[发明专利]包括多个外部触点的半导体芯片,芯片布置装置和用于检查半导体芯片的位置对准的方法在审

专利信息
申请号: 201811453220.4 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN109872978A 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: D.博纳特 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L23/482 分类号: H01L23/482;H01L25/16;H01L29/41;H01L21/66;H01L27/146;H01L21/68
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 黄涛;申屠伟进
地址: 德国瑙伊比*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 半导体芯片(100)包括由多个第一外部触点(120)组成的布置装置(110),所述多个第一外部触点(120)按照对应于规则图案的方式布置。该布置装置(110)包括第二外部触点(130),该第二外部触点(130)在横向范围方面与第一外部触点(120)不同,或者该第二外部触点(130)的位置相对于由规则图案定义的位置被移位。
搜索关键词: 外部触点 半导体芯片 布置装置 规则图案 位置对准 位置相对 芯片布置 移位 检查
【主权项】:
1.半导体芯片(100),包括:布置装置(110),由多个第一外部触点(120)组成,所述多个第一外部触点(120)按照对应于规则图案的方式布置,其中,所述布置装置(110)包括第二外部触点(130),所述第二外部触点(130)在横向范围方面与所述第一外部触点(120)不同,或者第二外部触点(130)的位置相对于由所述规则图案定义的位置被移位。
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