[发明专利]一种提高BFO/ZnO异质结器件光电响应的方法有效

专利信息
申请号: 201910587045.6 申请日: 2019-06-29
公开(公告)号: CN110246958B 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 郑海务;吴梦君;王清林;任晓琳;刘平安;刁春丽 申请(专利权)人: 河南大学
主分类号: H01L41/22 分类号: H01L41/22;H01L41/29
代理公司: 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 代理人: 张真真
地址: 475004 河*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了一种提高BFO/ZnO异质结器件光电响应的方法,BFO/ZnO异质结器件由下至上依次包含底电极,BFO铁电薄膜,ZnO籽晶层,ZnO纳米线阵列,上电极,通过对BFO/ZnO异质结器件在ZnO纳米线c轴顶端施加压缩作用力使纳米线发生应变,通过纳米线发生应变时产生的压电势来促进BFO/ZnO异质结结区内载流子的分离,从而增强异质结器件的光电性能。
搜索关键词: 一种 提高 bfo zno 异质结 器件 光电 响应 方法
【主权项】:
1.一种提高BFO/ZnO异质结器件光电响应的方法,其特征是:通过对BFO/ZnO异质结器件施加压应变调节界面能带结构以及结区内光生载流子的输运,最后达到提高异质结光电响应的目的,所述BFO/ZnO异质结器件由下至上依次包含底电极,BFO铁电薄膜,ZnO籽晶层,ZnO纳米线阵列,上电极,所述ZnO纳米线阵列中纳米线的长度为5μm‑10μm,纳米线的直径160‑200nm,纳米线沿c轴方向生长。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南大学,未经河南大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910587045.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 一种无源射频柔性聚合物薄膜传感器及其制备方法-202211285553.7
  • 董波;胡昱轩 - 深圳技术大学
  • 2022-10-20 - 2022-12-16 - H01L41/22
  • 本发明公开了一种无源射频柔性聚合物薄膜传感器及其制备方法,包括以下步骤:提供一基底层,采用磁控溅射在基底层上获得一底电极层;在底电极层上涂敷压电胶体材料,并对压电胶体材料进行甩胶获得第一均匀压电胶体;利用不同梯度的真空度排除第一均匀压电胶体中的气泡,获得第二均匀压电胶体;通过梯度升温对第二均匀压电胶体进行固化,获得一压电薄膜层;采用磁控溅射在压电薄膜层上获得一上电极层;利用剥离剂对底电极层的电极区进行处理,获得一电极pad区域,完成制备。本发明用于解决现有的无源射频柔性传感器在制备上具有一定复杂性和难度的技术问题,从而达到简化无源射频柔性传感器的制造过程以及降低其制备难度的目的。
  • 一种ZnO-Si p-n结压电器件及其制备方法-202210982255.7
  • 邓维礼;张洪瑞;杨维清;田果;杨涛;熊达 - 西南交通大学
  • 2022-08-16 - 2022-12-13 - H01L41/22
  • 本发明公开了一种ZnO‑Si p‑n结压电器件及其制备方法,其制备方法依次包括以下步骤:在具有底部电极的基底表面,通过射频磁控溅射沉积氧化锌种子层,然后浸入生长液中浸泡,再清洗和烘干,制得氧化锌种子层上生长的氧化锌纳米棒;通过射频磁控溅射沉积p型Si薄膜;旋涂溶解有聚甲基丙烯酸甲酯的有机溶剂,然后烘干,再沉积银,制得ZnO‑Si p‑n结压电器件。本发明的制备方法简单、易操作,制得的ZnO‑Si p‑n结压电器件压电性能好,当Si薄膜载流子浓度为7.88×1018cm‑3时,其输出电压和电流分别达到了0.8V和40nA。
