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[发明专利]利用微波辐射能量对原子层沉积制程进行微波辅助表面化学退火的微波系统-CN202280013028.1在审
发明人：莫罕马德·卡马勒喜;伊利亚·波奇多夫;肯尼斯·崔恩霍姆 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2022-02-02 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：揭示一种用于一微波辅助热原子层沉积系统内的微波系统，其包括：至少一个微波产生器，其经组态以输出至少一个微波信号；至少一个波导总成，其与该至少一个微波产生器连通且经组态以接收该微波信号；一或多个隔离器，其定位在该波导总成内且经组态以减少或消除该微波信号从该波导总成到该至少一个微波产生器的反向散射；至少一个调谐装置，其定位在该波导总成内且经组态以从该隔离器接收该微波信号并调谐该微波信号；以及至少一个微波递送装置，其与该至少一个波导总成连通且经组态以将该微波信号的至少一部分导引至该微波辅助热原子层沉积系统的至少一个处理腔室中。
利用微波辐射能量原子沉积进行辅助表面化学退火系统

[发明专利]用于远程等离子源的自由基输出监控器和使用方法-CN201980038899.7有效
发明人：麦可·哈里斯;戴璆瑛;阿图·古柏塔 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本申请记载了一种在处理系统中使用的用于对远程等离子源的等离子源进行自由基监控的装置，并且所述装置包含：至少一个气体源；等离子源主体，所述等离子源主体具有至少一个通道，所述至少一个通道具有至少一个通道表面；第一热传感器收纳器，所述第一热传感器收纳器在所述等离子源主体内而形成在所述通道的所述通道表面附近；第一热传感器，所述第一热传感器定位在所述第一热传感器收纳器内，所述第一热传感器被配置成测量所述通道表面的第一温度；第二热传感器收纳器，所述第二热传感器收纳器在所述等离子源主体内而形成在所述通道的所述通道表面附近，并且被配置成在第二位置处测量所述通道的所述通道表面的第二温度。
用于远程离子源自由基输出监控器使用方法

[发明专利]用于高温压力传感器的热隔离的设备和方法-CN201980040714.6有效
发明人：奥瑞·沙马什;艾伦·路德维泽夫斯基;克林顿·L·珀西;鲍里斯·曼达日耶夫 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：一种高温压力传感器包括压力传感装置和在压力传感器装置外的用于向压力传感器装置提供热量的加热器壳体。颗粒生成隔离材料被封装在封装材料内以形成封装隔离结构，该结构包括所述封装材料内的颗粒生成隔离材料，使得所述封装材料基本上容纳由封装隔离结构内的颗粒生成隔离材料所生成的颗粒。该封装隔离结构邻近加热器壳体的外部设置。
用于高温压力传感器隔离设备方法

[发明专利]主动冷却的真空隔离阀-CN201780020275.3有效
发明人：戈登·希尔;大卫·F·布罗耶尔;大卫·C·诺伊迈斯特;布拉德利·雷蒙德·勒费夫尔 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2017-04-10 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：一种冷却隔离阀，包括阀体、联接至阀体的固定元件以及可相对于固定元件在闭合位置与打开位置之间移动的可移动闭合元件，在该闭合位置，可移动闭合元件和固定元件结合在一起。可移动闭合元件和固定元件之一包括密封元件。在可移动闭合元件的闭合位置，密封元件在可移动闭合元件与固定元件之间提供密封。流体通道形成为与可移动闭合元件接触并且可相对于固定元件随可移动闭合元件移动，使得流体通道中的流体在可移动闭合元件中实现热传递。一种隔离阀的波纹管可以包括带有陶瓷涂层的金属基材。
主动冷却真空隔离

[发明专利]用于利用浓度测量进行脉冲气体输送的方法和装置-CN202180008989.9在审
发明人： J·叶;V·萨普塔里;J·丁 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2021-01-11 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种系统和方法通过测量处理气体的浓度、并基于接收到的处理气体的浓度来控制在气流脉冲中输送的气体混合物的量，来针对脉冲气体输送的每个脉冲提供更精确的处理气体的摩尔输送量。可以通过调整流量设定点、脉冲持续时间或两者来实现针对每个脉冲的摩尔输送量的控制。
用于利用浓度测量进行脉冲气体输送方法装置

