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[发明专利]极化设备-CN202010085101.9有效
发明人：李志勇;陈安禄 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、电网、介电质屏蔽放电电源供应器、以及直流电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件，其中工件包含压电材料薄膜，且导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方，且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。介电质屏蔽放电电浆源可产生二维均匀电浆，因此可避免极化盲区与放电不均匀的问题，而可提升极化的均匀度。
极化设备

[发明专利]水淡化方法-CN202111466941.0在审
发明人：洪昭南;陈俊钦;陈安禄 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C02F1/04 文献下载
摘要：一种水淡化方法。在此方法中，提供电湿润装置于待淡化水上方，其中此电湿润装置包含导电基底、以及绝缘层覆盖在导电基底的表面上。电湿润装置将待淡化水的水蒸气吸附于绝缘层的一表面上方。利用放电装置朝绝缘层的表面进行放电处理，以使水蒸气带电。于进行放电处理时，对导电基底施加电力，以使导电基底与带电的水蒸气具有不同电性，借此可将带电的水蒸气吸引于绝缘层的表面上并在绝缘层的表面上凝结成水。于绝缘层的表面上的水累积到一预设量时，将电湿润装置转移到淡水收集槽上方，并停止施加电力。借此，可在低耗能的情况下，顺利完成水的淡化，故可大幅降低水淡化成本。
淡化方法

[发明专利]电浆装置-CN202010175012.3在审
发明人：徐逸明;王朝俊;李安仁 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： B05B3/10 文献下载
摘要：一种电浆装置。此电浆装置包含外壳、内电极、旋转构件、延伸管座、喷嘴、以及磁浮马达。外壳具有容置空间，其中容置空间具有彼此相对的第一开口与第二开口。内电极设于外壳的容置空间中且邻近于第一开口。旋转构件可旋转地设于外壳的外侧面外，其中旋转构件具有至少一沟槽沿着外壳的外侧面延伸，且旋转构件包含数个磁性元件。延伸管座与旋转构件接合且邻近第二开口。喷嘴设于延伸管座上且与外壳的第二开口相对。磁浮马达设于外壳上且位于旋转构件的沟槽中，其中此磁浮马达邻近磁性元件。此电浆装置利用磁浮马达与旋转构件之间的磁斥力来带动旋转构件与喷嘴旋转，借此可达到大面积的电浆处理效果。
装置

[发明专利]常压等离子镀膜装置-CN201710161397.6有效
发明人：王齐中;徐逸明 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2017-03-17 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种常压等离子镀膜装置。此常压等离子镀膜装置包含常压等离子产生器以及至少一前驱物进料治具。常压等离子产生器包含管状电极以及喷嘴。喷嘴设于管状电极下，且配置以喷射等离子。喷嘴具有喷口以及平滑轮廓，且此平滑轮廓的外径由管状电极往喷口渐缩。至少一前驱物进料治具邻设于管状电极与喷嘴，且配置以朝喷嘴的平滑轮廓喷射镀膜前驱物，以使镀膜前驱物沿着平滑轮廓流至喷口前与常压等离子混合喷涂成膜。利用喷嘴的平滑轮廓设计，搭配等离子气流在喷口附近所产生的吸力，可有效提升镀膜前驱物与等离子的混合均匀度，提升镀膜品质，更可改善镀膜前驱物散逸于大气而造成浪费的问题。
常压等离子镀膜装置

[发明专利]电浆镀膜装置-CN201910073881.2在审
发明人：徐逸明;王立民 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：一种电浆镀膜装置。此电浆镀膜装置包含常压电浆产生器以及至少一进料治具。常压电浆产生器包含管状电极以及旋转喷嘴。旋转喷嘴设于管状电极的底部。旋转喷嘴具有电浆喷口以及外侧面，且外侧面的下部的外径由管状电极的底部往电浆喷口的方向渐缩。进料治具设于旋转喷嘴的外侧面的外围。进料治具包含至少一前驱物喷口。进料治具配置以经由前驱物喷口朝旋转喷嘴的外侧面的下部喷射镀膜前驱物。电浆喷口喷出电浆时会在电浆喷口附近形成低压区，镀膜前驱物被低压区吸引而顺着旋转喷嘴的外侧面的下部流至电浆喷口前来与电浆反应。借此，可解决旋转喷嘴及管状电极内部的镀膜原料污染问题，且可提升电浆的稳定度、镀膜作业的效率，进而可提高镀膜品质。
镀膜装置