  • 剪切型压电陶瓷环组件装配工具-201911202009.X
  • 章建文;王天资;张磊 - 苏州长风航空电子有限公司
  • 2019-11-29 - 2022-09-20 - H01L41/22
  • 本发明用于剪切型压电陶瓷环与安装底座及质量块间的精密装配和搪锡处理,属于压电振动传感器领域;包括基座、管座、夹板、小撑杆和固定座;采用本发明能够消除偏心、漏锡缝、淌锡等问题,提高了压电陶瓷环和质量块装配基准面的对齐度,特别解决了“工”字型截面压电陶瓷环组件的装配和搪锡工作中环形夹具装配后无法取下的问题,保证装配精度的条件下能够采用即时加热的方式对压电陶瓷环、安装底座和质量块进行装配焊接;本发明的装配精度均由工具保证,一致性高,在装配状态固定后可实现脱手加热搪锡。本发明整体上能够使剪切型压电陶瓷环组件在装配焊接后适应宽频响和高谐振频率。
  • 平坦化方法-202010328322.4
  • 吕丽英;黎家健;吴一雷 - 瑞声声学科技(深圳)有限公司
  • 2020-04-23 - 2022-07-26 - H01L41/22
  • 本发明提供了一种能够使得待加工产品的局部平坦度更均匀的平坦化方法,待加工产品开设有填充氧化物的腔体,且其包括叠设在腔体上的第一电极层、压电层和第二电极层,第一电极包括位于第一电极层周边的第一斜面部,压电层在其表面形成第二斜面部,第二电极层包括位于第二电极层周边的第三斜面部,方法包括:在第二电极层沉积第一钝化层;对第一钝化层刻蚀以在第三斜面部的外周形成衬垫,衬垫在其表面形成第四斜面部的;在第二电极层沉积第二钝化层,第二钝化层具有第一平面部、设于第一平面部外围的第五斜面部和自第五斜面部延伸的第二平面部,第一平面部沿竖直方向上的投影覆盖腔体,第五斜面部沿竖直方向的正投影落在腔体外。
  • 一种SAW滤波器的封装系统-202210057195.8
  • 不公告发明人 - 深圳新声半导体有限公司
  • 2022-01-19 - 2022-05-13 - H01L41/22
  • 本发明提供了一种SAW滤波器的封装系统。帽盖板制作模块:用于获取盲孔参数和金属层铺设参数,并在帽盖板上设置盲孔和金属层,生成目标帽盖板;器件晶片制作模块:用于将器件晶片加工为SAW波滤波器器件;腔体制作模块:用于确定所述目标帽盖板和SAW波滤波器器件的对应关系,构建封闭腔体模型;封装模块:用于根据所述封闭腔体模型,将目标帽盖板和SAW波滤波器器件进行键合,并在所述帽盖板上设置焊盘,进行焊接封装。本发明相对于现有技术,本发明更加的方便,而且本发明的包含着设计,也包含着焊接,能够适应各种封装方法。
  • 一种自组装超柔性压电传感器及其制备方法和应用-202111633400.2
  • 郭益平;周佩汝 - 上海交通大学
  • 2021-12-29 - 2022-05-10 - H01L41/22
  • 本发明涉及一种自组装超柔性压电传感器及其制备方法和应用,制备方法包括以下步骤:(1)配制BaTiO3前驱体溶液;(2)制备钛酸钡纳米立方体分散液:将BaTiO3前驱体溶液进行水热反应后,得到钛酸钡纳米立方体,并将其分散在分散剂中,得到钛酸钡纳米立方体分散液;(3)BaTiO3/GFF复合材料的制作;(4)BaTiO3/GFF‑PVDF复合膜的制作;(5)将BaTiO3/GFF‑PVDF复合膜利用双面导电铜胶带接线封装,即可得到自组装超柔性压电传感器,该柔性传感器用于手写智能识别或智能键盘。与现有技术相比,本发明由于借助自组装技术,器件无需经过高温烧结就能够实现优异的压电性能,同时具有兼具优异力学性能和可贴附任何曲面等优点。
  • 超声波指纹传感器及其制造方法-201880002089.1
  • 朴相泳;朴永台 - (株) 凯希思
  • 2018-03-14 - 2022-05-03 - H01L41/22
