[发明专利]超高真空处理SrTiO3 有效
| 申请号： | 201910518116.7 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110246957B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 王立莉;丁翠;刘充;薛其坤 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 张利杰 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种超高真空处理SrTiO |
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| 搜索关键词： | 超高 真空 处理 srtio base sub | ||
【主权项】：
1.一种处理SrTiO3衬底的方法，其特征在于，其包括以下步骤：将一SrTiO3衬底置于一真空室中，该真空室的压强低于10‑9mbar，该SrTiO3衬底表面为非原子级平整；以及将该SrTiO3衬底加热至900℃以上，对该SrTiO3衬底退火30分钟以上。
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- 一种制造半导体‑超导体混合器件的方法，包括：提供包括以下各项的工件：半导体组件、该半导体组件上的第一超导体材料的层、以及第一超导体材料上的第二超导体材料的层，第二超导体材料与第一超导体材料不同；蚀刻第二超导体材料的层以暴露第一超导体材料的部分；以及使第一超导体材料的该部分氧化以在半导体上形成钝化层。第一超导体在半导体与第二超导体之间提供能量耦合，并且钝化层保护半导体，同时允许电进入该半导体。还提供了一种混合器件以及一种蚀刻的方法。
- 用于形成量子位的结制造方法-202080079223.5
- V·阿迪加;B·威莫尔;K·福格尔;M·桑德伯格 - 国际商业机器公司
- 2020-11-10 - 2022-07-12 - H01L39/24
- 一种制造用于超导量子位的约瑟夫逊结的方法包括：提供具有表面的子结构(500)，在其中限定有彼此垂直的第一沟槽和第二沟槽(306和308)。方法还包括：蒸镀第一超导材料(700)以在第一沟槽中沉积第一超导材料，以及蒸镀第二超导材料(701)以在第一沟槽中沉积第二超导材料，以形成第一引线(710)；以及在第一超导材料和第二超导材料上形成氧化层(800)。方法包括：以基本上垂直于子结构的表面(502)的角度蒸镀第三超导材料(900)，以在不旋转子结构的情况下在第二沟槽中沉积第三超导材料，以形成第二引线(910)。在第一沟槽和第二沟槽的相交处形成通过第一引线和第二引线被电连接的竖直的约瑟夫逊结。
- 一种满足大晶圆尺寸的约瑟夫森结、制备方法和用途-202210371353.7
- 杨丽娜;冯加贵;熊康林;吴艳伏;李睿颖;贾浩林 - 材料科学姑苏实验室
- 2022-04-11 - 2022-07-12 - H01L39/24
- 本发明提供了一种满足大晶圆尺寸的约瑟夫森结、制备方法和用途，在衬底上制备Ta（110）膜，光刻制备超导电路结构，掩膜光刻形成下电极Ta（110）层，下电极Ta（110）层表面制备Ta
- 专利分类
- 一种Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-Yb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>改性的La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-(Zr<sub>0.92</sub>Y<sub>0.08</sub>)O<sub>1.96</sub>复相热障涂层材料
- 无铅[(Na<sub>0.57</sub>K<sub>0.43</sub>)<sub>0.94</sub>Li<sub>0.06</sub>][(Nb<sub>0.94</sub>Sb<sub>0.06</sub>)<sub>0.95</sub>Ta<sub>0.05</sub>]O<sub>3</sub>纳米管及其制备方法
- 磁性材料HN(C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>3</sub>·[Co<sub>4</sub>Na<sub>3</sub>(heb)<sub>6</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>6</sub>]及合成方法
- 磁性材料[Co<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(hmb)<sub>4</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub>]·(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub> 及合成方法
- 一种Bi<sub>0.90</sub>Er<sub>0.10</sub>Fe<sub>0.96</sub>Co<sub>0.02</sub>Mn<sub>0.02</sub>O<sub>3</sub>/Mn<sub>1-x</sub>Co<sub>x</sub>Fe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 复合膜及其制备方法
- Bi<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>-WO<sub>3</sub>系玻璃
- 荧光材料[Cu<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(mtyp)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>(H<sub>2</sub>O)<sub>3</sub>]<sub>n</sub>及合成方法
- 一种(Y<sub>1</sub>-<sub>x</sub>Ln<sub>x</sub>)<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>薄膜的直接制备方法
- 荧光材料(CH<sub>2</sub>NH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>ZnI<sub>4</sub>
- Li<sub>1.2</sub>Ni<sub>0.13</sub>Co<sub>0.13</sub>Mn<sub>0.54</sub>O<sub>2</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>复合材料的制备方法
