[发明专利]热传导测量仪

权利要求书

1.一种用于测量气压的热传导测量仪，所述热传导测量仪包括：

传感器线，所述传感器线位于腔室内，所述传感器线联接至端子和地；

电阻器，所述电阻器联接在所述端子与功率输入端之间；

控制器，所述控制器被配置为：1)向所述电阻器施加功率输入；2)根据所述端子处的电压和所述功率输入端处的电压来调节所述功率输入，以使所述传感器线达到目标温度；以及3)基于调节后的功率输入来确定所述腔室内的气压的度量值。

2.根据权利要求1所述的热传导测量仪，其中，所述电阻器和所述传感器线在所述目标温度下具有等效电阻。

3.根据权利要求1所述的热传导测量仪，其中，所述传感器线联接至包围所述腔室的容积的接地的外壳。

4.根据权利要求3所述的热传导测量仪，其中，所述传感器线经由延伸穿过所述腔室的所述容积的护罩联接至所述外壳。

5.根据权利要求1所述的热传导测量仪，其中，所述控制器还被配置为：1)基于所述腔室外部的外壳温度来确定补偿因子，以及2)根据所述补偿因子来确定气压的所述度量值。

6.根据权利要求1所述的热传导测量仪，其中，所述电阻器是第一电阻器，并且所述测量仪还包括与所述第一电阻器并联连接的第二电阻器和开关，所述控制器选择性地启用所述开关。

7.根据权利要求1所述的热传导测量仪，所述热传导测量仪与所述腔室内的电离测量仪组合。

8.根据权利要求7所述的热传导测量仪，其中，所述热传导测量仪和所述电离测量仪的馈通部延伸穿过共同馈通凸缘。

9.根据权利要求8所述的热传导测量仪，其中，所述热传导测量仪占用所述馈通凸缘的单个馈通部，所述端子是所述单个馈通部。

10.根据权利要求7所述的热传导测量仪，其中，所述控制器响应于检测到气压的来自所述热传导测量仪的所述度量值低于目标阈值而选择性地启用所述电离测量仪。

11.根据权利要求7所述的热传导测量仪，其中，所述控制器还被配置为基于由所述电离测量仪生成的热量来确定补偿因子，所述控制器根据所述补偿因子来确定气压的所述度量值。

12.根据权利要求7所述的热传导测量仪，其中，所述控制器响应于检测到气压的来自所述热传导测量仪的所述度量值高于目标阈值而选择性地禁用所述电离测量仪。

13.根据权利要求1所述的热传导测量仪，其中，所述传感器线被支撑在可移除的壳体内，所述可移除的壳体在所述端子与所述地之间延伸。

14.一种测量气压的方法，所述方法包括：

施加功率输入通过串联连接的电阻器和传感器线，所述传感器线在腔室内联接至端子和地，所述电阻器联接在所述端子与功率输入端之间；

根据所述端子处的电压和所述功率输入端处的电压来调节所述功率输入，以使所述传感器线达到目标温度；以及

基于调节后的功率输入来确定所述腔室内的气压的度量值。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述电阻器和所述传感器线在所述目标温度下具有等效电阻。

16.根据权利要求14所述的方法，其中，所述传感器线联接至包围所述腔室的容积的接地的外壳。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述传感器线经由延伸穿过所述腔室的所述容积的护罩联接至所述外壳。