[发明专利]具有离子源的气体分析器系统-CN202080081522.2在审
发明人： G·A·布鲁克尔;T·C·斯文尼;C·L·珀西 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01J49/28 文献下载
摘要：气体分析器系统使用可为热阴极离子源的离子源。定位磁铁组件以界定磁场，所述磁铁组件允许基于其离子的质荷比来分开离子分量。使用离子束偏转器、例如一对偏转板，可横越侦测器扫描离子分量。离子束偏转器横越磁场及横越由离子源发射的离子的行进方向界定偏转电场。
具有离子源气体分析器系统

[发明专利]气体测量系统-CN201780043623.9有效
发明人： P·泽梅克;R·M·卡兰杰洛;叶宏柯;A·赖特 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2017-07-25 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本文中呈现用于将天然气管路中的例如H2S或H2O等痕量级及/或超痕量级的物质量化的系统及方法。所述系统及方法采用可调谐激光器，例如可调谐二极管激光器、垂直腔面发射激光器VCSEL、外部腔二极管激光器或垂直外部腔面发射激光器VECSEL或者可调谐量子级联激光器QCL。所述激光器以从约0.1Hz到约1000Hz的扫描频度产生在一组一或多个相对狭窄的高分辨率波长频带内的输出束。包括痕量级所关注物质的天然气样本通过流动池，来自所述激光器的所述输出束被引导到所述流动池中。光学检测器从所述流动池接收光，产生指示吸收衰减的信号，依据所述信号确定所述痕量物质的浓度。
气体测量系统

[发明专利]利用相位链接的固态发生器模块进行发电的系统和方法-CN202080040351.9在审
发明人：穆罕默德·卡马雷希;穆罕默德·沙欣;肯尼斯·特伦霍姆;布莱恩·加利文;弗朗西斯科·布拉吉洛里 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H03L7/193 文献下载
摘要：一种等离子体生成系统和方法包括连接的固态发生器模块。固态发生器可以被连接到共享参考时钟以生成输出，和/或可以使用相位优化技术进行组合。
利用相位链接固态发生器模块进行发电系统方法

[发明专利]低剖面加热器设备及制造方法-CN202080024825.0在审
发明人：杰佛瑞·D·奇尔南 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H05B3/34 文献下载
摘要：公开一种新颖的低剖面加热器设备及制造方法，所述低剖面加热器设备提供下部组合件，所述下部组合件包含第一片材、包含至少一个加热元件的加热片、介电片、中间片材，和被配置成将电力供应到所述加热元件的一个或多个电导线，所述电导线延伸穿过上部组合件的导线套筒。所述上部组合件包含具有牢固地附接到其的一个或多个裂缝套筒的顶部片材，借此形成被配置成防止对所述电导线的损坏的一个或多个应变消除组合件。一个或多个拼接件或联接特征将所述上部组合件牢固地附接到所述下部组合件。使用一个或多个保持装置将所述低剖面加热器设备牢固地保持到管道设备的一个或多个管子、管件或导管。
剖面加热器设备制造方法

[发明专利]加热式节流阀装置及使用与制造方法-CN202080025421.3在审
发明人：罗伯特·M·柯里;安卓·柯威 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2020-04-17 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： F16K1/22 文献下载
摘要：本文公开一种加热式节流阀装置，其包含具有阀驱动器的阀系统，所述阀驱动器被配置成经由热隔离驱动耦合器将旋转力提供到阀组合件，所述热隔离驱动耦合器被配置成防止热能从所述阀组合件传递到所述阀驱动器。所述阀组合件包含阀主体和阀闭合部件、阀轴杆，其中阀轴杆加热器在第一加热区中且一个或多个主体加热器在第二加热区中，从而允许使用者独立地控制所述加热区中的温度。提供电导体应变消除，其被配置成在所述阀闭合部件经历角定向的改变时消除轴杆加热器电导体中的应变。所述电导体应变消除包含具有缠绕在第一连接区域和第二连接区域之间的曲线形状的柔性部件。
加热节流阀装置使用制造方法

[发明专利]臭氧水输送系统及其使用方法-CN201980054540.9在审
发明人：海恩利希·赛威特;克里斯提恩·勒提克;乌尔利希·布拉莫 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： C02F1/78 文献下载
摘要：本申请公开了一种臭氧水输送系统，所述臭氧水输送系统包含：至少一个接触装置，所述至少一个接触装置与被配置成提供超纯水的至少一个超纯水源连通；至少一个超纯水导管，所述至少一个超纯水导管耦接到所述超纯水源；至少一种溶液，所述至少一种溶液通过所述超纯水导管与所述接触装置和所述超纯水源连通；一个或多个气体源，所述一个或多个气体源含有至少一种气体、与所述超纯水源、所述超纯水导管和溶液导管中的至少一个连通；至少一个混合气体导管，所述至少一个混合气体导管与所述气体源和所述接触装置连通并且被配置成向所述接触装置提供至少一种混合气体；以及至少一个臭氧水输出导管，所述至少一个臭氧水输出管可以与所述接触装置连通。
臭氧输送系统及其使用方法