  • 提供超声波指纹传感器及其制造方法。所述制造方法包括:准备按预先指定的非完全烧结条件烧结的压电片形态的陶瓷烧结体;在陶瓷烧结体的第一表面方向按预先指定的间隔向第一方向平行地切削加工至第二表面侧剩下残留区域的深度并在陶瓷烧结体的第二表面方向按预先指定的间隔向垂直于第一方向的第二方向平行地切削加工至第一表面侧剩下残留区域的深度形成陶瓷加工体;按预先指定的完全烧结条件对陶瓷加工体进行烧结处理;向通过切削加工形成于陶瓷加工体的槽填充绝缘材料;以及进行研磨处理去除分别位于第一表面侧与第二表面侧的残留区域使在第一表面的方向与第二表面的方向露出分别排列成阵列形态的压电棒。
  • 用于制造介电弹性体的装置-202111493172.3
  • 陈丁;王磊;高兴;曹崇景 - 深圳先进技术研究院
  • 2021-12-08 - 2022-04-15 - H01L41/22
  • 本发明涉及机械制造技术领域,提供一种用于制造介电弹性体的装置,包括制造平台、成膜装置、电极印染装置以及移载装置。移载装置包括支架、第一移载机构、第二移载机构以及第三移载机构,第二移载机构通过第一移载机构在水平X方向移动,电极印染装置安装于第二移载机构上且通过第二移载机构在竖直Z方向移动,以及,支架或成膜装置通过第三移载机构在水平Y方向移动。成膜装置在其表面形成具有弹性的膜结构;电极印染装置则是在膜结构上进行印染电极图形,然后,在根据介电弹性体实际的膜层数,再重复上述两个步骤。本申请的用于制造介电弹性体的装置,整个制造过程简单,结构也更加简单。
  • 一种柔性FBAR滤波器的制造方法-202010432855.7
  • 李国强;衣新燕;刘鑫尧;张铁林;赵利帅;刘红斌 - 华南理工大学
  • 2020-05-20 - 2022-03-29 - H01L41/22
  • 本发明公开了一种柔性FBAR滤波器的制造方法。该方法包括:在制备衬底上生长压电薄膜,在压电薄膜上制备底电极并图形化,在电极工作区上方沉积牺牲层材料,制备绝缘支撑层并图形化,得到晶圆;在硬质衬底旋涂临时键合层,将柔性衬底与硬质衬底键合,在复合衬底旋涂胶粘剂,与晶圆进行键合,将制备衬底去除,制备顶电极和电极互连金属;制备柔性保护层,将FBAR滤波器工作区域的保护层去除,形成上空腔,将硬质衬底解键合,得到柔性FBAR滤波器。本发明实现基于单晶AlN以及传统多晶AlN的柔性FBAR滤波器的制备,工艺简单,成本低、易操作,故本发明降低了柔性FBAR滤波器的加工难度和生产成本,提高了柔性器件的制备良率。
  • 一种压力传感器用的不锈钢基覆康铜箔板的制备工艺-201810609758.3
  • 周文英;张祥林;闫智伟 - 咸阳天华电子科技有限公司
  • 2018-06-13 - 2022-03-18 - H01L41/22
  • 一种压力传感器用的不锈钢基覆康铜箔板的制备工艺,将胶液采用丝印机印刷在经表面处理后的不锈钢表面,控制胶层厚度为60~85微米,丝印完毕,烘干;最后将表干的覆胶不锈钢面覆盖康铜箔,盖上镜面钢板,然后置入真空热压机热压中进行热压,热压完毕,降温至室温,得到不锈钢基覆康铜箔板;本发明制备的不锈钢基覆康铜箔板具有很低的形变性、较高热导率及绝缘强度,康铜箔光面与不锈钢基板具有很高的粘接强度,最高粘接强度达到2.1N/mm,很高的耐热应力及其它性能。本发明工艺制备不锈钢基覆康铜箔板的康铜箔经蚀刻做成电路,集成电子器件可做成压力传感器,故覆康铜箔不锈钢基板是压力传感器专用母板。
  • 高基频晶片慢腐蚀工艺-202111407282.3
  • 申红卫;李健;琚永辉;翟彦飞 - 济源石晶光电频率技术有限公司
  • 2021-11-24 - 2022-02-18 - H01L41/22
