微惯性模块的环形锚点位于中心，圆环位于外侧，圆环与环形锚点之间均匀分布有组合梁，圆环的内、外侧均匀分布有平面外电极和平面内电极、圆环上下表面分布有离面电极，实现X、Y、Z三轴向加速度输入和X、Y、Z三轴向角运动输入的敏感。本发明整体可通过MEMS平面工艺实现，不涉及微观层面的多层堆叠和精密组装，实现工艺较为简单。
一种集成化 pnt 单元

[发明专利]一种SOI微半球陀螺敏感结构-CN201611139815.3有效
发明人： 郭中洋;杨军;刘飞;盛洁;窦茂莲;苏翼;夏春晓;刘韧;王登顺;崔健;林梦娜;刘凯 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明属于惯性测量技术领域，涉及一种微半球陀螺，具体涉及一种SOI微半球陀螺敏感结构，该结构包括中心半球谐振子、环形电极、电极绝缘层、离散电极和底座；中心半球谐振子为中心对称结构，包括半球壳体和底部支撑柱；底部支撑柱设置在半球壳体正下方，并与底座固定连接；环形电极和离散电极设置在中心半球谐振子的外侧圆周，并与中心半球谐振子之间形成间隙，环形电极设置在离散电极上，并与离散电极之间通过电极绝缘层实现隔离，离散电极设置在底座上；中心半球谐振子的半球壳体上部自由端至少与环形电极上端面保持齐平。本发明可实现角度(速率积分)工作模式，该工作模式避免了角速率的积分误差等环节，可确保高线性度和大动态测量范围。
一种 soi 半球陀螺敏感结构

[发明专利]用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构-CN201910646053.3在审
发明人：刘飞;孙刚;王汝弢;郭中洋;张菁华 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： F16F15/08 文献下载
摘要：本发明提供一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构，能够解决现有技术中用于MEMS惯性仪表系统的减振结构所存在的技术问题。该MEMS惯性仪表系统包括MEMS惯性仪表和配套的印制电路板，MEMS惯性仪表设置在印制电路板上，该一体化减振结构包括：连接组件和一体化减振器，连接组件套设在MEMS惯性仪表的外侧，用于将一体化减振器与MEMS惯性仪表连接，连接组件沿着MEMS惯性仪表的周向具有环形空腔；一体化减振器用于MEMS惯性仪表系统的减振，其包括多个形状相同的减振元件，多个减振元件沿着环形空腔的周向间隔设置在空腔内，多个减振元件呈中心对称且采用相同弹性材料制成，其中，多个减振元件通过一体成型方式设置在空腔内。
惯性仪表减振结构减振元件一体化连接组件减振器印制电路板环形空腔空腔一体成型方式中心对称周向间隔配套的减振

[发明专利]一种音叉型微机电陀螺-CN201510144495.X有效
发明人： 郭中洋;杨军;刘飞;盛洁;崔健;王登顺;林梦娜 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明属于惯性测量技术领域，具体涉及一种微机电陀螺。一种音叉型微机电陀螺，其中，包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分，在布局上呈左右对称布置，并且左部分或右部分呈上下对称布置，左部分或右部分均包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分。本发明的效果是：能够抑制耦合误差，减小能量损失、获取高灵敏度，解决无耦合和低耦合引起的相差、频差难题，提高陀螺的环境适应能力。
一种音叉微机陀螺

[发明专利]一种电容式微加速度计敏感结构-CN201510979830.8有效
发明人： 郭中洋;杨军;刘飞;孙刚;盛洁;胡兴雷;窦茂莲;林梦娜;夏春晓 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明属于惯性测量技术领域，具体公开一种电容式微加速度计敏感结构。它包括上极板、中间摆片微结构和下极板；上极板、中间摆片微结构、下极板之间两两通过键合层连接；中间摆片微结构包括边框和包围在边框内的弹性减薄梁、质量块；弹性减薄梁的上下表面各设有位置交错凹形槽，凹形槽的底部与弹性减薄梁中性面平齐；凹形槽内设有电极引线，电极引线包括上凹形槽电极和下凹形槽电极；上凹形槽电极与质量块上表面电极连通，下凹形槽电极和质量块下表面电极连通；质量块的末端上下表面各设有止挡凸台，用于限制质量块在强振动或大冲击作用下的位移。本发明最大限度屏蔽受力及温度变形对敏感结构的影响，实现误差抑制，获取更高性能。
一种电容式微加速度计敏感结构