[发明专利]提高抗污膜的附着力的方法-CN201810609062.0在审
发明人：徐逸明 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2018-06-13 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： B01D67/00 文献下载
摘要：一种提高抗污膜的附着力的方法。在此方法中，提供基板。形成改质镀膜于基板的表面上，其中形成改质镀膜时包含使用前驱物，此前驱物包含硅碳氧分子。涂布抗污分子于改质镀膜上。进行烘烤制程。由于氢氧(‑OH)官能基可顺利形成在使用含硅碳氧分子的前驱物所形成的改质镀膜表面上，而抗污分子可与这些氢氧官能基产生键结，借此可提高抗污膜的附着力。
改质抗污镀膜附着力官能基前驱物氧分子硅碳基板氢氧镀膜表面烘烤键结制程

[实用新型]压电材料薄膜的极化设备-CN201920484101.9有效
发明人：李志勇;陈安禄 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：一种压电材料薄膜的极化装置，适用以对装置结构的压电材料薄膜进行极化制程。装置结构包含绝缘基材、以及压电材料薄膜设于绝缘基材的表面的第一部分上。压电材料薄膜的极化设备包含导电载盘、极化电极、以及直流电源。导电载盘包含凸状部与凹陷部。绝缘基材设于凸状部上，且凸状部对应位于压电材料薄膜的下方。凹陷部对应位于绝缘基材的表面的第二部分的下方。极化电极设于导电载盘的上方，且配置以朝装置结构的压电材料薄膜发射多个带电离子束。直流电源配置以在极化电极与导电载盘之间形成高电场环境。具凹凸表面构造的导电载盘可使带电离子束集中在待极化的压电材料薄膜上而催化极化过程，因此可确保压电材料薄膜的极化更完整。
压电材料薄膜导电载盘绝缘基材极化电极装置结构凸状部极化带电离子极化设备直流电源凹陷部凹凸表面极化过程极化装置高电场配置制程催化发射

[发明专利]金属线路的制造方法-CN201610081813.7有效
发明人：苏静雯;沈泊承;洪昭南;陈俊钦;游闵盛;陈彦傅;李祖宏;王世昌 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2016-02-05 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：一种金属线路的制造方法，包含提供基板。基板表面上依序设有金属层及光刻胶层。对光刻胶层进行曝光步骤以在光刻胶层中形成曝光部及未曝光部。利用显影剂进行显影步骤以移除曝光部或未曝光部并暴露出部分金属层。于显影步骤后部分显影剂残留在金属层暴露部分上。进行等离子处理以在显影剂残留部分与金属层暴露部分上形成亲水性官能基。利用蚀刻剂对金属层暴露部分进行蚀刻步骤以移除金属层的暴露部分。于蚀刻步骤期间蚀刻剂与显影剂残留部分上的亲水性官能基键结而移除显影剂的残留部分。显影剂残留部分经等离子处理后可有效去除，可提高金属线路图案转移的准确性与质量，提升蚀刻工艺良率。等离子可粗化金属层表面，增进材料层对金属层的附着性。
金属线路制造方法

[实用新型]过滤器的纯化系统-CN201820558237.5有效
发明人：陈彦政;游闵盛;王世昌;陈柏轩 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： B01D35/00 文献下载
摘要：一种过滤器的纯化系统，包含过滤器放置架、化学溶液供液系统、第一压力感测器、化学溶液排液系统、第二压力感测器及气泡感测器。过滤器放置架用以装载过滤器。化学溶液供液系统包含供液源、及第一管线连接供液源与过滤器放置架。第一压力感测器设于第一管线上，且配置以感测化学溶液在第一管线中的第一压力。化学溶液排液系统包含排液源、及第二管线连接过滤器放置架与排液源。第二压力感测器设于第二管线上，且配置以感测化学溶液在第二管线中的第二压力。气泡感测器设于第二管线上，且介于第二压力感测器与排液源之间。利用压力感测器与气泡感测器来监控过滤器的纯化结果，可达到节省纯化过滤器的化学溶液消耗量以及缩减纯化时间的功效。
过滤器化学溶液压力感测器放置架感测器排液纯化系统供液系统管线连接排液系统供液源感测纯化过滤器监控过滤器消耗量配置装载

[实用新型]电浆火炬-CN201820649918.2有效
发明人：徐逸明;王立民;王齐中 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：一种电浆火炬。此电浆火炬包含外电极、内电极、以及喷嘴。外电极具有腔室，腔室的末端具有开口。内电极设于外电极内的腔室中，并相对于腔室的开口。喷嘴接合于外电极的开口，其中喷嘴具有主要开孔以及数个凹槽，这些凹槽设于主要开孔的外缘且与主要开孔连通。主要开孔中的大气流有分流会旋入凹槽中而破坏大气流，可破坏因大气流所造成的电浆被局限在中心区域的机制，因此可放大电浆火炬的电浆区域，使得电浆火炬可进行大面积的电浆处理。
电浆火炬外电极开孔腔室喷嘴大气流开口内电极电浆处理电浆区域中心区域接合电浆旋入连通放大分流局限