  • 本发明涉及高基频晶片技术领域,公开了高基频晶片慢腐蚀工艺,先对需要处理的高基频晶片进行除油脂浸泡,然后利用酸洗工艺除去表面的锈蚀产物和氧化膜,通过使用慢腐蚀溶液能够对经过打磨的高基频晶片进行慢腐蚀工艺,有效的降低了高基频晶片的厚度,并在加工的时候能够有效的防止高基频晶片发生破碎,同时能够保证进行精腐蚀,避免腐蚀过片和腐蚀不均的问题,通过将高基频晶片放入慢腐蚀溶液中,氟化铵NH3F和氢氟酸HF按照1:1比例组成40%混合溶液,每分钟频率上升130K左右,采用这种慢腐蚀工艺将晶片从60M(厚度0.027mm)腐蚀到96M(厚度0.017mm)需要4‑6小时。可明显改善晶片表面粗糙度,和一致性。从而改善晶片的各项电性能。
  • 一种用于制备发电装置的方法-201711260369.6
  • 王云明;张云;周华民;乔海玉;李德群;黄志高 - 华中科技大学鄂州工业技术研究院;华中科技大学
  • 2017-12-04 - 2022-02-11 - H01L41/22
  • 本发明提供一种用于制备发电装置的方法,属于电学技术领域。所述用于制备发电装置的方法包括:设计第一聚合物的第一基础信息,以及第二聚合物的第二基础信息;依据所述第一基础信息、第一材料信息、第一机器信息和所述第二基础信息、第二材料信息、第二机器信息,分别设置第一打印参数和第二打印参数;依据所述第一打印参数和所述第二打印参数,分别打印出第一薄膜和第二薄膜;依据所述第一薄膜和所述第二薄膜,分别制成第一电极和第二电极;将所述第一电极和所述第二电极分别与衬底相结合,以制备所述发电装置。本发明提供的用于制备发电装置的方法达到了设计灵活性高和打印速度快,并且具有生产成本低的技术效果。
  • 一种鞘材料裹覆与加捻的人工肌肉的制作装置及方法-202110712231.5
  • 胡兴好;周童;王英明;丁建宁;程广贵 - 江苏大学
  • 2021-06-25 - 2021-11-19 - H01L41/22
  • 本发明属于人工肌肉型柔性驱动器的制备和应用领域,特别涉及一种鞘材料裹覆与加捻的人工肌肉的制作装置及方法。本发明通过控制三组电机的协调运转来实现鞘‑芯人工肌肉加捻和鞘材料裹覆两项工作分步进行,实现了鞘‑芯人工肌肉的自动化制作。本发明简化了鞘‑芯人工肌肉的制备流程,提高了鞘‑芯人工肌肉的制作效率,同时实现了鞘‑芯人工肌肉的参数可控。本发明有望促进鞘芯人工肌肉以及鞘芯结构材料的自动化生产。
  • 一种非对称电极IPMC的制备方法、制得的非对称电极IPMC-202110913560.6
  • 常龙飞;王冬平;宋伟;胡颖;朱子才;王延杰 - 合肥工业大学
  • 2021-08-10 - 2021-11-12 - H01L41/22
  • 本发明公开一种非对称电极IPMC的制备方法,涉及非对称型电极离子聚合物‑金属复合材料技术领域,本发明包括以下步骤:(1)将基体膜溶液与电极材料混合,分层处理后,得到膜溶液;(2)将膜溶液经过铸膜处理,得到基体膜;(3)基体膜进行还原镀处理后,在膜表面形成电极层,即为非对称电极IPMC。本发明还提供采用上述方法制得的IPMC。本发明的有益效果在于:可以设计非对称型的电极IPMC,包括电极的材料不同和形貌不对称。从而实现具有特定的电极结构,增强电极与基体膜之间的附着力,增加渗入电极的深度以及改善渗入电极的形貌,从而进一步提高IPMC材料的电化学性能和机电性能。
  • 一种高取向的氧化物压电薄膜的制备方法及压电薄膜-201711441965.4
  • 陈显锋 - 佛山市卓膜科技有限公司
  • 2017-12-27 - 2021-10-26 - H01L41/22
  • 本发明公开了一种高取向的氧化物压电薄膜的制备方法及压电薄膜,所述方法包括:通过旋涂法将制备的所述氧化物溶胶‑凝胶液旋涂到基板上,然后对形成的涂层进行90~330℃的加热处理,使所述涂层形成非晶态固体层,加热后的结构材料放入等离子体处理设备中,对非晶态固体层进行等离子表面处理,处理后的非晶态固体层再进一步加热,使其变为结晶体,得压电薄膜成品;所述方法容易实现,得到的压电薄膜(111)晶体取向高,(111)取向的XRD相对强度大于90%,稳定性好,重现性高,集成度好,适用于大规模生产。