[发明专利]一种MEMS硅结构的激光刻蚀方法-CN201711224703.2在审
发明人： 郭中洋;刘飞;窦茂莲;盛洁;苏翼;夏春晓;王登顺;刘凯 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明属于微加工技术领域，涉及一种MEMS硅结构的激光刻蚀方法；该方法包括以下步骤：激光束经物镜对硅材料表面进行局部辐照，硅材料吸收部分能量后被加热；辐照区域表面融化成熔融区，被融化的部分硅材料汽化成烟流和熔融飞溅物，被融化的部分散落在硅材料加工表面形成固体飞溅物；激光辐照结束，硅材料冷凝，硅材料辐照区域呈现热影响区和裂痕。本发明在不改变激光束平均功率和脉宽的条件下，通过减小激光器重复频率、提高单次脉冲能量可减少重铸层影响和周围飞溅物污染；通过离焦量补偿，获得最大的局部辐照强度、最小的刻蚀直径并减轻刻蚀飞溅；通过辅助真空环境，减少激光传递过程中的耗散，获得相对较高的辐照强度并减少热影响区。
硅材料飞溅物融化辐照区域激光刻蚀局部辐照热影响区硅结构激光束刻蚀激光器重复频率单次脉冲能量汽化硅材料加工微加工技术辐照表面形成辅助真空激光传递激光辐照平均功率冷凝离焦量熔融区重铸层裂痕飞溅耗散减小脉宽熔融物镜烟流加热散落污染吸收

[发明专利]一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法-CN201711193470.4在审
发明人：陈训浩;杨星辉;郭中洋;申燕超 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明属于测温技术领域，具体涉及一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法。在全温范围变化下，采集恒定角速度输入下的陀螺输出与温度传感器输出，建立标度引述得三阶静态温度模型，建立标度因数残差值得一阶动态温度模型确定标度因数残差值，得出标度因数温度动态拟合值，最后得出补偿后的陀螺角速度输出，本方法能够提高全温范围内标度因数补偿效果，大大改善了补偿精度。具体的标度因数温度补偿方法是进行全温动态匀速温变速率后，使得陀螺能经历所有温度状态，再有选择性的选取常用静态温度点进行静态测试。
标度因数温度补偿温度模型陀螺仪陀螺温度传感器输出恒定角速度输入范围变化静态测试陀螺输出温度动态温度状态因数补偿温度点标度残差测温内标拟合三阶一阶采集输出

[发明专利]一种环形微机电陀螺敏感结构-CN201711129755.1在审
发明人： 郭中洋;刘飞;盛洁;苏翼;夏春晓;王登顺;窦茂莲;刘凯 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明属于惯性测量技术领域，具体涉及一种环形微机电陀螺敏感结构；该结构包括外环、锚接点、组合梁、驱动电极组、检测电极组和调谐电极组；锚接点位于中心，外环通过多个组合梁与锚接点连接，外环与锚接点同心，外环的上、下底面悬空设置，驱动电极组和检测电极组交替均布设置在外环外侧，调谐电极组均布设置在外环内侧；工作时，外环在驱动电极组静电力作用下保持驱动模态振型，当外界有角速率作用时，通过哥式力耦合，激发检测模态振型，检测电极组通过检测电容间隙的变化实现外界输入的感测，调谐电极组实现驱动和检测模态的频率匹配。本发明采用中心单点支撑对称结构，锚点在驱动和检测模态的振形节点位置，大幅降低支撑损耗，获取高Q值。
锚接点调谐检测电极驱动电极电极组微机电陀螺均布设置敏感结构检测模组合梁静电力作用驱动单点支撑对称结构惯性测量激发检测检测电容节点位置模态振型频率匹配驱动模态悬空设置力耦合下底面感测锚点振型同心支撑

[发明专利]一种LCC封装应力释放结构-CN201410720844.3有效
发明人：杨军;郭中洋;刘飞;王登顺;盛洁;胡兴雷;窦茂莲 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2014-12-02 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明属于封装领域，具体涉及一种LCC封装应力释放结构。一种LCC封装应力释放结构，包括与芯片外形匹配的应力释放结构，应力释放结构上设置锚点和支撑点，锚点和支撑点之间通过连接梁连接。本发明的效果是：1)在不改变原有LCC壳体材料、增大工艺成本的前提下，通过应力释放结构能够有效降低因材料热膨胀系数不匹配导致的热应力。2)在不显著增大体积的前提下，通过位于LCC壳体内部的应力释放结构能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，降低机械应力、防护芯片，提升系统的力学环境适应性。
一种 lcc 封装应力释放结构

[发明专利]一种MEMS陀螺模态匹配电压自动测试方法-CN201410554758.X有效
发明人：崔健;王晓磊;郭中洋;林梦娜;杨军 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2014-10-17 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： G01C19/5719 文献下载
摘要：本发明是一种MEMS陀螺模态匹配电压自动测试方法。包括如下步骤：步骤1、在MEMS陀螺驱动模态的驱动电极和驱动检测电极间加入驱动闭环控制回路，使得所述MEMS陀螺驱动模态在其谐振频率处振动，并保持指定的恒定幅度，获取此时的驱动位移电压信号VDP；步骤2、将MEMS陀螺敏感模态检测电极连接前置读出电路，将陀螺敏感模态所产生的正交误差位移变化量经所述前置读出电路转换为电压变化量，获得陀螺敏感模态的正交误差电压信号Vsp；步骤3、通过调节输入至陀螺敏感模态的控制量VT，使得所述驱动位移电压信号VDP和所述正交误差电压信号Vsp的相位差为0，得到此时的控制量VT为模态匹配电压。能够实时自动测试不同环境温度下的模态匹配电压。
一种 mems 陀螺匹配电压自动测试方法

1
2
3
下一页»
尾页
共 31 条