[发明专利]压印模具及其制造方法-CN201710177787.2在审
发明人：黄世明;杨欣学;杨为翔 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： C03B11/06 文献下载
摘要：一种压印模具及其制造方法。此压印模具包含石墨基底、中间层、以及碳膜。石墨基底的热膨胀系数大于约6x10‑6(1/℃)。中间层沉积在石墨基底的表面上。碳膜覆盖在中间层上。石墨基底易加工且可提升压印制程的稳定性。中间层可预防石墨基底剥离，并可改善石墨基底的表面缺陷，而可提升压印层的表面的平整度。碳膜可提供抗沾黏功能，而可提升压印品质的效果。
石墨基中间层压印模具碳膜热膨胀系数表面缺陷平整度压印层易加工压印沉积制造剥离印制覆盖预防

[发明专利]等离子净化模块-CN201710423030.7在审
发明人：李志勇;游闵盛;沈冠宏;陈安禄 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2017-06-07 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： F24F1/00 文献下载
摘要：一种等离子净化模块。此等离子净化模块包含第一电极板、第二电极板、至少一长型电极以及集水元件。第一电极板配置以连接一电源的第一极。第二电极板设于第一电极板的一表面的上方，且配置以连接电源的第二极，其中第二电极板具有通道。长型电极配置以形成放电区。此长型电极设于第一电极板的表面上，且穿过通道。长型电极具有一尖端。集水元件邻设于尖端且配置以提供水气或水予放电区。水在放电区的高电场下可形成纳米级水雾而包覆住离子，因此可延长等离子所产生的离子的寿命，减少正离子与负离子的中和反应，进而可延长离子与污染物质的反应范围，提升空气净化效果。
等离子净化模块

[发明专利]吐出装置及涂布系统-CN201410441705.7有效
发明人：徐逸明;刘燕玲;王立民;王荐承;沈纹孝 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2014-09-01 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种吐出装置及涂布系统。其中，吐出装置包括一容器、一泵、多条管路以及一调整装置。容器具有一腔室以及连接腔室的一第一出入口与一第二出入口，并且腔室适于盛装一流体。多条管路连接于泵以及容器的第一出入口与第二出入口之间，以形成一流体回路。泵适于驱动流体于流体回路内流动。调整装置耦接于容器，用以调整腔室的容积。此外，一种涂布系统也被提及。
吐出装置系统

[发明专利]电弧式大气电浆装置-CN201610008178.X在审
发明人：洪昭南;徐逸明;王立民 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2016-01-06 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种电弧式大气电浆装置。此电弧式大气电浆装置包含第一电极、第二电极以及喷嘴。第一电极配置以连接电源供应器。第二电极具有腔室且接地，其中第一电极位于腔室中。喷嘴接合于该第二电极的底部，且具有至少二喷嘴通道。这些喷嘴通道与腔室连通。由于电浆喷嘴包含多个喷嘴通道，因此可增加电浆喷出量，并可使得电浆处理路径更为致密，而可增加电浆扫描时的处理面积。
电弧大气装置

[实用新型]抗污涂层涂布设备-CN201620278118.5有效
发明人：徐逸明;黄世明;杨为翔 -专利权人： 馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2016-04-05 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： B05B13/04 文献下载
摘要：一种抗污涂层的涂布设备，包含上料站、多个真空腔室及常压涂布站。上料站用以承载并传送载盘与其上的工件。真空腔室包含降压腔室、等离子体辅助化学气相沉积腔室及升压腔室。降压腔室与上料站串接。降压腔室用以接收来自上料站的载盘与工件，且将腔室压力降至真空。等离子体辅助化学气相沉积腔室用以接收来自降压腔室的载盘与工件、及在工件上形成中间层。升压腔室用以接收来自等离子体辅助化学气相沉积腔室的载盘与工件，及将腔室压力提升至真空腔室外的压力。常压涂布站用以接收来自升压腔室的载盘与工件、及在中间层上形成抗污涂层。涂布设备形成均匀中间层及具类水草结构的单分子抗污涂层，故抗污涂层具高均匀度、无膜层应力问题及手指滑度触感佳的优点。
涂层布设

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