  • 夹芯式薄膜传感器真空环境压合装置及方法-202110669715.6
  • 张冰冰;范志强;李耀宙;卢亚菁;薛仲卿 - 太原工业学院
  • 2021-06-17 - 2021-09-03 - H01L41/22
  • 本发明属于柔性电子技术领域,具体涉及一种夹芯式薄膜传感器制备过程中所需的真空环境压合装置。包括压头、套筒、上转模板以及下转模板,压头下部为圆柱体,圆柱体上加工有密封槽,密封槽安装密封圈实现压头和套筒间的密封,所述的套筒为上端开口,下端闭口的空心圆柱体结构,套筒的内径与压头的下部圆柱体直径一致,压头与套筒之间设置有上转模板和下转模板,上转模板的下表面以及下转模板的上表面为转模板正面,用以临时安装、定位批量电极并将其转移至真空密封舱内;套筒侧面开设有阀门孔连接内外环境,所述的阀门孔外侧直径大于内侧直径,阀门孔内侧孔中心与套筒内安装的下转模板的正面平齐。
  • 一种器件及其封装方法-202110606156.4
  • 吴盛凯;王冲;蔡敏豪;魏有晨 - 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
  • 2021-06-01 - 2021-08-24 - H01L41/22
  • 本发明提供了一种器件及其封装方法。该器件中的第一密封环具有氮化铝种子层,通过使第二密封环至少覆盖第一密封环中的氮化铝种子层的外侧壁和/或利用第一密封环中的下电极材料层覆盖氮化铝种子层的外侧壁,以避免第一密封环中的氮化铝种子层暴露于密封腔体之外,从而可防止外界水汽等经由暴露出的氮化铝种子层而侵入至密封腔体内,同时还保护氮化铝种子层免受外界侵蚀,有利于保障密封腔体的密封性能,提高器件的可靠性。
  • 压电致动器的制造方法-202011338648.1
  • 古池晴信;四十物孝宪;中山雅夫;高部本规;角浩二;板山泰裕;清水稔弘 - 精工爱普生株式会社
  • 2020-11-25 - 2021-06-18 - H01L41/22
  • 本发明提供一种金属氧化物层难以剥离的压电致动器的制造方法。该压电致动器的制造方法包括形成振动板的工序、在所述振动板上形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成压电体层的工序、在所述压电体层上形成第二电极的工序,形成所述振动板的工序具有单一层形成工序,该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序,重复所述单一层形成工序,来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板,所述金属氧化物层的厚度小于200nm。
  • 金属氧化物半导体传感器及其制备方法-202011616172.3
  • 王帅毅 - 成都中电熊猫显示科技有限公司
  • 2020-12-30 - 2021-05-07 - H01L41/22
  • 本发明提供一种金属氧化物半导体传感器及其制备方法。金属氧化物半导体传感器的制备方法,包括以下步骤:在衬底基板上依次形成栅极以及栅极绝缘层;在栅极绝缘层上形成有源岛,有源岛包括源极、漏极以及经过离子注入的金属氧化物半导体图形;在形成有有源岛的所述栅极绝缘层上形成由压电材料或光敏材料构成的保护层。本发明中金属氧化物半导体传感器的灵敏度高。
  • 压电薄膜传感器制备方法-201610937371.1
  • 李彦坤 - 苏州贝骨新材料科技有限公司
  • 2016-11-01 - 2021-02-26 - H01L41/22
  • 本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法,在压电薄膜传感器的复合层制备过程中,在任意一层中制备定位标记;以定位标记为基准,在复合层上打定位孔;在套位模切时,模切模板具有定位组件,与定位孔一一对应,模切刀线将所述压电薄膜传感器的复合层半断和/或全断模切;接端子形成压电薄膜传感器元件。其优点在于在定位孔的精确定位下,通过套位模切将接线端子上的部分材质切除,方便接线端子安装。
