[实用新型]检测真空度用的连接端子有效
| 申请号： | 201721895940.7 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN208383383U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李涛 | 申请（专利权）人： | 李涛 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 张敏;殷海霞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及检验检测技术领域，尤其涉及一种检测真空度用的连接端子。从上述的技术方案可以看出，本实用新型中的支撑端子穿设在壳体和支撑件上，可以保证在振动时，该螺旋细丝与第一支撑机构同步振动，防止螺旋细丝被拉断；细丝为螺旋形结构，可以有效防止振动，避免被拉断，同时增加了接触面积，缩小了整个装置的长度，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 细丝 本实用新型 连接端子 拉断 螺旋形结构 检验检测 同步振动 支撑端子 支撑机构 支撑件 种检测 壳体 检测 节约 保证 | ||
【主权项】：
1.一种检测真空度用的连接端子，其特征在于，包括安装在待检测对象上的壳体，以壳体安装到待测量对象上的方向为前方而保持壳体后侧的气密性的第一密封件，所述第一密封件上穿设有支撑端子，所述支撑端子上连接有螺旋细丝，所述支撑端子的前端贯穿第二密封件，所述第二密封件上设有用于支撑所述螺旋细丝的支撑件。
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- 夏文;张威;苏卫国;李雷;万松 - 北京大学
- 2014-03-19 - 2015-09-23 - G01L21/12
- 本发明公开了一种带有参考真空室的MEMS皮拉尼计。其特征在于，同一衬底上的两个微型皮拉尼计，其中一支真空封装在参考室内。将两支皮拉尼计一起置于测试环境中，同时输入相同的激励信号，通过外围电路测出对应的输出信号。其中真空封装的皮拉尼计不受所测环境真空度的影响，其阻值的变化主要由环境温度引起。未封装的皮拉尼计的阻值则同时受到环境气压和环境温度的影响。将两支皮拉尼计测得的输出信号差作为真空度测量信号，即可消除环境温度造成的皮拉尼计读数误差。
- 一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法-201410153557.9
- 苑伟政;王伟康;任森;孙小东;陈旭辉 - 西北工业大学
- 2014-04-17 - 2014-08-06 - G01L21/12
- 本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的两侧散热体2和一个中间散热体梳齿3；两侧散热体梳齿2、中间散热体梳齿3分别与加热体5相互咬合。有益效果：加热体与锚点有四个连接点，与相同长度的加热体相比，增强了其机械强度；工艺过程中不存在键合、淀积等工艺，避免了加热体由于热膨胀导致的塌陷、折断等问题；散热体除了器件层的结构外，基底同时也作为散热体，且加热体与竖直方向夹角为（2±1）°，有利于散热，从而缩短了皮拉尼计的响应时间。
- 微机械真空传感器-201320441949.6
- 郭俊 - 无锡微奇科技有限公司
- 2013-07-24 - 2014-03-12 - G01L21/12
- 实用新型涉及一种微机械真空传感器，包括设置在微桥面单元两端的第一导热桥臂及第二导热桥臂，第一导热桥臂及第二导热桥臂分别通过第一连接桥墩及第二连接桥墩与第一支撑点及第二支撑点相连，所述第一支撑点及所述第二支撑点位于微桥面单元的下方并与微桥面单元之间存在间隙；微桥面单元的上表面上设置有电阻式温敏涂层，所述微桥面单元上表面的相对两侧分别设置有桥面电气连接走线，第一导热桥臂及第二导热桥臂上分别设置有与相应的桥面电气连接走线相连的桥臂电气连接走线，两条桥臂电气连接走线分别延伸至相应的支撑点。本实用新型通过测量桥面电阻推算环境的真空度，具有灵敏度高、体型小以及和CMOS工艺兼容等显著优点。
- 微机械真空传感器-201310312222.2
- 郭俊 - 无锡微奇科技有限公司
- 2013-07-24 - 2013-12-04 - G01L21/12
- 本发明涉及一种微机械真空传感器，包括设置在微桥面单元两端的第一导热桥臂及第二导热桥臂，第一导热桥臂及第二导热桥臂分别通过第一连接桥墩及第二连接桥墩与第一支撑点及第二支撑点相连，所述第一支撑点及所述第二支撑点位于微桥面单元的下方并与微桥面单元之间存在间隙；微桥面单元的上表面上设置有电阻式温敏涂层，所述微桥面单元上表面的相对两侧分别设置有桥面电气连接走线，第一导热桥臂及第二导热桥臂上分别设置有与相应的桥面电气连接走线相连的桥臂电气连接走线，两条桥臂电气连接走线分别延伸至相应的支撑点。本发明通过测量桥面电阻推算环境的真空度，具有灵敏度高、体型小以及和CMOS工艺兼容等显著优点。
- 专利分类