[发明专利]可修整式加热器-CN201680052225.9有效
发明人： J·基尔南;K·豪斯曼;P·多索雷兹 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： H05B3/58 文献下载
摘要：可修整的加热器装置(10)包括可彼此分离的多个加热器装置区段(20、22、23、26、28)。加热器装置(10)包括加热器垫(30)，所述加热器垫具有一起构成加热器垫(30)长度的多个加热器垫区段(32、34、36、38、40)。每个加热器垫区段具有连接到用于产热的电力总线(52)的区段加热器元件(42、44、46、48、50)。具有相应的加热器垫区段的一个或多个加热器装置区段可以从其他加热器区段分离并从加热器装置移除，以将加热器装置的长度修整到期望的长度。在加热器装置上的加热器垫区段边界标记指示位置，在所述位置处，加热器垫区段的一者可从加热器垫的其他的剩余的加热器垫区段分离而不干涉剩余的加热器垫区段的区段加热器元件或剩余的区段加热器元件到电力总线的连接。
修整加热器

[发明专利]在非临界流量条件下基于压力的流量控制的方法和装置-CN201680061708.5有效
发明人：丁军华;M·勒巴希 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2016-08-23 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本发明公开了用于基于压力的流量测量的方法、系统和装置。处理器从基于压力的质量流量控制器(MFC)接收上游压力值Pu。处理器为基于压力的质量流量控制器(MFC)计算基于接收到的上游压力值Pu的下游压力值Pd。处理器为基于压力的质量流量控制器(MFC)计算基于接收到的上游压力值Pu和计算出的下游压力值Pd的流速Q。处理器基于计算出的流速Q来控制通过基于压力的质量流量控制器(MFC)的流量。该方法，系统和装置可以用于在非临界或非阻塞的流量条件下的流量测量。
临界流量条件下基于压力控制方法装置

[发明专利]用于自由基气体和短时间存活分子的多传感器气体取样检测系统和使用方法-CN201880077787.8在审
发明人： J·秋;陈兴;戴璆瑛;M·哈里斯;A·古柏塔 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本申请案是针对用于检测和测量自由基气体流中的自由基的多传感器气体取样检测系统和方法且包含与至少一个气体源连通的至少一个自由基气体生成器。所述自由基气体生成器可经配置以生成可在处理腔室内使用的至少一个自由基气体流。因此，所述处理腔室与所述自由基气体生成器成流体连通。与所述自由基气体生成器成流体连通的至少一个分析电路可用于所述检测和测量系统中。分析可经配置以接收经界定体积和/或流速的所述自由基气体流。在一个实施例中，所述分析电路可经配置以使至少一个试剂与所述经界定体积的所述自由基气体流内的自由基进行反应，从而形成至少一个化合物流内的至少一个化学物质。所述分析电路内的至少一个传感器模块可经配置以测量所述化合物流内的所述化学物质的浓度。一或多个流量测量模块可与所述传感器模块成流体连通。在使用期间，所述流量测量模块可经配置以测量所述化合物流和自由基气体流中的至少一个的体积。
用于自由基气体短时间存活分子传感器取样检测系统使用方法

[发明专利]具有集成挡板的微机电系统压力传感器-CN201480016452.7有效
发明人：顾磊;S·F·巴尔特 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2014-04-22 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：一种压力传感器系统可感测气体或液体的压力。该系统可包括具有用于气体或液体的入口端口的壳体；该壳体内的压力传感器；以及被设置在入口端口与压力传感器之间的挡板。该挡板可具有被定向成接收进入该入口端口的气体或液体的一个或多个入口；被定向成将接收到的气体或液体传送到该压力传感器的一个或多个出口；以及防止气体或液体除了通过一个或多个出口以外从该挡板逸出的一个或多个密封的流动通道。出口中的至少一个可被定位在与该压力传感器上的位置相距不超过一毫米的范围内。压力传感器和挡板可在利用微机电系统(MEMS)技术沉积、图案化、蚀刻、晶片键合、或晶片减薄一系列层的工艺期间同时制成。
具有集成挡板微机系统压力传感器

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