  • 平坦化方法-202010327549.7
  • 吕丽英;黎家健;吴一雷 - 瑞声声学科技(深圳)有限公司
  • 2020-04-23 - 2020-08-18 - H01L41/22
  • 本发明提供了一种平坦化方法,能够使得待加工产品的局部平坦度更均匀,待加工产品开设有填充氧化物的腔体且包括叠设在腔体上的第一电极层、压电层和第二电极层,第一电极层覆盖腔体且包括位于第一电极层周边的第一斜面部,压电层覆盖第一电极层且在其表面形成第二斜面部,第二电极层覆盖部分压电层且包括位于第二电极层周边的第三斜面部,平坦化方法包括:在第二电极层沉积钝化层,钝化层覆盖住第二电极层和压电层,钝化层具有第一平面部、设于第一平面部外围的第四斜面部和自第四斜面部延伸的第二平面部,第一平面部沿竖直方向上的投影覆盖腔体,第四斜面部沿竖直方向的正投影落在腔体外;对钝化层全面刻蚀,直至钝化层的厚度减薄至所需厚度。
  • 一种铜膜声表面波滤波器钝化层的制备方法-201911397644.8
  • 杨睿;张雅 - 北京中科飞鸿科技股份有限公司
  • 2019-12-30 - 2020-05-12 - H01L41/22
  • 本发明公开了一种铜膜声表面波滤波器钝化层的制备方法,包括以下步骤:在压电基底上制造二氧化硅层;在二氧化硅层上涂覆光刻胶;对光刻胶进行曝光显影,使光刻胶形成叉指换能器指条结构;对曝光显影后的光刻胶进行高温固化;对二氧化硅层进行刻蚀处理;在刻蚀后的材料上蒸镀金属膜;利用剥离工艺去除光刻胶及光刻胶上的金属膜。本发明通过在铜膜叉指换能器的上表面和间隙之中填充不同的钝化层,从而实现了对铜膜声表面波滤波器的保护,提高了其性能稳定性,拓展了应用领域。
  • 一种印银机用刷银装置-201921062877.8
  • 姜学文;许可欣;王友彬;覃文辽;彭小青 - 汕头市瑞升电子有限公司
  • 2019-07-08 - 2020-03-10 - H01L41/22
  • 本实用新型涉及印刷设备技术领域,尤其涉及一种印银机用刷银装置,包括工作台以及安装在工作台上的刷银定位机构,刷银定位机构包括底座倾斜组件、工装定位组件和瓦口底座,瓦口底座与底座倾斜组件连接用于使放置在瓦口底座上的工装向一侧倾斜,工装定位组件设置于瓦口底座一侧用于使工装移动到瓦口底座的工装固定位置。本实用新型结构简单,使工装移动到瓦口底座上方时,通过工装定位组件对工装进行定位,使工装移动到瓦口底座的工装固定位置,通过底座倾斜组件使放置在瓦口底座上的工装向刷银方向的一侧倾斜,从而使工装上放置的瓷片统一向一侧移动确定位置,防止刷银过程中移动瓷片影响刷银的质量,提高瓷片刷银的生产质量,降低成本。
  • 压电材料薄膜的极化设备-201920484101.9
  • 李志勇;陈安禄 - 馗鼎奈米科技股份有限公司
  • 2019-04-11 - 2019-10-15 - H01L41/22
  • 一种压电材料薄膜的极化装置,适用以对装置结构的压电材料薄膜进行极化制程。装置结构包含绝缘基材、以及压电材料薄膜设于绝缘基材的表面的第一部分上。压电材料薄膜的极化设备包含导电载盘、极化电极、以及直流电源。导电载盘包含凸状部与凹陷部。绝缘基材设于凸状部上,且凸状部对应位于压电材料薄膜的下方。凹陷部对应位于绝缘基材的表面的第二部分的下方。极化电极设于导电载盘的上方,且配置以朝装置结构的压电材料薄膜发射多个带电离子束。直流电源配置以在极化电极与导电载盘之间形成高电场环境。具凹凸表面构造的导电载盘可使带电离子束集中在待极化的压电材料薄膜上而催化极化过程,因此可确保压电材料薄膜的极化更完整。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top