[发明专利]热传导测量仪有效
| 申请号： | 201980026369.0 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN112005089B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | G·A·布鲁克;T·C·斯文尼 | 申请（专利权）人： | 万机仪器公司 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王万影;王小东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 热传导测量仪对腔室内的气压进行测量。传感器线和电阻器形成联接在功率输入端与地之间的电路，其中，传感器线延伸进入腔室中并且经由端子连接至电阻器。控制器根据端子处的电压和功率输入端处的电压来调节功率输入，以使传感器线达到目标温度。基于调节后的功率输入，控制器可以确定腔室内的气压的度量值。 | ||
| 搜索关键词： | 热传导 测量仪 | ||
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- 一种微型真空传感器-201810193621.4
- 马永杰;张庆瑜;肖静祎 - 大连理工大学
- 2018-03-09 - 2018-09-07 - G01L21/12
- 本发明属于真空测量技术领域，涉及一种微型真空传感器。该传感器包括衬底、敏感元件、阳极、阴极、电极导线和直流恒流电源；衬底由绝缘绝热的材料制成；敏感元件由钴基镧系钙钛矿材料制成，沉积在衬底上；阳极和阴极分别固定在敏感元件的两端，并通过电极导线分别与直流恒流电源的两极相连。本发明通过测量敏感元件电阻的大小即可间接测量出真空度的大小，由于该装置的尺寸小并且可以在较低电流的驱动下实现测量，无需大体积的真空测量装置以及高电流高电压的测试条件，既安全又便于测量。本发明利用了镧系钴基钙钛矿材料具有的高电阻温度系数的特点，以及绝热衬底对热量保持的优势，实现了微型化的同时，对真空度实现高灵敏度稳定测量。
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